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超临界流体中沉积制备金属及金属氧化物纳米材料的研究进展 认领

Recent progress in deposition of metal and metal oxide nano-materials in supercritical fluid
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摘要 综述了超临界流体沉积法(SCFD)在金属及金属氧化物纳米材料制备方面的研究进展,介绍了超临界流体溶解度高、表面张力为零等独特的物理性能,以及可在平坦的、有精细图案的基底表面沉积金属、金属氧化物纳米颗粒或薄膜的技术优势。阐述了超临界流体中纳米颗粒或薄膜的沉积机理,讨论了沉积温度、先驱物浓度、压力、还原剂浓度等因素对沉积速率的影响。展望了超临界流体沉积今后的研究趋势。 The progress in the synthesis of metal and metal oxide nano-materials by supercritical fluid deposition was reviewed. The unique physical properties of supercritical fluid such as very high solubility and zero surface tension, as well as the application of supercritical fluid in preparation of metal and metal oxide nanoparticles or thin films on planar and fine-pattern substrates were introduced. The mechanism of deposition of nanoparticles and thin films in supercritical fluid was described. The effects of deposition temperature, precursor concentration, pressure, and Ha concentration on deposition rate were discussed. The future research directions of supercritical fluid deposition were pointed out.
作者 张艳飞 赵斌 杨俊和 ZHANG Yan-fei, ZHAO Bin*, YANG Jun-he
出处 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期168-172,共5页 Electroplating & Finishing
基金 国家自然科学基金(50901086,51072118) 教育部留学回国人员科研启动基金.
关键词 关键词 超临界流体 二氧化碳 沉积 金属 氧化物 纳米 材料 颗粒 薄膜 supercritical fluid carbon dioxide deposition metal oxide nano-material particle thin film
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