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Fe/Si3N4复合多层膜的制备及其电磁性能 预览 被引量:4

Fabrication and Electromagnetic Performance of Fe/Si3N4 Multilayers
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摘要 多层膜结构隐身材料因其特有的结构具有非常好的吸波性能,在隐身领域有很大的应用前景.用磁控溅射方法制备了Fe/Si3N4复合多层膜,利用SEM分析了其微观形貌,测试了其电磁参数,然后与传统吸波材料羰基铁粉比较了低频下的电磁参数.结果表明,Fe/Si3N4复合多层膜的低频吸波性能优越. The stealthy materials with multilayers structure have excellent capacities of absorbing electromagnetic wave,and can be widely used in the near future.In this paper,Fe/Si_3N_4 multilayers are deposited by the magnetron sputtering method and characterized by the SEM technique.The electromagnetism parameters are performed and compared with that of traditional carbonyl iron dust under low frequency.It is found that the Fe/Si_3N_4 multilayers′ capacities of absorbing electromagnetic wave are very well under low frequency.
出处 《新技术新工艺》 2005年第4期 52-53,共2页 New Technology & New Process
基金 国防重点实验室基金
关键词 SI3N4 电磁性能 复合 FE 制备 吸波性能 电磁参数 多层膜结构 SEM分析 隐身材料 磁控溅射 微观形貌 羰基铁粉 吸波材料 低频 Fe/Si_3N_4 multilayers,radar absorbing material,electromagnetism parameter
  • 相关文献

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二级参考文献26

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同被引文献76

引证文献4

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