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他克莫司软膏治疗光敏性皮肤病的临床效果 认领
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作者 权威 《中国当代医药》 2021年第1期67-70,共4页
目的探讨他克莫司软膏治疗光敏性皮肤病的临床效果。方法选取2018年1月~2019年12月沈阳市第七人民医院收治的100例光敏性皮肤病患者作为研究对象,采用随机数字表法分为对照组(50例)和观察组(50例)。对照组外用复方氧化锌软膏或喜辽妥软... 目的探讨他克莫司软膏治疗光敏性皮肤病的临床效果。方法选取2018年1月~2019年12月沈阳市第七人民医院收治的100例光敏性皮肤病患者作为研究对象,采用随机数字表法分为对照组(50例)和观察组(50例)。对照组外用复方氧化锌软膏或喜辽妥软膏常规治疗,观察组外用他克莫司软膏治疗。比较两组患者的治疗效果、用药不良反应发生情况以及治疗前后患者的皮损状况、皮肤瘙痒状况、皮肤病生活质量指数(DLQI)得分。结果观察组的治疗总有效率高于对照组,用药不良反应总发生率低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。治疗后,两组患者的皮损状况得分、皮肤瘙痒状况得分、DLQI得分低于治疗前,且观察组的上述评分低于对照组,差异均有统计学意义(P<0.05)。结论光敏性皮肤病患者采用他克莫司软膏治疗,可以取得良好的治疗效果,缓解皮肤瘙痒,改善皮损状况,提高患者的生活质量,且患者用药的不良反应较少,安全性良好。 展开更多
关键词 他克莫司软膏 光敏性 皮肤病 安全性 治疗
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牛皮癣2号方联合卡泊三醇倍他米松软膏(得肤宝)治疗血热风热型银屑病的临床疗效研究 认领
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作者 权威 王强 +2 位作者 王珺 孙晓冬 金春林 《辽宁中医杂志》 CAS 2020年第11期150-153,共4页
目的分析在血热风热型银屑病治疗中牛皮癣2号方口服联合卡泊三醇倍他米松软膏(得肤宝)外涂的临床应用效果。方法随机将90例血热风热型银屑病患者分为3组,每组30例。以牛皮癣2号方口服联合凡士林外涂治疗者为中药组,以中药安慰剂口服联... 目的分析在血热风热型银屑病治疗中牛皮癣2号方口服联合卡泊三醇倍他米松软膏(得肤宝)外涂的临床应用效果。方法随机将90例血热风热型银屑病患者分为3组,每组30例。以牛皮癣2号方口服联合凡士林外涂治疗者为中药组,以中药安慰剂口服联合得肤宝外涂治疗者为得肤宝组,以牛皮癣2号方口服联合得肤宝外涂治疗者为联合组,3组治疗时间均为8周。对3组治疗过程中的银屑病皮损面积和严重程度指数(PASI)、皮肤病专科问卷(DLQI)评分、外周血T淋巴细胞亚群及治疗效果进行分析。结果 3组治疗过程中,PASI、DLQI评分均呈显著的降低趋势(P<0.05)。在治疗4周、治疗6周及治疗8周后,联合组PASI评分明显低于中药组及得肤宝组(P<0.05)。同时,3组治疗8周后,3组CD3、CD4及CD8均明显高于治疗前(P<0.05);治疗8周后,联合组CD3、CD4及CD8明显高于中药组及得肤宝组(P<0.05)。而中药组与得肤宝组间PASI评分、DLQI评分及CD3、CD4及CD8比较均无统计学意义(P>0.05)。由此同时,8周治疗后,联合组治疗总有效率明显高于中药组及得肤宝组(P<0.05),而中药组及得肤宝组间比较则未见统计学意义(P>0.05),且3组间不良反应发生率比较,未见统计学意义(P>0.05)。结论牛皮癣2号方联合得肤宝在血热风热型银屑病治疗中具有着良好的治疗效果。 展开更多
关键词 牛皮癣2号 卡泊三醇倍他米松软膏 血热风热型 银屑病
中药外涂治疗新生儿脓疱疮的临床观察 认领
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作者 权威 《中国现代药物应用》 2020年第5期213-215,共3页
目的 探究中药外涂治疗新生儿脓疱疮的临床效果。方法 80例新生儿脓疱疮患儿,基于平行、单盲、随机对照设计原则分为对照组与观察组,每组40例。所有患儿均予以一般治疗,在此基础上,对照组外涂0.5%碘伏,观察组在对照组基础上外涂中药塌... 目的 探究中药外涂治疗新生儿脓疱疮的临床效果。方法 80例新生儿脓疱疮患儿,基于平行、单盲、随机对照设计原则分为对照组与观察组,每组40例。所有患儿均予以一般治疗,在此基础上,对照组外涂0.5%碘伏,观察组在对照组基础上外涂中药塌渍洗剂。对比两组治疗效果;疱疹消退时间、住院时间、治疗费用;治疗前后白细胞(WBC)、C反应蛋白(CRP)、降钙素原(PCT)水平。结果 观察组治疗总有效率为95.00%,高于对照组的77.50%,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组疱疹消退时间(3.21±0.92)d、住院时间(3.30±0.95)d均短于对照组的(4.05±1.13)、(5.11±1.24)d,治疗费用(960.12±35.20)元低于对照组的(1262.39±55.61)元,差异有统计学意义(t=3.646、7.328、29.047,P<0.05)。治疗前,观察组WBC、CRP、PCT水平分别为(16.92±5.59)×10^9/L、(27.06±5.03)mg/L、(3.71±1.23)μg/L,对照组WBC、CRP、PCT水平分别为(16.84±5.62)×10^9/L、(27.01±5.11)mg/L、(3.68±1.20)μg/L,对比差异无统计学意义(t=1.293、1.256、1.327,P>0.05)。治疗后,观察组WBC、CRP、PCT水平分别为(9.75±1.06)×10^9/L、(3.02±0.04)mg/L、(0.23±0.15)μg/L,均低于对照组的(10.43±1.51)×10^9/L、(4.36±2.05)mg/L、(2.10±0.63)μg/L,差异有统计学意义(t=2.331、4.133、18.262,P<0.05)。结论 中药外涂治疗新生儿脓疱疮,疗效显著,起效快,值得在临床实践中推广应用。 展开更多
关键词 中药外涂 新生儿脓疱疮 临床效果
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《临证指南医案·癍痧疹瘰》治法解析 认领
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作者 权威 栾光一 姚鹏宇 《甘肃中医药大学学报》 2020年第1期71-75,共5页
介绍癍、痧、疹、瘰4种疾病的基本概念,归纳、总结并系统分析叶天士《临证指南医案·癍痧疹瘰》中相关治法内容,包括轻剂疏解、清营透热、表里双解、宣肺化湿、滋阴退热、开郁泄热和宣行通法等七法,以法引方,论述方药,据方识法,为... 介绍癍、痧、疹、瘰4种疾病的基本概念,归纳、总结并系统分析叶天士《临证指南医案·癍痧疹瘰》中相关治法内容,包括轻剂疏解、清营透热、表里双解、宣肺化湿、滋阴退热、开郁泄热和宣行通法等七法,以法引方,论述方药,据方识法,为临床癍、痧、疹、瘰的诊疗提供参考。 展开更多
关键词 叶天士 《临证指南医案》 医案 治法方药
基于气血水并调理论当归芍药散治疗血管神经性水肿病 认领
5
作者 权威 姚鹏宇 栾光一 《中国中医药现代远程教育》 2019年第17期19-20,共2页
“气血水并调理论”是中医治则治法研究中的经典理论,血管神经性水肿病属于中医皮肤疾病范畴,阐述“气血水并调理论”理论渊源与含义,并以“气血水并调理论”理论指导临床立法组方,运用当归芍药散治疗血管神经性水肿病,为血管神经性水... “气血水并调理论”是中医治则治法研究中的经典理论,血管神经性水肿病属于中医皮肤疾病范畴,阐述“气血水并调理论”理论渊源与含义,并以“气血水并调理论”理论指导临床立法组方,运用当归芍药散治疗血管神经性水肿病,为血管神经性水肿疾病的中医治疗提供参考。 展开更多
关键词 气血水并调理论 治则治法 血管神经性水肿病 当归芍药散
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砂土电阻率影响因素实验研究 认领
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作者 张建锋 牛朋飞 +2 位作者 陈常青 王嘉 权威 《河南工程学院学报:自然科学版》 2019年第3期29-31,共3页
电阻率是表征介质导电性的参数,土壤电阻率是各种物理特性的综合表现,是土壤的基本物性参数之一。实验研究了含水率、孔隙度和温度对几种砂土电阻率的影响,研究结果表明:含水率、孔隙度和温度均对土壤电阻率有明显的影响,含水率和孔隙... 电阻率是表征介质导电性的参数,土壤电阻率是各种物理特性的综合表现,是土壤的基本物性参数之一。实验研究了含水率、孔隙度和温度对几种砂土电阻率的影响,研究结果表明:含水率、孔隙度和温度均对土壤电阻率有明显的影响,含水率和孔隙度均与电阻率呈指数关系;温度对不同砂土介质的影响形式不同,其中砂土的温度与电阻率呈线性关系,而粉土的温度与电阻率呈负指数关系,60℃以内温度的变化对土壤电阻率的影响十分明显。 展开更多
关键词 电阻率 含水率 温度 孔隙度
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卡泊三醇倍他米松软膏治疗头皮斑块状银屑病临床疗效观察 认领 被引量:3
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作者 王强 谢彬 +7 位作者 孙晓东 王昊 运蓓蕾 李伟 权威 吴雨泓 广维 李铁男 《临床皮肤科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期677-678,共2页
头皮斑块状银屑病治疗困难,外用糖皮质激素可取得一定疗效,但易发生头皮毛囊炎等不良反应。本文采用卡泊三醇倍他米松软膏治疗头皮斑块状银屑病,与卡泊三醇软膏、复方尿素乳膏对照,旨在观察卡泊三醇倍他米松软膏的疗效和安全性。现... 头皮斑块状银屑病治疗困难,外用糖皮质激素可取得一定疗效,但易发生头皮毛囊炎等不良反应。本文采用卡泊三醇倍他米松软膏治疗头皮斑块状银屑病,与卡泊三醇软膏、复方尿素乳膏对照,旨在观察卡泊三醇倍他米松软膏的疗效和安全性。现报告如下。 展开更多
关键词 卡泊三醇倍他米松 银屑病 斑块状 头皮
论反收购中目标公司中小股东利益的保护 认领
8
作者 权威 《邢台学院学报》 2018年第1期106-110,共5页
随着我国市场经济活动的繁荣,上市公司的收购与反收购活动越来越频繁。在这种激烈的市场交易活动中,目标公司中小股东处于弱者地位,其利益极易受到来自收购公司、目标公司控制股东和经营管理层的侵害。如何在反收购中保护目标公司中小... 随着我国市场经济活动的繁荣,上市公司的收购与反收购活动越来越频繁。在这种激烈的市场交易活动中,目标公司中小股东处于弱者地位,其利益极易受到来自收购公司、目标公司控制股东和经营管理层的侵害。如何在反收购中保护目标公司中小股东利益成了一个亟需解决的问题。从目标公司受侵害的现实分析,试图从反收购决定权的归属、对目标公司控制股东及经营管理层的权限界定、对反收购活动的监管等方面进行阐述,对加强和完善反收购中目标公司中小股东利益的保护有所帮助。 展开更多
关键词 反收购 目标公司 中小股东利益
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砂轮刚性对磨削性能及产品加工质量的影响 认领 被引量:2
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作者 赵延军 钱灌文 +3 位作者 权威 张高亮 王礼华 邵俊永 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2017年第1期56-60,共5页
通过测量不同砂轮磨削时机床功率、磨削区温度、刀具的表面粗糙度和刃口质量,分析砂轮刚性改变对砂轮磨削性能和刀具质量的影响。研究发现:在一定范围内降低砂轮的刚性可以提高砂轮的磨削性能,改善刀具的加工质量。其中,加入体积分数10... 通过测量不同砂轮磨削时机床功率、磨削区温度、刀具的表面粗糙度和刃口质量,分析砂轮刚性改变对砂轮磨削性能和刀具质量的影响。研究发现:在一定范围内降低砂轮的刚性可以提高砂轮的磨削性能,改善刀具的加工质量。其中,加入体积分数10%的尼龙制备的砂轮对其刚性改善比较明显,在相同的磨削条件下,其磨削区的平均温度较普通砂轮磨削区的平均温度低50℃左右;累计磨削相同工件后,机床负载约为使用普通砂轮时的30%~50%;磨削得到的刀具表面粗糙度降低,可以达到Ra0.02μm以下,且磨削纹路规则;在×500倍显微镜下,观察不到刀具崩刃等缺陷,刃口质量得到明显改善。 展开更多
关键词 刚性 机床功率 磨削区温度 表面粗糙度 刃口质量
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不同材质磨盘对蓝宝石晶片研磨性能的影响 认领 被引量:3
10
作者 史林峰 韩雪 +4 位作者 郜永娟 李克华 苏鸿良 赵秀香 权威 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2017年第1期78-80,共3页
从实际生产加工的角度,研究磨盘材质和研磨磨料对蓝宝石晶片加工效果的影响。以实际生产工艺进行实验,比较铸铁磨盘、陶瓷复合盘、树脂铜盘和聚氨酯研磨布在使用B4C或金刚石研磨液时的加工效果、成品率和研磨效率。结果显示:经聚氨酯... 从实际生产加工的角度,研究磨盘材质和研磨磨料对蓝宝石晶片加工效果的影响。以实际生产工艺进行实验,比较铸铁磨盘、陶瓷复合盘、树脂铜盘和聚氨酯研磨布在使用B4C或金刚石研磨液时的加工效果、成品率和研磨效率。结果显示:经聚氨酯研磨布研磨的蓝宝石晶片,其表面质量最好,为Ra0.058μm;陶瓷复合盘的研磨效率最高,达到0.305μm/min,且成品率可保持在96.08%。如粗糙度要求较高(Ra≤0.06μm),则建议使用聚氨酯研磨布搭配金刚石研磨液;如果更强调成本和效率(粗糙度要求Ra≤0.08μm),建议使用陶瓷复合盘搭配B4C研磨液。 展开更多
关键词 表面粗糙度 成品率 研磨效率 铸铁磨盘 陶瓷复合盘 树脂铜盘 聚氨酯研磨布
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街区制改造面临的法律问题研究 认领
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作者 权威 王占锋 《山东农业工程学院学报》 2017年第7期69-73,共5页
2016年国务院确定了我国城市规划的改造方向,我国城市的发展逐步由封闭住宅小区转向街区制。街区制改造的核心内容是小区的道路、绿地等公共设施不再属于小区业主共有,而变为公有。街区制将改变我国现行法律框架下的小区业主权利之构造... 2016年国务院确定了我国城市规划的改造方向,我国城市的发展逐步由封闭住宅小区转向街区制。街区制改造的核心内容是小区的道路、绿地等公共设施不再属于小区业主共有,而变为公有。街区制将改变我国现行法律框架下的小区业主权利之构造。街区制的施行必将会给小区业主带来了一系列的问题,同时要遵循合理规划、统筹兼顾、依法改造、合理补偿等原则。 展开更多
关键词 街区制 封闭住宅小区 权利保障 法律问题
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氧化铝空心球对树脂结合剂金刚石磨盘磨削蓝宝石的影响 认领 被引量:1
12
作者 史林峰 韩雪 +1 位作者 郜永娟 权威 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2017年第3期15-18,共4页
为改善蓝宝石研磨效果,在树脂结合剂金刚石磨盘中添加氧化铝空心球。通过力学性能测试、SEM扫描观测和实际磨削实验,研究空心球粒径及体积分数对树脂结合剂强度和磨盘性能的影响。研究表明:试样抗折强度随空心球粒径和比例的增大而降低... 为改善蓝宝石研磨效果,在树脂结合剂金刚石磨盘中添加氧化铝空心球。通过力学性能测试、SEM扫描观测和实际磨削实验,研究空心球粒径及体积分数对树脂结合剂强度和磨盘性能的影响。研究表明:试样抗折强度随空心球粒径和比例的增大而降低;当添加空心球的体积分数为30%时,空心球粒径对试样抗折强度的影响基本消失。磨削实验证明:添加氧化铝空心球可提高蓝宝石磨削时的效率,并改善蓝宝石的表面粗糙度。添加体积分数为20%的空心球的磨盘在磨削过程中具有最好的综合磨削性能,与不加空心球的磨盘相比,磨削效率提高82.6%,表面粗糙度降低至Ra0.249μm。 展开更多
关键词 空心球粒径 体积分数 抗折强度 磨削效率
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不同添加剂对陶瓷金刚石砂轮性能的影响 认领 被引量:1
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作者 郜永娟 李克华 +4 位作者 苏鸿良 权威 史林峰 韩雪 赵秀香 《超硬材料工程》 CAS 2017年第1期19-22,共4页
文章研究了硼酸铝晶须、铝粉含量对陶瓷结合剂、陶瓷金刚石砂轮的物理性能及磨削性能的影响。研究发现,添加剂的引入会降低结合剂的流动性,5wt%铝粉使结合剂的流动性提高了15.6%;添加剂的引入使结合剂抗折强度呈现先增加再减小的现象,... 文章研究了硼酸铝晶须、铝粉含量对陶瓷结合剂、陶瓷金刚石砂轮的物理性能及磨削性能的影响。研究发现,添加剂的引入会降低结合剂的流动性,5wt%铝粉使结合剂的流动性提高了15.6%;添加剂的引入使结合剂抗折强度呈现先增加再减小的现象,当晶须或铝粉添加量为3wt%时,结合剂的抗折强度提高10%~20%;5wt%硼酸铝晶须使金刚石砂轮的抗折强度提高11%,且砂轮磨削更锋利。 展开更多
关键词 结合剂 金刚石砂轮 添加剂
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司法权的去行政化和超越地方主义——兼论司法权的性质 认领
14
作者 权威 《佳木斯职业学院学报》 2017年第8期114-116,共3页
全面推进司法体制改革的目的是保障司法机关能够独立行使审判权和检察监督权,建立健全公开透明的司法权力运行环境,提升司法公信力,进而保障人权。在全面推进司法体制改革的过程中,妨碍我国司法独立原则最重要的问题是司法体制中既存的... 全面推进司法体制改革的目的是保障司法机关能够独立行使审判权和检察监督权,建立健全公开透明的司法权力运行环境,提升司法公信力,进而保障人权。在全面推进司法体制改革的过程中,妨碍我国司法独立原则最重要的问题是司法体制中既存的地方化与行政化。司法权可分为司法事权与司法职权,通过对司法职权的超越地方主义还要避免行政化,而现阶段对于司法事权的超越地方主义但又无必要彻底地收归中央。通过对司法机关人、财、物全面深化的改革,从制度上解决司法事权的超越地方主义和司法职权的行政化。 展开更多
关键词 司法体制改革 去地方化 去行政化 司法事权 司法职权
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《甘地自传》,一位信徒的生活真理 认领
15
作者 郭炳臣 郭力文 权威 《神州》 2016年第12期5-5,7共2页
《甘地自传》是的一部甘地个人书写自己从出生至1925年之间的重要生活实践。甘地是近代印度独立的著名政治领袖,非暴力主义的倡导者。甘地思想的来源是复杂多样的,其中宗教因素尤为关键,甘地吸收印度教及其他宗教博爱、平等、坚持真... 《甘地自传》是的一部甘地个人书写自己从出生至1925年之间的重要生活实践。甘地是近代印度独立的著名政治领袖,非暴力主义的倡导者。甘地思想的来源是复杂多样的,其中宗教因素尤为关键,甘地吸收印度教及其他宗教博爱、平等、坚持真理的理念,主张唤醒人们心中的爱,消除社会罪恶。这本书中记录了甘地自己以身作则,在生活中提倡简谱的生活,控制自己内心的欲望,做一名虔诚的教徒,纯洁心灵。甘地把自己生活中对宗教神灵的融入到政治运动中,使政治宗教化,最终得到许多人的认同和追随。甘地身上可以清晰地看到宗教信徒的身影,同时又显示出政治领袖的态度。 展开更多
关键词 素食主义 禁欲 绝食 非暴力
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树脂金刚石砂轮内圆磨削硬质合金工件的试验研究 认领 被引量:3
16
作者 熊华军 李克华 +3 位作者 叶腾飞 权威 丁玉龙 赵延军 《超硬材料工程》 CAS 2016年第5期1-5,共5页
采用树脂结合剂金刚石砂轮,针对圆筒形硬质合金工件进行内圆磨削试验,研究不同修整工具和修整工艺对砂轮磨削性能的影响,同时对硬质合金磨削用砂轮类型和磨削参数进行了优选。试验结果表明:SiC砂轮及45#钢修整的树脂金刚石砂轮磨削效... 采用树脂结合剂金刚石砂轮,针对圆筒形硬质合金工件进行内圆磨削试验,研究不同修整工具和修整工艺对砂轮磨削性能的影响,同时对硬质合金磨削用砂轮类型和磨削参数进行了优选。试验结果表明:SiC砂轮及45#钢修整的树脂金刚石砂轮磨削效率和耐用度较高;2#锋利型砂轮在砂轮线速度17500r/min、工件转速280r/min、轴向进给速率1000mm/min和径向进刀量0.015mm的工艺条件下,试验砂轮的加工效率较高,加工工件的尺寸精度高且工件表面质量好。 展开更多
关键词 树脂结合剂 金刚石砂轮 修整 内圆磨削 加工效率
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痤疮的中药外治进展 认领 被引量:4
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作者 权威 田静(指导) 《中医外治杂志》 2012年第2期 48-49,共2页
痤疮俗称暗疮、青春痘,中医称“粉刺”,是一种青春期常见的以颜面、胸、背等处生丘疹如刺,可挤出白色粉碎米样粉汁为主要临床表现的皮肤病,是毛囊及皮脂腺慢性炎症。目前认为痤疮的发病主要与雄激素、皮脂分泌增加、毛囊皮脂腺开口... 痤疮俗称暗疮、青春痘,中医称“粉刺”,是一种青春期常见的以颜面、胸、背等处生丘疹如刺,可挤出白色粉碎米样粉汁为主要临床表现的皮肤病,是毛囊及皮脂腺慢性炎症。目前认为痤疮的发病主要与雄激素、皮脂分泌增加、毛囊皮脂腺开口处过度角化和痤疮丙酸杆菌感染等四大原因相关, 展开更多
关键词 痤疮 中药外治 综述
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改性酚醛树脂金刚石砂轮磨削性能的研究 认领 被引量:8
18
作者 史冬丽 李克华 +3 位作者 赵延军 权威 丁玉龙 丁春生 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第5期 56-59,共4页
本文通过对比磨削试验,研究了普通酚醛树脂和两种改性酚醛树脂制作的金刚石砂轮的磨削性能。试验结果表明,通过改性提高树脂的力学性能可以增强结合剂对磨料的把持力,从而提高砂轮的磨削比;通过改性提高树脂的耐热性,防止磨削区域过热... 本文通过对比磨削试验,研究了普通酚醛树脂和两种改性酚醛树脂制作的金刚石砂轮的磨削性能。试验结果表明,通过改性提高树脂的力学性能可以增强结合剂对磨料的把持力,从而提高砂轮的磨削比;通过改性提高树脂的耐热性,防止磨削区域过热引起的树脂降解,从而保证了结合剂对磨料的把持力不降低,对砂轮的磨削比提高效果更为显著。同时通过对树脂的力学性能测试,分析了强度与磨削性能及磨削现象的关系,为制作适用于不同磨削条件的树脂金刚石砂轮提供了参考依据。 展开更多
关键词 酚醛树脂 砂轮 力学性能 耐热性 磨削比
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大学生网络道德现状调查与分析 认领 被引量:10
19
作者 薛伟莲 权威 《辽宁师范大学学报:社会科学版》 2011年第2期 58-60,共3页
随着网络的发展和互联网应用的普及,网民数量越来越多,其中的学生网民,尤其是大学生网民占有很大比重。网络对学生在许多方面可以起到积极作用,但是也会带来许多网络道德问题。通过自编问卷,对本校大学生的网络道德现状进行调查,分析了... 随着网络的发展和互联网应用的普及,网民数量越来越多,其中的学生网民,尤其是大学生网民占有很大比重。网络对学生在许多方面可以起到积极作用,但是也会带来许多网络道德问题。通过自编问卷,对本校大学生的网络道德现状进行调查,分析了大学生网络道德问题产生的原因,并针对大学生的网络道德问题提出对策,从而提高大学生的网络道德水平。 展开更多
关键词 网络道德 调查分析 对策
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IC硅片超精密背磨用树脂2000#金刚石砂轮研究 认领 被引量:4
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作者 李克华 郭强 +4 位作者 赵延军 史冬丽 丁春生 权威 丁玉龙 《超硬材料工程》 CAS 2010年第2期 14-20,共7页
树脂金刚石砂轮应用于IC硅片的背面减薄磨削(背磨),工件磨削后能达到纳米级粗糙度、微米级损伤层厚度和微米级面型精度,因此对使用的砂轮性能要求很高。文章介绍了金刚石砂轮背磨技术的原理、特点,对硅片超精密背磨砂轮进行了实验研... 树脂金刚石砂轮应用于IC硅片的背面减薄磨削(背磨),工件磨削后能达到纳米级粗糙度、微米级损伤层厚度和微米级面型精度,因此对使用的砂轮性能要求很高。文章介绍了金刚石砂轮背磨技术的原理、特点,对硅片超精密背磨砂轮进行了实验研究。研制了专用的树脂结合剂,通过优化结合剂配方,使结合剂磨损速度与金刚石脱落速度达到匹配。研制的2000#金刚石砂轮经过硅片背磨试验证明,材料去除率达到10.236 mm3/s,表面粗糙度值Ra为5.122nm,损伤层厚度为2.5μm;与国外同类砂轮相比,材料去除率提高53%,硅片磨削后的表面粗糙度值接近。 展开更多
关键词 树脂结合剂 2000#金刚石砂轮 IC硅片 超精密背磨
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