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金刚石上不同晶体结构Y2O3膜性质与增透性能研究 预览
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作者 陈良贤 刘金龙 +4 位作者 闫雄伯 安康 魏俊俊 李成明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期133-140,共8页
目的研究不同晶体结构Y2O3薄膜的性质及其对金刚石增透性能的影响规律。方法采用反应磁控溅射的方法,通过控制氧氩比,在金刚石膜上制备立方与单斜两种不同晶体结构的Y2O3薄膜,随后系统研究两种Y2O3薄膜的性质与增透性能。结果在低氧氩... 目的研究不同晶体结构Y2O3薄膜的性质及其对金刚石增透性能的影响规律。方法采用反应磁控溅射的方法,通过控制氧氩比,在金刚石膜上制备立方与单斜两种不同晶体结构的Y2O3薄膜,随后系统研究两种Y2O3薄膜的性质与增透性能。结果在低氧氩比下获得了立方结构Y2O3薄膜,在高氧氩比下获得了单斜结构Y2O3薄膜,二者表面粗糙度分别为2.57、1.07nm。两种晶体结构均呈现出符合Y2O3原子配比的价态。立方和单斜结构的Y2O3薄膜硬度分别为17.4、12.6GPa;弹性模量分别为248.1、214.6GPa。双面镀制立方结构Y2O3薄膜后,金刚石膜在10.0μm透过率最大,达89.1%,增透24.5%;单斜结构Y2O3薄膜在7.4μm透过率最大,达90.4%,增透25.4%。结论通过控制氧氩比可以获得热力学稳定的立方Y2O3薄膜和亚稳态的单斜Y2O3薄膜。立方和单斜结构的Y2O3薄膜中O与Y原子价态均符合其化学计量比。立方结构Y2O3薄膜呈现出更高的硬度与弹性模量。两种结构对金刚石窗口均呈现出良好的增透效果。单斜结构Y2O3薄膜增透效果更佳与其较低的折射率有关,且相比于立方结构Y2O3薄膜,增透最佳值向低波长方向移动。 展开更多
关键词 金刚石膜 Y2O3 增透膜 窗口 立方结构 单斜结构
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磁控溅射用难熔金属靶材制作、应用与发展 被引量:3
2
作者 贾国斌 贾英 《金属功能材料》 CAS 2016年第6期48-52,共5页
随着磁控溅射技术应用日益广泛,难熔金属靶材需求不断增大。就难熔金属靶材应用、制备及发展进行总结和探讨,分析了制作过程中致密度、纯度、晶粒尺寸及结晶取向对靶材性能的影响,并对难熔金属靶材的发展趋势进行展望。
关键词 磁控溅射 高纯难熔金属 靶材
钼精矿焙烧烟尘中钼的回收工艺研究 预览 被引量:5
3
作者 马高峰 +4 位作者 郭金亮 王子川 王伟 白宏斌 宝奇 《中国钼业》 2014年第5期4-6,共3页
钼精矿的焙烧是大多数钼深加工项目的第一个环节,也是至关重要的环节。我国90%以上氧化钼生产企业采用回转窑,在钼精矿焙烧生成氧化钼的同时,都产生了大量的烟尘,这部分烟尘主要成分包括MoS2、升华的MoO3等,一般要损失≥2%的钼。... 钼精矿的焙烧是大多数钼深加工项目的第一个环节,也是至关重要的环节。我国90%以上氧化钼生产企业采用回转窑,在钼精矿焙烧生成氧化钼的同时,都产生了大量的烟尘,这部分烟尘主要成分包括MoS2、升华的MoO3等,一般要损失≥2%的钼。如何从焙烧烟尘中综合回收金属钼,挖潜增效,开发废弃物资源回收成为关注的焦点问题。 展开更多
关键词 钼精矿焙烧 烟尘中钼回收 工艺研究
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ZnS衬底表面制备HfO_2增透保护膜的性能 被引量:1
4
作者 赵晓静 李成明 +4 位作者 陈良贤 刘金龙 黑立富 吕反修 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期130-134,共5页
用射频磁控溅射法在CVD ZnS衬底上制备了HfO2薄膜,利用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和纳米力学探针对HfO2薄膜的结构和性能进行了分析和测试。结果表明,制备的HfO2为单斜相,膜层致... 用射频磁控溅射法在CVD ZnS衬底上制备了HfO2薄膜,利用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和纳米力学探针对HfO2薄膜的结构和性能进行了分析和测试。结果表明,制备的HfO2为单斜相,膜层致密、表面平整、粗糙度仅为3.0 nm,硬度(7.3 GPa)显著高于衬底ZnS的硬度(2.6 GPa)。采用ZnO薄膜作过渡层,可有效提高HfO2与ZnS衬底的结合强度。单面镀制HfO2薄膜后,ZnS衬底在8-12μm长波红外波段的透过率最高可达81.5%,较之ZnS基体提高了5.8%,双面镀制HfO2薄膜后透过率最高可达90.5%,较之ZnS基体提高了14.8%,与理论计算结果吻合较好,适合作为ZnS窗口的增透保护膜。 展开更多
关键词 ZNS HFO2薄膜 增透保护膜 射频磁控溅射
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