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电容式微位移传感器设计及其应用研究 预览 被引量:13

Design of capacitance micro-displacement sensor and its application
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摘要 介绍了基于误差补偿的机器人系统原理,采用等电位环和驱动屏蔽电缆技术,设计了电容式微位移传感器及其信号调理电路.该电路包括改进型的电容运算放大器检测电路、精密全波整流电路和滤波电路等.试验结果表明:该电容式传感器的分辨力优于0.1 μm,全量程非线性度小于0.2 %;利用该电容式传感器测试偏摆误差,并进行偏摆误差补偿,机器人的性能得到提高. The principle of the robot system based on error compensation is presented. The micro-displacement capacitance sensor and its signal conditioning circuit are designed by adopting equipotential annulus technology and driving cable technology. Experimental results show that the sensor's non linearity of 0.2% and resolution of 0.1μm can be achieved. The deviation of the robot system is tested and compensated using capacitance sensor, and the performance of the robot is improved.
作者 孙立宁 晏祖根 Sun LiNing;Yan ZuGen
出处 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第10期 13-15,共3页 Journal of Transducer Technology
关键词 电容式传感器 信号调理电路 微位移测量 机器人 capacitance sensor signal conditioning circuit micro-displacement measurement robot
作者简介 孙立宁(1964-),男,黑龙江鹤岗人,教授.博士生导师,主要研究方向为机器人技术、微驱动与微操作技术,现任哈尔滨工业大学机器人研究所所长。
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献8

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  • 7王家桢,传感器与变送器,1996年 被引量:1
  • 8王朝瑞,矩阵分析,1995年 被引量:1

共引文献15

同被引文献91

引证文献13

二级引证文献21

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