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双光栅准直测量系统及其精度分析 预览 被引量:1

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摘要 本文基于双光栅法测量准直性原理,在550mm的平行光管上完成了一系列的实验研究,相对测量精度达到0.036%,并对误差源及提高测量精度的方法作了一定的分析。
出处 《实用测试技术》 1997年第3期 10-13,共4页 Practical Measurement Technology
基金 国家自然科学基金 中国航天工业总公司五院508所资助
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