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微机电系统的发展现状和应用 预览 被引量:8

Development and Application of Micro Electromechanical System (MEMS)
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摘要 微机电系统是一项20世纪末兴起、21世纪初开始快速发展起来的高新技术.该文介绍了微机电系统的起源和特点,对微机电系统的加工技术、封装技术、测试技术、应用、国内发展现状及发展前景进行了较全面的论述. Micro electromechanical system is a new high technology. It rose at the end of 20th century and has been being developed fast at the beginning of 21st century. The paper introduces its provenance and characteristics and relates in the round its correlative technology of micromachining, packaging and testing, application, domestic status and theprospects of its development.
作者 胡雪梅 吕俊霞 HU Xue-mei, LV Jun-xia(1. Mechanical & Electrical Engineering College, Xi'an Electronical Technological University, Xi'an 710071, China; 2. Henan Technology College for Industrial Career, Nanyang 473009, China)
出处 《机电设备》 2005年第6期 I0041-I0044,共4页 Mechanical and Electrical Equipment
关键词 微机电系统(MEMS) 微加工技术 应用 前景 micro electromechanical system (MEMS) micromachining application prospect
作者简介 胡雪梅(1972-),女,讲师,硕士研究生,研究方向:微电子机械系统.
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参考文献10

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