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H2对Al-Si-GNP共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响 预览
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作者 丁春华 汪国庆 +1 位作者 姜宏 《海南大学学报:自然科学版》 CAS 2019年第1期1-5,共5页
以玻璃为基底,采用射频磁控溅射法制备了Al2O3、SiO2、氧化石墨烯(GNP)共掺杂氧化锌(GASZO)透明导电薄膜.考察了在Ar(流量不变)中H2流量对薄膜制备的影响.采用X射线衍射仪(XRD)及扫描电子显微镜(SEM)等对薄膜形貌、结构进行了表征.结果... 以玻璃为基底,采用射频磁控溅射法制备了Al2O3、SiO2、氧化石墨烯(GNP)共掺杂氧化锌(GASZO)透明导电薄膜.考察了在Ar(流量不变)中H2流量对薄膜制备的影响.采用X射线衍射仪(XRD)及扫描电子显微镜(SEM)等对薄膜形貌、结构进行了表征.结果表明薄膜晶相为纤锌矿结构、呈c轴择优取向;Scherrer公式计算发现增加H2量,可以减小薄膜的平均晶粒尺寸;H2流量对薄膜内应力影响较大.此外,还采用四探针测试仪、紫外—可见分光光度计(UV-Vis)等对薄膜的光电性能进行了表征.当Ar流量为70 sccm、H2占溅射气氛1. 00%时,薄膜具有最低电阻率7. 746×10-4Ω·cm;适量的H2流量可以提高玻璃在近紫外区的透过率;镀膜后样品在可见光区的平均透过率为90%左右. 展开更多
关键词 射频磁控溅射 共掺杂 ZNO薄膜 光电性能
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中空节能玻璃研究进展 预览 被引量:2
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作者 丁春华 姜宏 《玻璃》 2016年第5期39-43,共5页
玻璃门窗是建筑围护的四大部件中节能最薄弱的部位,中空玻璃是减缓其能耗散失的有效方式之一。本文综述了中空玻璃的发展历史、研究现状及发展趋势。在中空玻璃中空腔内填充惰性气体,可较大程度地提高中空玻璃的热阻,减少能耗损失。此外... 玻璃门窗是建筑围护的四大部件中节能最薄弱的部位,中空玻璃是减缓其能耗散失的有效方式之一。本文综述了中空玻璃的发展历史、研究现状及发展趋势。在中空玻璃中空腔内填充惰性气体,可较大程度地提高中空玻璃的热阻,减少能耗损失。此外,使用暖边Swiggle胶条密封系统,可以有效提高玻璃保温隔热性能,显著改善中空玻璃边部节能效果。 展开更多
关键词 建筑节能 传热系数 中空玻璃
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磁控溅射法制备掺杂ZnO透明导电薄膜及其研究进展 预览 被引量:1
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作者 丁春华 +3 位作者 姜宏 汪国庆 王红燕 那聪 《材料导报:纳米与新材料专辑》 EI CAS 2016年第1期235-240,共6页
磁控溅射技术以其显著的优点已成为工业镀膜主要技术之一。充分发挥磁控溅射镀膜技术的现有优势,寻找新的增长点,成为近年来人们研究的热点。介绍了磁控溅射镀膜技术的原理、特点;总结了近来磁控溅射法制备掺杂ZnO薄膜,主要是Al掺杂、S... 磁控溅射技术以其显著的优点已成为工业镀膜主要技术之一。充分发挥磁控溅射镀膜技术的现有优势,寻找新的增长点,成为近年来人们研究的热点。介绍了磁控溅射镀膜技术的原理、特点;总结了近来磁控溅射法制备掺杂ZnO薄膜,主要是Al掺杂、Si掺杂、Al-H共掺杂ZnO薄膜的研究进展。并在此基础上对掺杂ZnO透明导电薄膜的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 磁控溅射 ZnO透明导电薄膜 掺杂
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氩气流量对多元掺杂ZnO薄膜性能的影响 预览
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作者 丁春华 +3 位作者 姜宏 汪国庆 彭国强 冯建 《材料导报:纳米与新材料专辑》 2016年第2期425-428,共4页
采用射频磁控溅射的方法在玻璃基底上用掺杂浓度为1%(质量分数)Al2O3,1%(质量分数)SiO2,1%(质量分数)石墨烯的陶瓷靶材制备出了多元掺杂氧化锌(ZnO:Al:Si:GNP,GASZO)透明导电薄膜。利用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-... 采用射频磁控溅射的方法在玻璃基底上用掺杂浓度为1%(质量分数)Al2O3,1%(质量分数)SiO2,1%(质量分数)石墨烯的陶瓷靶材制备出了多元掺杂氧化锌(ZnO:Al:Si:GNP,GASZO)透明导电薄膜。利用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析,研究了不同氩气流量(工作压强保持不变)对薄膜的结构、形貌及光电性能的影响。结果表明,所制备的薄膜均具有呈c轴择优取向的纤锌矿结构;当氩气流量为70sccm时,薄膜的电阻率最低为11.47×10^-4Ω·cm。所有薄膜样品在可见光波段的平均透过率超过91%。 展开更多
关键词 氩气流量 射频磁控溅射 多元掺杂ZnO薄膜 光电性能
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