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50CrVA钢汽车稳定杆的开裂原因分析 预览
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作者 李浩 维连 《河北农机》 2019年第1期59-60,共2页
50CrVA钢制造的汽车稳定杆在疲劳实验过程中发生了开裂现象。应用成分分折、金相分析和硬度测试等常规失效分析方法仅发现材料的夹杂物略有超标。通过电镜分段检查裂纹形貌,发现了局部存在缺陷,经金相组织分析和显微硬度测试,判定此批... 50CrVA钢制造的汽车稳定杆在疲劳实验过程中发生了开裂现象。应用成分分折、金相分析和硬度测试等常规失效分析方法仅发现材料的夹杂物略有超标。通过电镜分段检查裂纹形貌,发现了局部存在缺陷,经金相组织分析和显微硬度测试,判定此批材料存在成份偏析问题。 展开更多
关键词 50CrVA钢 汽车稳定杆 开裂
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某越野车传动系统扭振分析与减振研究 预览
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作者 李浩 +3 位作者 张秀花 马志凯 杨二顺 维连 《河北农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期135-140,共6页
针对某四驱越野车在全油门加速工况下的轰鸣声和敲齿声问题,确定该现象是由于发动机的扭转激励引起了传动系统的扭转共振导致。采用多体动力学理论,建立了传动系统的刚柔耦合扭振分析模型,通过仿真结果与实验数据进行对比,验证了模型的... 针对某四驱越野车在全油门加速工况下的轰鸣声和敲齿声问题,确定该现象是由于发动机的扭转激励引起了传动系统的扭转共振导致。采用多体动力学理论,建立了传动系统的刚柔耦合扭振分析模型,通过仿真结果与实验数据进行对比,验证了模型的准确性。利用此模型进行传动系统的扭振特性分析,发现通过调整离合器减振器的刚度和迟滞阻尼可以有效地控制传动系统的扭振特性,实验结果表明优化后的离合器减振器减振降噪效果明显,车内噪声水平降低10dB左右。 展开更多
关键词 传动系统 扭振 离合器减振器 减振
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45钢筋连接套筒开裂失效分析 被引量:1
3
作者 王志超 维连 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第12期248-251,共4页
45钢钢筋连接套筒在使用时开裂,通过扫描电镜、能谱仪、直读光谱仪、光学显微镜和显微硬度计对钢筋连接套筒的断口形貌、化学成分、显微组织和硬度进行了检测分析。结果表明:45钢组织为不均匀的网状铁素体和珠光体,且存在严重的组织缺... 45钢钢筋连接套筒在使用时开裂,通过扫描电镜、能谱仪、直读光谱仪、光学显微镜和显微硬度计对钢筋连接套筒的断口形貌、化学成分、显微组织和硬度进行了检测分析。结果表明:45钢组织为不均匀的网状铁素体和珠光体,且存在严重的组织缺陷—魏氏组织,成为套筒开裂的主要原因。较多的非金属夹杂物也增加了连接套筒开裂的倾向。通过严格控制原材料品质,对原材料进行正火或退火热处理,消除或改善网状铁素体和魏氏组织,细化晶粒,提高力学性能,可以避免连接套筒在使用时的开裂。 展开更多
关键词 45钢 失效分析 网状铁素体 魏氏组织 连接套筒
42CrMo钢轴承托架表面开裂失效分析 被引量:2
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作者 贾玉挺 维连 +1 位作者 王会强 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第2期257-258,261共3页
针对某批轴承托架在加工完成后部分成品开裂的现象,对开裂的成品件进行了化学成分检测、工艺分析、硬度检测、宏观检测、金相组织分析,对不同加工阶段的零件进行金相组织对比。结果表明,零件经过淬火和磨削后,磨削应力与淬火应力叠加造... 针对某批轴承托架在加工完成后部分成品开裂的现象,对开裂的成品件进行了化学成分检测、工艺分析、硬度检测、宏观检测、金相组织分析,对不同加工阶段的零件进行金相组织对比。结果表明,零件经过淬火和磨削后,磨削应力与淬火应力叠加造成裂纹。 展开更多
关键词 轴承托架 开裂 淬火裂纹 磨削裂纹 应力叠加
40Cr汽车转向节开裂失效分析 被引量:1
5
作者 王志超 维连 +1 位作者 张淼 王会强 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第10期254-256,共3页
40Cr汽车转向节在安装时,转向节连接销孔发生了开裂现象。根据转向节的正常加工工艺可知,其组织应为均匀的回火索氏体(允许有体积分数不超过3vol%的铁素体)。借助扫描电镜、直读光谱仪、维氏硬度计等设备对开裂件的显微组织,断口形貌... 40Cr汽车转向节在安装时,转向节连接销孔发生了开裂现象。根据转向节的正常加工工艺可知,其组织应为均匀的回火索氏体(允许有体积分数不超过3vol%的铁素体)。借助扫描电镜、直读光谱仪、维氏硬度计等设备对开裂件的显微组织,断口形貌,化学成分、显微硬度进行观察与检验分析。结果表明:其组织中含有较多的针状和条状铁素体,经分析发现较多铁素体的存在,可能是导致转向节连接销孔开裂的主要原因。较多的非金属夹杂物也增加了转向节连接销孔开裂的倾向。建议严格控制原材料品质,提高淬火液的流动性或更换淬火液介质以减少针状和条状铁素体含量,可以提高40Cr汽车转向节力学性能。 展开更多
关键词 汽车转向节 40Cr合金钢 先共析铁素体 失效分析
钢筋连接套筒断裂失效分析
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作者 王志超 维连 +1 位作者 张淼 王会强 《金属热处理》 CSCD 北大核心 2018年第8期237-240,共4页
45钢无缝钢管为原材的钢筋连接套筒在检测过程中发现,在未达到抗拉强度要求时即发生了断裂,借助SEM、EDS、直读光谱仪、OM、显微硬度计等对断裂件的断口形貌、化学成分、显微组织、显微硬度进行观察与检测分析。结果表明:钢质疏松且含... 45钢无缝钢管为原材的钢筋连接套筒在检测过程中发现,在未达到抗拉强度要求时即发生了断裂,借助SEM、EDS、直读光谱仪、OM、显微硬度计等对断裂件的断口形貌、化学成分、显微组织、显微硬度进行观察与检测分析。结果表明:钢质疏松且含有大量的孔洞;组织为不均匀的网状铁素体和珠光体,魏氏组织严重,是该连接套筒断裂的主要原因。较多的非金属夹杂物也增加了其断裂的倾向。建议通过严格控制原材料品质并采用正火或退火,可以提高连接套筒的力学性能。 展开更多
关键词 45钢 连接套筒 断裂失效分析 魏氏组织
436不锈钢冲压件失效分析
7
作者 李娇娇 维连 王会强 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第5期260-262,共3页
利用扫描电镜观察了436不锈钢冲压件断口,利用直读光谱仪检测了成分,利用金相显微镜观察了组织结构,利用硬度计测量了硬度,并对非金属夹杂进行了评级,分析了436不锈钢冲压件的断裂原因。结果表明:应力增大和组织均匀性差是冲压件产生... 利用扫描电镜观察了436不锈钢冲压件断口,利用直读光谱仪检测了成分,利用金相显微镜观察了组织结构,利用硬度计测量了硬度,并对非金属夹杂进行了评级,分析了436不锈钢冲压件的断裂原因。结果表明:应力增大和组织均匀性差是冲压件产生裂纹的主要原因。 展开更多
关键词 436不锈钢 裂纹 冲压
液压式熏香3D打印机参数试验与结果分析 预览
8
作者 陈亚茹 维连 +1 位作者 王志超 张成杰 《包装工程》 北大核心 2018年第21期150-156,共7页
目的研究了熏香3D打印机的初级试验参数,达到为后续优化和批量生产提供技术规范和数据支持的目的。方法基于课题组前期设计试制的熏香3D打印机进行试验,通过试验分析挤出压力、打印速度、出料口与打印平台的距离、模型复杂程度、出料口... 目的研究了熏香3D打印机的初级试验参数,达到为后续优化和批量生产提供技术规范和数据支持的目的。方法基于课题组前期设计试制的熏香3D打印机进行试验,通过试验分析挤出压力、打印速度、出料口与打印平台的距离、模型复杂程度、出料口直径、水料混合比等参数对熏香3D打印机的打印效果和打印效率的影响,分析研究影响熏香打印机的主、次参数。结果挤出压力为0.4~0.6MPa,打印速度为1800~2400mm/min时,打印效果较好;出料口与打印平台的最适宜距离为10~12mm。结论挤出压力与打印速度是影响熏香成型效果的最重要的2个因素。 展开更多
关键词 熏香 3D打印机 试验参数 回归模型
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42CrMoA螺栓套开裂失效分析
9
作者 马召磊 维连 +2 位作者 王会强 李娇娇 武卫超 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第16期260-262,共3页
42CrMoA螺栓套在调质热处理中出现开裂现象。为找出开裂原因,对螺栓套的化学成分、硬度、非金属夹杂物、断口微观形貌、金相组织进行检验分析。结果表明:工件化学成分不符合国家标准要求,S元素超标;该工件内部存在严重金属氧化物及硫... 42CrMoA螺栓套在调质热处理中出现开裂现象。为找出开裂原因,对螺栓套的化学成分、硬度、非金属夹杂物、断口微观形貌、金相组织进行检验分析。结果表明:工件化学成分不符合国家标准要求,S元素超标;该工件内部存在严重金属氧化物及硫化物夹杂,热处理淬火时沿着夹杂物尖端引起开裂;金相组织为细小均匀且保持马氏体方位的回火索氏体,纵截面存在明显的带状组织。建议严格控制42CrMoA非金属夹杂物及热处理淬火加热温度和保温时间;同时,也为42CrMoA钢的调质工艺参数的优化提供了参考性建议。 展开更多
关键词 螺栓套 42CRMOA钢 脆性断裂 热处理
众创空间促进大学生创新创业能力培养的研究与实践——以河北农业大学创意工坊为例 预览 被引量:5
10
作者 李久熙 维连 +2 位作者 郭洪生 王泽河 《河北农业大学学报:农林教育版》 2017年第6期62-65,共4页
我国对创新创业人才的需求量越来越大, 这是时代提出的要求, 更是社会发展、 我国产业转型的必然趋势.目前各高校越来越重视创新创业教育的开展, 许多高校进行了课程教学改革, 积极开展创新创业实践活动, 其中包括众创空间建设.分析和... 我国对创新创业人才的需求量越来越大, 这是时代提出的要求, 更是社会发展、 我国产业转型的必然趋势.目前各高校越来越重视创新创业教育的开展, 许多高校进行了课程教学改革, 积极开展创新创业实践活动, 其中包括众创空间建设.分析和探究了高校众创空间对大学生创新创业能力培养的作用, 并且结合河北农业大学创意工坊的建设实践, 探讨了如何建设特色化众创空间的思路, 提出了以科技为引领、 立足创新、 带动创业的地方高等院校众创空间建设的理念. 展开更多
关键词 众创空间 创新创业能力 创新教育
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减震器吊环扩口开裂的原因分析 预览
11
作者 崔书岭 维连 +1 位作者 成金永 《河北农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期122-125,共4页
20钢冷拔管经退火后进行喷丸、扩口成型,扩口时出现局部纵向开裂问题。采用体视显微镜、光学显微镜、SEM、EDS、显微硬度计等设备对20钢减震器吊环的断口形貌、非金属夹杂、显微组织、裂纹缺陷内部成分以及显微硬度进行分析与测试。结... 20钢冷拔管经退火后进行喷丸、扩口成型,扩口时出现局部纵向开裂问题。采用体视显微镜、光学显微镜、SEM、EDS、显微硬度计等设备对20钢减震器吊环的断口形貌、非金属夹杂、显微组织、裂纹缺陷内部成分以及显微硬度进行分析与测试。结果表明:由于炼钢炉内壁保护渣剥落,在穿孔时心部组织形成裂纹缺陷,且在裂纹缺陷处存在增碳现象致使吊环的力学性能存在差异,加之管体退火后残余应力与扩口应力相互叠加致使裂纹发生扩展,减震器吊环外壁存在浅表层折迭缺陷,非金属夹杂与带状组织较为严重,也进一步促使钢管开裂。通过对减震器吊环失效原因的研究分析,不仅对其失效进行了有效预防,而且对这类性质的失效问题的研究具有指导和推广意义。 展开更多
关键词 退火管 扩口成型 增碳 残余应力 裂纹
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高频淬火加热时间对钢管表面组织和性能的影响 预览
12
作者 高长刚 维连 +1 位作者 张艺 《表面技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期141-145,共5页
目的 确定高频淬火后零件出现软点的原因,通过调整工艺参数以获得合格组织。方法 通过直读光谱测试工件化学成分,采用体视显微镜、金相显微镜和扫描电镜观察试样的宏观与微观组织,分析工件的淬火层深度和显微组织形态。通过能谱仪测试... 目的 确定高频淬火后零件出现软点的原因,通过调整工艺参数以获得合格组织。方法 通过直读光谱测试工件化学成分,采用体视显微镜、金相显微镜和扫描电镜观察试样的宏观与微观组织,分析工件的淬火层深度和显微组织形态。通过能谱仪测试样品淬火组织的成分差异。梳理生产过程,确定淬火零件软点形成的原因。结果 通过扫描电镜配置的能谱仪测试发现,产生软点的样品黑色区域马氏体的碳含量较高,白色区域马氏体碳含量较低;未产生软点的样品黑区和白区马氏体的碳含量差别不大。结论 高频淬火零件事先未经调质处理,碳含量分布不匀,高频淬火时间短,碳原子没有得到充分扩散,淬火后的零件在组织中形成了高碳和低碳马氏体两种结构,导致淬火后零件出现软点。 展开更多
关键词 缺陷 高频淬火 淬火时间 显微组织
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铸造316L不锈钢偏析及其均匀化处理研究
13
作者 周荣青 维连 贾玉挺 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期106-111,共6页
为了消除铸造316L不锈钢铸态组织的枝晶偏析,采用箱式电阻炉对该材料进行了均匀化退火处理的研究。并利用能谱仪、直读光谱仪测试和扫描电镜、光学显微镜观察等方法,研究了该材料铸态组织及枝晶间和枝晶内化学成分的特点,发现了不同的... 为了消除铸造316L不锈钢铸态组织的枝晶偏析,采用箱式电阻炉对该材料进行了均匀化退火处理的研究。并利用能谱仪、直读光谱仪测试和扫描电镜、光学显微镜观察等方法,研究了该材料铸态组织及枝晶间和枝晶内化学成分的特点,发现了不同的均匀化退火工艺对该材料显微组织的影响规律。并以空位扩散机制为基础,进行了均匀化动力学分析,建立316L合金的均匀化扩散方程。结果表明,铸造316L不锈钢铸态组织存在严重枝晶偏析,枝晶间的Cr、Mo、Ni、Mn等合金元素含量比枝晶内的高。在均匀化过程中,随着退火温度的上升、时间的增长,组织中高熔点共晶相逐渐溶解,均匀化效果增强。当均匀化退火工艺为1150℃×20 h的固溶处理时,铸造枝晶偏析90%消除,可以得到均匀的奥氏体组织。这与均匀化动力学分析结果基本一致。 展开更多
关键词 均匀化退火 枝晶偏析 固溶处理 316L不锈钢 动力学
铝热剂法原位合成农机刀具Al_2O_3-Ti(C,N)复合涂层组织结构及性能 预览 被引量:1
14
作者 屈平 马跃进 +3 位作者 李建昌 马路萍 赵建国 维连 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期65-72,共8页
为了提高旋耕刀、犁铧等农机触土刀具表面强度,以铝热剂的放热反应提供内在热源、等离子弧作为外在热源,采用反应等离子熔覆技术在Q235钢表面原位合成了Al_2O_3-Ti(C,N)复合材料涂层。利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计... 为了提高旋耕刀、犁铧等农机触土刀具表面强度,以铝热剂的放热反应提供内在热源、等离子弧作为外在热源,采用反应等离子熔覆技术在Q235钢表面原位合成了Al_2O_3-Ti(C,N)复合材料涂层。利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计、金相显微镜等对复合涂层的微观结构及强质硬化相的成分、组织及性能进行了分析。结果表明:涂层与基体呈冶金结合,涂层主要由网状、嵌套、球状等3种结构组成,硬质相Al_2O_3、Ti(C,N)与粘结相Fe-Ni之间相互包裹、互相嵌套,构形成空间网状骨架结构;涂层硬度最高可达HV_(0.5)2160,平均硬度HV_(0.5)1870,约为基体Q235钢的7.7倍;涂层摩擦系数约为0.372,其磨损量约为65Mn钢及Q235钢的1/7和1/17,与基体相比,复合涂层具有较高的硬度和较好的摩擦磨损性能,可以为农机材料表面强化提供参考。 展开更多
关键词 微观结构 复合材料 铝热剂 复合涂层 组织结构 等离子 原位合成 Al2O3-Ti(C N)
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热处理方式对20Mn2钢组织和性能的影响 被引量:3
15
作者 马骁驰 维连 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期168-171,共4页
采用光学显微镜、扫描电镜和洛氏硬度计试验研究了20Mn2钢在两种不同热处理方式下的组织特征,通过多功能拉力试验机检测钢材的力学性能。分析表明,20Mn2钢常规热处理的最优参数为淬火890℃保温20 min、回火450℃保温30 min;中频热处理... 采用光学显微镜、扫描电镜和洛氏硬度计试验研究了20Mn2钢在两种不同热处理方式下的组织特征,通过多功能拉力试验机检测钢材的力学性能。分析表明,20Mn2钢常规热处理的最优参数为淬火890℃保温20 min、回火450℃保温30 min;中频热处理的最优参数为淬火温度950℃、回火温度550℃。试验结果显示,中频热处理后20Mn2钢材的组织和力学性能均优于常规热处理,其主要原因是中频热处理的加热模式使得20Mn2钢材的组织晶粒更加细化。在中频热处理之前20Mn2钢再进行一次正火处理来细化晶粒,还可以进一步提高钢的力学性能。 展开更多
关键词 20Mn2圆环链钢 中频热处理 力学性能 晶粒细化
过渡层对介质漆表面的ZrN薄膜膜基结合力的影响 被引量:2
16
作者 张艺 维连 +2 位作者 梁杨 马志凯 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第10期189-192,共4页
采用磁控溅射技术在涂有介质漆的铝合金表面制备纯Al、Ti、Cr过渡层,在过渡层上溅射Zr N薄膜,并用划痕法测量不同复合薄膜的膜基结合力。测试结果表明,制备了过渡层的Zr N薄膜与介质漆间膜基结合力均能得到改善。具有Al过渡层的复合膜... 采用磁控溅射技术在涂有介质漆的铝合金表面制备纯Al、Ti、Cr过渡层,在过渡层上溅射Zr N薄膜,并用划痕法测量不同复合薄膜的膜基结合力。测试结果表明,制备了过渡层的Zr N薄膜与介质漆间膜基结合力均能得到改善。具有Al过渡层的复合膜层膜基结合力超过50 N,解决了开裂、翘皮、剥落等问题,为提高Zr N薄膜与涂有介质漆的铝合金表面膜基结合力提供有效途径。 展开更多
关键词 ZrN薄膜 过渡层 结合力
农用水泵轴断裂故障分析与工艺改进 预览 被引量:1
17
作者 乜龙威 维连 +2 位作者 苏珂 王荣军 王会强 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期103-106,共4页
农用水泵轴在使用过程中部分出现早期断裂,为了找出水泵轴早期断裂的原因,采用直读光谱仪、扫描电镜、金相显微镜、布氏硬度计和冲击试验机等仪器对断轴的化学成分、宏观断口、显微组织、硬度及冲击功进行了综合分析。分析结果认为,结... 农用水泵轴在使用过程中部分出现早期断裂,为了找出水泵轴早期断裂的原因,采用直读光谱仪、扫描电镜、金相显微镜、布氏硬度计和冲击试验机等仪器对断轴的化学成分、宏观断口、显微组织、硬度及冲击功进行了综合分析。分析结果认为,结构设计不合理,表面氧化脱碳以及水泵断轴显微组织存在呈魏氏组织形态的铁素体是导致水泵轴在服役时早期疲劳断裂的主要原因。按照分析的结论,通过增大轴肩处预留圆角尺寸,采用水泵轴热处理炉内气氛保护及提高水泵轴淬火加热温度与冷却速度等改进和优化生产工艺的方法,解决了水泵轴在使用过程中出现早期断裂的问题。该文对提高农业机械产品质量控制和水泵关键零件设计与加工具有重要的参考价值。 展开更多
关键词 故障分析 断裂 水泵轴 疲劳断裂 热处理 脱碳层
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基于应用型人才培养的双师型教师队伍的建设 预览 被引量:6
18
作者 张艺 维连 王磊 《河北农业大学学报:农林教育版》 2015年第1期46-49,共4页
河北农业大学机电学院以"1258"型人才培养模式为指导,进行了有能力同时完成理论教学和指导学生实践操作的双师型教师队伍的建设实践。总结出了双师型教师队伍的建设经验:增加多媒体教学课程,拓宽教师专业知识面;增强实验教学环节,夯... 河北农业大学机电学院以"1258"型人才培养模式为指导,进行了有能力同时完成理论教学和指导学生实践操作的双师型教师队伍的建设实践。总结出了双师型教师队伍的建设经验:增加多媒体教学课程,拓宽教师专业知识面;增强实验教学环节,夯实教师专业基础知识;指导校内实习实践,提高教师专业操作技能;深入企业实践教学,提升教师实践创新能力;积极领队各类竞赛,培养提高教师创新能力;改进教学评价体系,提高实验实践环节比重。 展开更多
关键词 应用型人才 双师型教师 校企合作 人才培养
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基于 SolidWorks 的熔模铸件切割机的设计 预览
19
作者 张云谦 维连 +1 位作者 丁晔 《中国农机化学报》 北大核心 2014年第2期202-206,共5页
针对熔模铸件切割的特殊要求,分析了熔模铸件的切割过程,采用机械系统设计思想.研究了熔模铸件切割机的机械结构,利用SolidWorks软件对熔模铸件切割机整体造型、机械结构进行了设计,并设计了特殊功能部件的机械结构。关键零部件在... 针对熔模铸件切割的特殊要求,分析了熔模铸件的切割过程,采用机械系统设计思想.研究了熔模铸件切割机的机械结构,利用SolidWorks软件对熔模铸件切割机整体造型、机械结构进行了设计,并设计了特殊功能部件的机械结构。关键零部件在三维建模的基础上,利用SolidWorks有限元分析模块Simulation进行了参数化的设计与分析。在机械部件要实现的功能的基础上,设计了PLC控制系统,解决了熔模铸件切割的安全问题,提高了熔模铸件切割的效率,实现了切割的半自动化。 展开更多
关键词 熔模铸件切割机 SOLIDWORKS 设计仿真
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磁控溅射基片负偏压对Ti/TiN复合纳米薄膜择优取向的影响
20
作者 王会强 邢艳秋 +2 位作者 维连 董婷婷 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期193-197,共5页
采用中频反应磁控溅射技术,以高纯Ti(99.99%)为靶材,以高纯氮气(99.99%)为反应气体,在铝合金基片上沉积Ti/TiN复合纳米膜层。通过XRD、SEM、EDS等分析Ti/TiN复合纳米膜层微观组织和物相结构,研究基片负偏压对Ti/TiN复合纳米薄膜择优取... 采用中频反应磁控溅射技术,以高纯Ti(99.99%)为靶材,以高纯氮气(99.99%)为反应气体,在铝合金基片上沉积Ti/TiN复合纳米膜层。通过XRD、SEM、EDS等分析Ti/TiN复合纳米膜层微观组织和物相结构,研究基片负偏压对Ti/TiN复合纳米薄膜择优取向生长的影响。研究表明,将片加上-150 V负偏压时,Ti/TiN薄膜优先沿(111)面生长;将基片加上-200 V负偏压时,Ti/TiN薄膜优先沿(220)面生长;将基片加上-350 V负偏压时,Ti/TiN薄膜优先沿(200)面生长。继续增大基片负偏压时,由于薄膜中Ar离子浓度大幅增长,高能离子长时间轰击破坏晶粒取向性,使薄膜呈无择优取向。 展开更多
关键词 磁控溅射 纳米膜层 择优取向 基片负偏压
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