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Laser-induced liquid tin discharge plasma and its EUV spectra 认领
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作者 王均武 王新兵 +1 位作者 Vassily Zakharov 《中国光学快报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第5期40-43,共4页
Laser-induced discharge plasmas(LDPs) have the potential to be inspection and metrology sources in extreme ultraviolet(EUV) lithography. An LDP EUV source was developed to avoid tin electrode erosion in which a tin po... Laser-induced discharge plasmas(LDPs) have the potential to be inspection and metrology sources in extreme ultraviolet(EUV) lithography. An LDP EUV source was developed to avoid tin electrode erosion in which a tin pool was used as a cathode. A CO2 pulse laser was focused on the liquid tin target surface, and then a breakdown occurred in a very short time. The voltage-current characteristics of the discharge oscillated, lasting for several microseconds, and an RLC fitting model was used to obtain the inductance and resistance. An intensified chargecoupled device(ICCD) camera was used to investigate the dynamics of LDP, which can explain the formation of a discharge channel. The EUV spectra of laser-induced liquid tin discharge plasma were detected by a grazing incident ultraviolet spectrometer, compared with a laser-produced tin droplet plasma EUV spectrum. To explain the EUV spectrum difference of laser-induced liquid tin discharge plasma and laser-produced tin droplet plasma,the collision radiation(CR) model combined with COWAN code was used to fit the experimental EUV spectrum, which can estimate the electron temperature and density of the plasma. 展开更多
关键词 laser induced discharge plasma voltage-current characteristics liquid tin plasma plume extreme ultraviolet spectra
激光诱导放电等离子体羽辉的研究 认领
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作者 王均武 王新兵 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期173-177,共5页
为了研究激光诱导放电等离子体的膨胀特性,建立了一套基于脉冲CO2激光诱导锡靶放电等离子体极紫外光源装置,采用增强型电荷耦合器件对羽辉进行拍摄,并采用1维真空电弧模型对实验结果进行了理论说明。实验中改变放电电压和激光能量,得到... 为了研究激光诱导放电等离子体的膨胀特性,建立了一套基于脉冲CO2激光诱导锡靶放电等离子体极紫外光源装置,采用增强型电荷耦合器件对羽辉进行拍摄,并采用1维真空电弧模型对实验结果进行了理论说明。实验中改变放电电压和激光能量,得到了不同条件下时间分辨的羽辉图像。结果表明,在激光能量140mJ、放电电压10kV的条件下,获得了稳定的放电等离子体;等离子体的羽辉形态与电流存在对应关系,经历了形成、膨胀、收缩、再次膨胀和消散的不同阶段,放电电压和诱导激光能量对羽辉大小、稳定性和形成时间有影响。此研究有助于提高激光诱导放电等离子体光源的稳定性以及极紫外光的输出功率。 展开更多
关键词 激光技术 激光诱导放电等离子体 羽辉图像
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蓝紫光的腔增强空气喇曼光谱 认领
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作者 姚中一 熊东升 +2 位作者 白玉思 王新兵 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期217-220,共4页
喇曼光谱是一种无损、快速检测物质成分的方法。为了提高监测灵敏度,对408nm波段半导体激光器的腔增强自发喇曼散射进行了研究。利用输出功率500mW、线宽0.9nm的408nm半导体激光器作激发光,把激光耦合入共焦球面镜腔,两面共焦球面镜的... 喇曼光谱是一种无损、快速检测物质成分的方法。为了提高监测灵敏度,对408nm波段半导体激光器的腔增强自发喇曼散射进行了研究。利用输出功率500mW、线宽0.9nm的408nm半导体激光器作激发光,把激光耦合入共焦球面镜腔,两面共焦球面镜的反射率分别为96.5%和99.5%,部分激光返回半导体激光器形成光反馈,半导体激光器与共焦腔形成共振。对装置的光反馈过程进行了探讨,并对外腔的模式匹配和频率匹配分别进行了分析。结果表明,共焦腔内功率达到15W,功率增强了30倍;用90°探测构型收集喇曼信号,完成了空气喇曼信号检测;1s积分时间,获得N 2信号900个计数。此共振增强腔大大增强了喇曼散射信号,有潜力应用于多种气体的在线检测或高灵敏度检测。 展开更多
关键词 光谱学 半导体激光器 光反馈 腔增强 自发喇曼散射
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缓冲气体对光声光谱法气体检测的影响 认领
4
作者 蔡家裕 郭红 +1 位作者 王新兵 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期81-85,共5页
为了研究气压及缓冲气体种类对光声信号及共振频率的影响,采用光声光谱技术,设计了一套基于光声光谱技术原理的痕量气体检测系统。实验中以NH 3标准气作为待测气体,采用向光声池内充入缓冲气体的方法来改变光声池内气压,在气压作为单一... 为了研究气压及缓冲气体种类对光声信号及共振频率的影响,采用光声光谱技术,设计了一套基于光声光谱技术原理的痕量气体检测系统。实验中以NH 3标准气作为待测气体,采用向光声池内充入缓冲气体的方法来改变光声池内气压,在气压作为单一变量的条件下得出0.03MPa~0.1MPa气压范围内光声信号及共振频率的变化;采用分别向光声池内充入不同种类缓冲气体的方法,得出不同缓冲气体条件下0.03MPa~0.1MPa气压范围内光声信号及共振频率的变化。结果表明,随着气压的升高,光声信号幅值增大,并且越重的缓冲气体使光声信号增幅越大;气压的升高使得共振频率偏移,共振频率的偏移量与光声池内混合气体分子的摩尔质量成反比。该研究为解决在现场进行气体检测时,气压及背景气体变化的复杂环境对检测结果的影响提供了参考。 展开更多
关键词 激光技术 光声光谱 气压 缓冲气体
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脉冲Nd∶YAG激光诱导水滴等离子体的实验研究 认领
5
作者 尹培琪 王新兵 +2 位作者 武耀星 孙秦 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期726-731,共6页
为了研究激光诱导液滴等离子体特性,基于脉冲激光与液滴的同步作用,采用直接成像法和阴影法研究了液滴等离子体羽辉膨胀特性及激光作用液滴的运动情况。首先采用增强型电荷耦合器件直接成像法,研究了水滴等离子体的羽辉随时间的演化;其... 为了研究激光诱导液滴等离子体特性,基于脉冲激光与液滴的同步作用,采用直接成像法和阴影法研究了液滴等离子体羽辉膨胀特性及激光作用液滴的运动情况。首先采用增强型电荷耦合器件直接成像法,研究了水滴等离子体的羽辉随时间的演化;其次利用阴影法研究激光作用水滴的阴影图像的演化,观察到激光作用水滴产生的冲击波及液滴团簇的变化,分析计算了冲击波膨胀距离随时间的变化和膨胀速度。结果表明,激光诱导水滴等离子体的膨胀形状近似为椭圆,其中沿激光入射方向的一侧辐射强度较高;100ns内等离子体的膨胀变化近似为线性膨胀,100ns后膨胀趋于稳定;冲击波膨胀半径随时间线性增长,冲击波的膨胀速率约为90m/s。此研究结果可为激光诱导液滴实验提供一定的参考依据。 展开更多
关键词 激光技术 液滴等离子体羽辉 阴影法 液滴靶
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脉冲激光诱导碳等离子体的特性 认领 被引量:1
6
作者 周素素 王新兵 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期318-323,共6页
为了研究不同空气压力条件下碳等离子体的动力学特性,采用发射光谱法对碳等离子体进行诊断。采用1064nm Nd…YAG激光器烧蚀碳靶,测得早期的发射光谱为连续谱,此时使用黑体辐射公式拟合并推算碳等离子体的电子温度;当线状谱出现后,采用... 为了研究不同空气压力条件下碳等离子体的动力学特性,采用发射光谱法对碳等离子体进行诊断。采用1064nm Nd…YAG激光器烧蚀碳靶,测得早期的发射光谱为连续谱,此时使用黑体辐射公式拟合并推算碳等离子体的电子温度;当线状谱出现后,采用玻尔兹曼作图法计算电子温度,并观察电子温度和电子密度随延时的演化趋势,以及空气压力对演化的影响。结果表明:不同空气压力条件下,电子温度和电子密度随延时的变化趋势一致;随着空气压力增大,等离子体受到的限制更大,粒子间的碰撞增加,导致电子温度和电子密度随之增大;在0.01Pa压力下沉积得到了石墨烯薄膜。 展开更多
关键词 激光技术 等离子体诊断 碳等离子体 发射光谱法 电子温度
脉冲激光诱导石墨等离子体羽辉特性研究 认领
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作者 周素素 王新兵 +1 位作者 尹培琪 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期796-800,共5页
为了研究C2的演化规律,采用增强型电荷耦合器件(ICDD)直接成像法,通过Nd∶YAG激光器烧蚀石墨靶,使用窄带通滤波片分辨出C2和C^+的发射位置,研究了在不同空气压力条件下,脉冲激光诱导石墨等离子体中C2和C^+的发射特性。当空气气压为10^-2... 为了研究C2的演化规律,采用增强型电荷耦合器件(ICDD)直接成像法,通过Nd∶YAG激光器烧蚀石墨靶,使用窄带通滤波片分辨出C2和C^+的发射位置,研究了在不同空气压力条件下,脉冲激光诱导石墨等离子体中C2和C^+的发射特性。当空气气压为10^-2 Pa和3Pa时,C2发射峰值位于靶材附近,此时C2的形成主要为靶材的直接发射;气压增大至50Pa时,由于气相重组反应加强,等离子体前端出现另一个C2的发射峰值,其峰值位置与C^+一致,并且其逐渐占C2发射的主导地位,此时C2的形成主要来源于重组反应,C^+发射光强要大于C2;当气压进一步增大至130Pa时,气相重组反应增加,在等离子体前端出现C 2的发射强度增强,在1.3μs之后,C2的发射强度大于C^+。结果表明,随着气压的变化,C2的发射峰值位置和强度发生明显变化。这一结果对碳等离子体沉积碳纳米材料原理研究是有帮助的。 展开更多
关键词 激光技术 碳等离子体羽辉 增强型CCD成像 C2自由基
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半导体激光泵浦亚稳态氩气激光器实现激光振荡 认领
8
作者 高俊 张秩凡 +2 位作者 雷鹏 王新兵 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期3-4,共2页
采用基于体布拉格光栅的窄线宽半导体激光器作为泵浦源,以电容耦合式射频激励Ar,He混合气体放电等离子体为增益介质,在双程纵向泵浦的结构下实现了连续波模式的912nm的激光输出。
关键词 光泵浦气体激光器 稀有气体 窄线宽半导体激光器
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拉曼光谱用热电制冷CCD探测器的设计与性能 认领 被引量:1
9
作者 唐文武 余安澜 +2 位作者 姚中一 王新兵 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第9期76-83,共8页
设计了一种热电制冷电子耦合元件(CCD)探测器,并对其特性进行了分析。介绍了该CCD探测器的真空制冷结构、电路、应用软件,并对各个部分的设计思路、功能、效果进行了详细论述。对该探测器的暗电流噪声和读出噪声进行了测试,结果表明... 设计了一种热电制冷电子耦合元件(CCD)探测器,并对其特性进行了分析。介绍了该CCD探测器的真空制冷结构、电路、应用软件,并对各个部分的设计思路、功能、效果进行了详细论述。对该探测器的暗电流噪声和读出噪声进行了测试,结果表明:在温度为-30℃、读出频率为250kHz的条件下,该探测器的读出噪声为56e^-,其暗电流噪声为0.232e^-·(pixel·s)^-1;使用该热电制冷CCD探测器测试空气的自发拉曼散射信号,在温度为-30℃、曝光时间为10s的条件下,O2、N2和H2O的自发拉曼散射峰的相对高度分别为3303,7768,843ADU,其中N2峰的信背比和信噪比分别为14.8和24.9。所设计的CCD探测器具有探测微弱自发拉曼散射信号的能力。 展开更多
关键词 探测器 拉曼分析仪 热电制冷 暗电流噪声 读出噪声
氦氩射频容性放电发射光谱分析 认领
10
作者 张秩凡 高俊 +3 位作者 雷鹏 周素素 王新兵 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第14期195-201,共7页
光抽运亚稳态稀有气体激光器利用放电等离子体作为激光的增益介质.为掌握容性射频放电的放电参数对等离子体各项参数的影响的基本规律,利用等离子体发射光谱法研究了氦氩混合气体在不同装置、不同Ar组分、不同气压和不同射频注入功率下... 光抽运亚稳态稀有气体激光器利用放电等离子体作为激光的增益介质.为掌握容性射频放电的放电参数对等离子体各项参数的影响的基本规律,利用等离子体发射光谱法研究了氦氩混合气体在不同装置、不同Ar组分、不同气压和不同射频注入功率下的等离子体参数.利用残留水蒸气产生的OH自由基A^-2Σ^+→X^2Π的转动光谱分析获得气体温度;利用电子态光谱的玻尔兹曼做图法获得电子激发温度,利用Ar原子696.5 nm谱线的斯塔克展宽获得电子密度.结果表明:气体温度随气压增加略微上升,在一个大气压下改变组分和放电功率,气体温度变化不大;电子激发温度随总气压的下降而上升,且随着Ar组分的增加而略微下降;目前放电条件下的电子密度均在10^15cm^-3量级;长时间放电监测表明,残留的水蒸气会导致电子温度的下降,从而降低Ar亚稳态的产率. 展开更多
关键词 光泵亚稳态氩气激光器 射频放电 发射光谱分析
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基于可调谐CO2激光器的SF6差分光声检测研究 认领 被引量:3
11
作者 郭红 王新兵 +1 位作者 陈宝锭 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期593-598,共6页
为了对电力场所SF6 气体浓度进行有效监测, 采用光声光谱气体检测技术, 基于波长可调谐CO2 激光器, 设 计了一套大气环境下的SF6 痕量气体检测系统,并提出一种差分光声光谱技术以提升光声系统的检测灵敏度.结果表 明,所设计的SF6 气体... 为了对电力场所SF6 气体浓度进行有效监测, 采用光声光谱气体检测技术, 基于波长可调谐CO2 激光器, 设 计了一套大气环境下的SF6 痕量气体检测系统,并提出一种差分光声光谱技术以提升光声系统的检测灵敏度.结果表 明,所设计的SF6 气体检测光声系统的共振中心频率为1066Hz,品质因数为32. 0 4,光声池常数为89. 74Pa ·m · W^- 1 ;利 用单谱线光声法,在激光谱线10P12处检测SF6 气体的灵敏度为0 . 06 ×10 ^- 6 (体积分数);采用差分光声光谱气体技术 后,在激光谱线10P12和10P16处3W强度调制光的照射下,光声系统的灵敏度提升到0 . 02 ×10 ^-6 (体积分数).差分光 声光谱技术能有效降低噪声影响,提升光声检测系统的灵敏度, 具有一定的实用价值. 展开更多
关键词 激光技术 六氟化硫 差分光声光谱 光声腔
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CO2激光诱导大气放电特性的研究 认领
12
作者 邓兴福 王新兵 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期61-64,共4页
为了研究脉冲CO2激光诱导空气放电的特性,建立了高压电容充放电实验平台,采用间距为8mm、半径为10mm的一对球形石墨电极,取得了放电电压和电流的实时数据,采用2阶振荡电路模型对放电电压和放电电流进行拟合得到了电极间激光诱导放电等... 为了研究脉冲CO2激光诱导空气放电的特性,建立了高压电容充放电实验平台,采用间距为8mm、半径为10mm的一对球形石墨电极,取得了放电电压和电流的实时数据,采用2阶振荡电路模型对放电电压和放电电流进行拟合得到了电极间激光诱导放电等离子体的阻抗,并对放电时间、放电延时及抖动做了统计.结果表明,激光诱导放电等离子体的阻抗很小,约1Ω-2Ω,拟合得到的放电等离子体阻抗随放电电压、放电电容、以及激光能量的增加而减小;放电延时随着实验条件的变化在2μs-10μs之间变化,放电延时以及延时抖动随着放电电压和激光能量的增加而降低,而受放电电容大小的影响不明显.由此高稳定性的激光脉冲和高压有助于激光诱导放电过程的稳定. 展开更多
关键词 激光光学 CO2激光 脉冲放电 等离子体 空气
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大气压He-Ar射频容性放电Ar亚稳态粒子数密度 认领 被引量:3
13
作者 何永乐 高俊 +1 位作者 王新兵 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期6-10,共5页
利用发射光谱法测量大气压He-Ar混合气体射频容性放电中的Ar亚稳态1s5(3s23p54s[3/2]2)粒子数密度。在不同的放电功率和气体组分下测量放电等离子体中的重要参数:气体转动温度、电子激发温度和Ar亚稳态1s5粒子数密度。结果表明:... 利用发射光谱法测量大气压He-Ar混合气体射频容性放电中的Ar亚稳态1s5(3s23p54s[3/2]2)粒子数密度。在不同的放电功率和气体组分下测量放电等离子体中的重要参数:气体转动温度、电子激发温度和Ar亚稳态1s5粒子数密度。结果表明:气体温度在不同放电功率及Ar气压在5×103 Pa以内时变化不大,范围为300~350 K;电子激发温度随着放电功率的增加而增加,并且在Ar气压为4×103 Pa时最大,在放电功率为70 W时达到0.58 eV;1s5粒子数密度随着放电功率以及电子激发温度的增加而增加,在放电功率为70 W、Ar气压为4×103 Pa时达到1.53×109 cm-3。 展开更多
关键词 光泵惰性气体亚稳态激光器 大气压He-Ar射频放电 氩亚稳态1s5粒子数密度
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CO2激光诱导空气等离子体放电通道特性研究 认领
14
作者 李凤舞 王新兵 《激光技术》 CSCD 北大核心 2017年第6期831-835,共5页
为了研究高能脉冲CO2激光诱导空气等离子体放电通道的特性,建立了高压电容充放电实验平台,激光束经离轴抛物聚焦镜汇聚,引发间距可调的盘状电极和针状电极之间的等离子体放电通道。利用电气参量测量、发射光谱测量等手段,分析了等离子... 为了研究高能脉冲CO2激光诱导空气等离子体放电通道的特性,建立了高压电容充放电实验平台,激光束经离轴抛物聚焦镜汇聚,引发间距可调的盘状电极和针状电极之间的等离子体放电通道。利用电气参量测量、发射光谱测量等手段,分析了等离子体放电通道的启动特性、阻抗特性和等离子体密度。结果表明,激光束与放电方向同轴的结构以及较大的脉冲能量,使得激光诱导等离子体放电通道的启动时间大幅缩短,50mm间距的等离子体通道,启动时间约为2μs;激光诱导等离子体放电通道的阻抗很小,约1Ω2Ω,并且阻抗值随放电电压的增加有减小的趋势,而与等离子体通道长度的关系不明显;由谱线的Stark展宽计算获得的空气击穿之后、放电启动之前的等离子体电子密度约为1019cm-3,尽管放电启动时等离子体辐射显著增强,但等离子体密度近乎单调下降。这些结果将有利于高能脉冲CO2激光诱导空气等离子体放电通道的应用研究。 展开更多
关键词 激光技术 等离子体通道 等离子体阻抗 等离子体密度
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ArF准分子激光系统的能量效率特性 认领 被引量:1
15
作者 王倩 赵江山 +2 位作者 时文 周翊 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第21期153-160,共8页
为深入理解ArF准分子激光系统的运转机制,进而获得优化ArF准分子激光系统设计的理论及方向性指导,利用一维流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,梳理了ArF准分... 为深入理解ArF准分子激光系统的运转机制,进而获得优化ArF准分子激光系统设计的理论及方向性指导,利用一维流体模型,以气体高压放电等离子体深紫外激光辐射过程为主要对象,研究了放电抽运ArF准分子激光系统的动力学特性,梳理了ArF准分子激光系统的能量传递过程,深入研究了等离子体放电机理,从能量沉积效率、ArF*粒子形成过程、激光输出三个方面,分析了动力学过程中影响能量效率的主要因素,提出了相应的改进优化措施.仿真结果表明,氟气及相关粒子在系统运转过程中有重要作用,工作气体中氟气的组分比例对能量效率影响较大,偏离最佳点会导致激光系统能量效率的下降.相关结论为ArF准分子激光系统的优化设计和稳定可靠运转提供了重要的理论参考依据. 展开更多
关键词 ArF准分子激光 能量效率 流体模型 电子密度
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气体拉曼光谱检测系统中热电制冷CCD研究 认领 被引量:2
16
作者 赵俊 王新兵 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第7期81-89,共9页
拉曼光谱检测中常用的CCD对温度较为敏感,降温可以有效降低其暗电流噪声。基于此,设计了一套制冷系统,采用有限元分析软件ANSYS分别模拟散热模块的导热情况及真空室内低、中真空度下气体流动热交换情况;实验测量了低、中真空度范围... 拉曼光谱检测中常用的CCD对温度较为敏感,降温可以有效降低其暗电流噪声。基于此,设计了一套制冷系统,采用有限元分析软件ANSYS分别模拟散热模块的导热情况及真空室内低、中真空度下气体流动热交换情况;实验测量了低、中真空度范围内不同真空度下温度随制冷时间变化的特性曲线,以及真空室内充人氩气、氖气、氮气作为保护气体时温度随制冷时间变化的特性曲线。结果表明氮气效果较好,并非真空度越高制冷效果越好,这与热模拟结果相符。测量了CCD在不同温度下的暗电流噪声,结果显示CCD温度对暗电流噪声影响较大,制冷可以有效减小暗电流噪声,且暗电流噪声变化与温度变化呈类指数关系。 展开更多
关键词 探测器 CCD 暗电流噪声 热模拟 真空 热电制冷
脉冲气体激光器磁压缩放电电路的仿真 认领 被引量:3
17
作者 袁鑫荣 王新兵 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期199-204,共6页
为了降低用于脉冲气体激光器的全固态磁压缩放电电路的放电延时抖动,采用PSPICE软件对全固态磁压缩激励电路进行仿真分析,完成了对充电、磁开关复位以及整个放电过程的初步模拟。模拟结果显示,初始储能电容电压1V的波动会引起放电时间5n... 为了降低用于脉冲气体激光器的全固态磁压缩放电电路的放电延时抖动,采用PSPICE软件对全固态磁压缩激励电路进行仿真分析,完成了对充电、磁开关复位以及整个放电过程的初步模拟。模拟结果显示,初始储能电容电压1V的波动会引起放电时间5ns~10ns的抖动,抖动时间随着充电电压的升高而降低;通过采用特制的两级耦合复位回路来降低放电延时抖动,该复位电路可将放电抖动从微秒量级降低到纳秒量级。结果表明,降低抖动的关键因素在于充电过程中高频交流纹波经复位电路耦合将磁芯复位到一稳定状态,使磁开关、可饱和脉冲变压器的工作状态更加稳定。建立的仿真模型,对低放电抖动的脉冲放电激励电路设计可提供参考。 展开更多
关键词 激光技术 脉冲放电 磁开关 放电抖动 PSPICE仿真
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CO2激光诱导液滴射流等离子体的实验研究 认领
18
作者 陈子琪 王新兵 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期888-891,共4页
为了研究激光诱导射流等离子体特性,了解激光诱导液滴等离子体的发展过程,基于脉冲激光-液滴同步作用系统,采用阴影法,观测了激光作用液滴的阴影图像,取得了液滴在CO2脉冲激光作用下的演化过程数据。对图像进行处理获得了激光诱导... 为了研究激光诱导射流等离子体特性,了解激光诱导液滴等离子体的发展过程,基于脉冲激光-液滴同步作用系统,采用阴影法,观测了激光作用液滴的阴影图像,取得了液滴在CO2脉冲激光作用下的演化过程数据。对图像进行处理获得了激光诱导液滴等离子体冲击波膨胀范围随时间的变化,并估算出了产生冲击波的激光能量。结果表明,空气冲击波的膨胀半径在当前观测时间范围内线性膨胀,约32%的激光能量用于产生冲击波。空气冲击波的变化规律对激光诱导液态燃料点火的研究提供了一定的参考依据。 展开更多
关键词 激光物理 激光诱导等离子体 激光点火 冲击波 液滴射流
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脉冲CO2激光烧蚀锡靶等离子体的数值模拟 认领 被引量:2
19
作者 姚黎为 王新兵 +1 位作者 刘璐宁 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期56-62,共7页
使用一维辐射流体力学程序MULTI模拟了脉冲CO2激光烧蚀平面锡靶的过程,研究了脉冲宽度、峰值功率密度、靶材初始密度对锡等离子体电子密度、电子温度的时空分布的影响,并结合统计分析得到最有利于产生13.5nm极紫外光的激光脉冲宽度。模... 使用一维辐射流体力学程序MULTI模拟了脉冲CO2激光烧蚀平面锡靶的过程,研究了脉冲宽度、峰值功率密度、靶材初始密度对锡等离子体电子密度、电子温度的时空分布的影响,并结合统计分析得到最有利于产生13.5nm极紫外光的激光脉冲宽度。模拟结果表明,脉冲宽度为100-200ns的长脉冲激光产生的等离子体有利于实现极紫外输出的最佳条件,通过分析等离子体的电子密度、电子温度的分布对这一结论进行了解释。临界电子密度区域有效吸收了脉冲能量,而低密度的羽辉对激光与极紫外辐射的吸收很少。采用长脉冲激光,使得辐射极紫外等离子体持续时间更长,是提高极紫外辐射效率的有效手段。同时模拟还发现,靶材初始密度对等离子体参数的影响不大。 展开更多
关键词 MULTI CO2激光 等离子体 极紫外 脉冲宽度
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Time-Resolved Optical Emission Spectroscopy Diagnosis of CO2 Laser-Produced SnO2 Plasma 认领
20
作者 兰慧 王新兵 《等离子体科学与技术:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第9期902-906,共5页
The spectral emission and plasma parameters of SnO2 plasmas have been investigated.A planar ceramic SnO2 target was irradiated by a CO2 laser with a full width at half maximum of 80 ns.The temporal behavior of the spe... The spectral emission and plasma parameters of SnO2 plasmas have been investigated.A planar ceramic SnO2 target was irradiated by a CO2 laser with a full width at half maximum of 80 ns.The temporal behavior of the specific emission lines from the SnO2 plasma was characterized.The intensities of Sn I and Sn II lines first increased,and then decreased with the delay time.The results also showed a faster decay of Sn I atoms than that of Sn II ionic species.The temporal evolutions of the SnO2 plasma parameters(electron temperature and density) were deduced.The measured temperature and density of SnO2 plasma are 4.38 eV to0.5 eV and 11.38×1017 cm-3 to 1.1×1017 cm-3,for delay times between 0.1 μs and 2.2 μs.We also investigated the effect of the laser pulse energy on SnO2 plasma. 展开更多
关键词 等离子体参数 发射光谱诊断 SNO2 时间分辨 激光产生 等离子体密度 激光脉冲能量 延迟时间
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