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基于MEMS的非制冷红外探测器读出电路的设计 预览

Design of ROIC in Uncooled Infrared Detector Based on MEMS
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摘要 基于MEMS的非制冷红外探测器广泛用于军用和民用领域,其中作为探测器核心部件的焦平面探测阵列的读出电路等关键技术的研究至为重要。设计了一块240×320的焦平面探测阵列的读出电路,此电路能够抑制MEMS工艺的波动,减小探测器环境温度的影响。采用HHNEC 0.5μm工艺对此设计流片,其测试结果达到预期目标。芯片输出电压为1.5~3.5V,每帧图像输出时间为16.32ms,可以保证每秒61帧图像输出。 An uncooled infrared detector based on MEMS is widely used in military and civil field.Therefore,the critical technology of core component of the detector,i.e.ROIC(read out integrated circuit) of the focal plane array(FPA),is of most importance.This work designed a ROIC of a 240×320 FPA.The circuit could suppress fluctuations of MEMS process as well as the environmental temperature of the detector.The design was fabricated in HHNEC 0.5 μm process.The test result is consistent with the expectations well.The output voltage of the chip is 1.5~3.5 V.And the image output time is 16.32 ms/frame,i.e.,the output speed of 61 frame/s is achieved.
作者 张强 吴晓波 杨旸 孙亮 ZHANG Qiang ,WU Xiaobo ,YANG Yang ,SUN Liang(Institute of VLSI Design,Zhejiang University,Hangzhou,310027,CHN)
出处 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期 580-584,共5页 Research & Progress of Solid State Electronics
基金 国家自然科学基金资助项目(60906012)
关键词 非制冷红外探测器 微机电系统 读出电路 uncooled infrared detector MEMS readout circuit
作者简介 张强(ZHANG Qiang)男,1984年生,硕士研究生,主要研究方向为模拟与数模混合集成电路设计。 联系作者:E—mail:wuxb@vlsi.zju.edu.cn吴晓波(WU Xiaobo)男,1981年获理学硕士学位,教授,博导,主要研究方向为模拟与数模混合集成电路设计、集成电路与SoC的低功耗技术研究、电源管理集成电路研究与电源类IP开发及固态传感器技术。
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参考文献6

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