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硅微加速度传感器的现状及研究方向 预览 被引量:10

Present Status and Developing Directions of Micromachined Silicon Acceleromter
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摘要 综述了典型的硅微加速度传感器的原理,结构和特性,分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。 This paper reviews the prinhciples, structures, features and usages of typical micromachined silicon accelerometers, The key techniques and developing directions are analysed .
作者 费龙 钟先信 温志渝 高扬 Fei Long;Zhong Xianxin;Wen Zhiyu;Gao Yang(The Open Laboratory Optoelectronic Technology and System of the State Education Commission, Chongqing University)
出处 《传感器技术》 CSCD 1995年第5期 1-6,共6页 Journal of Transducer Technology
基金 国家教委博士点基金
关键词 传感器 加速度 硅微加工 Sensor Acceleration Micromachined silicon
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