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SPC在硅外延生产中的应用研究

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摘要 统计过程控制(Statistical Process Control,SPC)强调全过程监控、全系统参与,并且强调用科学方法(主要是统计技术)来保证全过程的预防。但是SPC在实际生产应用中,由于选择方法的错误,往往导致事倍功半。本文以硅外延实际生产为例,确定了科学的方法,而具体的应用案例及效果由于篇幅问题不再详述。
出处 《中国计量》 2018年第1期74-76,92共4页 China Metrology
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