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微机电系统的研究与展望 预览 被引量:8

Development and Prospect of Micro-electromechanical System
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摘要 微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了MEMS技术目前存在的主要问题及关键技术瓶颈,探讨了MEMS技术的发展趋势及应用热点,对开展MEMS技术研究提供了有益的启示。 MEMS is a kind of miniature system,which utilizes IC manufacturing together with micro-architecture technologies to implement the integration of micro-structures,micro-sensors,micro-actuators,control/processing circuits and even interfaces,communication,power supplies etc.on one or more chip(s).It is cross-disciplinary frontier technology and has strategic significance.In this paper,the scope,classification and features of MEMS are introduced.The development history of MEMS,the development dynamics and the industrial situation of MEMS technology all over the world are summarized.On this basis,the existing main problems and key technological bottlenecks in MEMS are analyzed.The development trend and hot applications in MEMS field are discussed.Useful revelations are given for MEMS technology research.
作者 陈勇华 CHEN Yong-hua(Nanjing Research Institute of Electronics Technology,Nanjing 210039,China)
出处 《电子机械工程》 2011年第3期 1-7,共7页 Electro-Mechanical Engineering
关键词 微机电系统 纳电子机械系统 微传感器 micro-electromechanical system(MEMS) nano-MEMS(NEMS) micro-sensor
作者简介 陈勇华(1977-),男,工程师,主要从事雷达技术管理工作。
  • 相关文献

参考文献9

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  • 9陆敬予,张飞虎,张勇.微机电系统的现状与展望[J].传感器与微系统,2008,27(2):1-3. 被引量:9

二级参考文献48

共引文献26

同被引文献95

引证文献8

二级引证文献12

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