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偏压对电弧离子镀薄膜表面形貌的影响机理 预览 被引量:37
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作者 黄美东 林国强 +2 位作者 孙超 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期 510-515,共6页
在不同偏压下用电弧离子镀沉积TiN薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜表面大颗粒污染情况,并分析偏压对大颗粒的影响.结果表明,偏压对大颗粒的影响主要来自电场的排斥作用.直流偏压下,等离子体鞘层基本稳定,电子对大颗粒表面充电能... 在不同偏压下用电弧离子镀沉积TiN薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜表面大颗粒污染情况,并分析偏压对大颗粒的影响.结果表明,偏压对大颗粒的影响主要来自电场的排斥作用.直流偏压下,等离子体鞘层基本稳定,电子对大颗粒表面充电能力很弱,而脉冲偏压下,由于鞘层厚度不断变化,大颗粒不断进出于鞘层,电子对大颗粒表面的充电能力强,使其所带负电荷明显增多,受到基体的排斥力变大,大颗粒不易沉积到基体而使薄膜形貌得到有效改善. 展开更多
关键词 偏压 电弧离子镀 Tin薄膜 表面形貌
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镁合金表面处理研究的进展 预览 被引量:13
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作者 高波 郝胜智 +1 位作者 周继扬 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2003年第10期 1-3,共3页
论述了镁合金表面处理,包括化学表面转化处理、机械表面硬化处理、强束流表面改性3方面的研究现状,着重叙述了铬化、磷化处理、阳极氧化、微弧氧化等表面处理工艺.同时,还论述了机械表面硬化处理的表面喷丸强化和滚压强化.强束流表面改... 论述了镁合金表面处理,包括化学表面转化处理、机械表面硬化处理、强束流表面改性3方面的研究现状,着重叙述了铬化、磷化处理、阳极氧化、微弧氧化等表面处理工艺.同时,还论述了机械表面硬化处理的表面喷丸强化和滚压强化.强束流表面改性代表现代先进表面改性技术,包括离子束、激光束、电子束表面改性,国外研究较多,而国内研究相对较少,应该引起足够的重视. 展开更多
关键词 镁合金 表面处理 表面改性
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强流脉冲电子束诱发温度场及表面熔坑的形成 预览 被引量:22
3
作者 秦颖 王晓钢 +5 位作者 郝胜智 刘悦 邹建新 吴爱民 关庆丰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期 3043-3048,共6页
在强流脉冲电子束表面改性实验的基础上,通过数值计算方法对铝和钢的温度场和熔化过程进行模拟,给出了最先熔化的位置、形成熔孔的最大深度以及表面层下熔化的最大深度.通过铝和钢的熔化潜热温度补偿的数值模拟结果和实验结果的对比,揭... 在强流脉冲电子束表面改性实验的基础上,通过数值计算方法对铝和钢的温度场和熔化过程进行模拟,给出了最先熔化的位置、形成熔孔的最大深度以及表面层下熔化的最大深度.通过铝和钢的熔化潜热温度补偿的数值模拟结果和实验结果的对比,揭示了亚表层率先升温及熔化从而通过表层向外喷发的熔坑的形成机制. 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 热传导 数值模拟 熔化潜热 表面熔坑 热扩散率
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脉冲偏压电弧离子低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能 预览 被引量:27
4
作者 黄美东 孙超 +2 位作者 林国强 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期 516-520,共5页
利用直流和脉冲偏压电弧离子镀技术沉积TiN硬质薄膜,研究了不同偏压下基体的沉积温度、薄膜的表面形貌及力学性能.结果表明,与直流偏压相比,脉冲偏压可以明显降低基体的沉积温度,大大减少薄膜表面的大颗粒污染,改善表面形貌,而薄膜的综... 利用直流和脉冲偏压电弧离子镀技术沉积TiN硬质薄膜,研究了不同偏压下基体的沉积温度、薄膜的表面形貌及力学性能.结果表明,与直流偏压相比,脉冲偏压可以明显降低基体的沉积温度,大大减少薄膜表面的大颗粒污染,改善表面形貌,而薄膜的综合力学性能仍保持良好,说明利用脉冲偏压技术是实现电弧离子镀低温沉积的有效途径. 展开更多
关键词 电弧离子镀 低温沉积 脉冲偏压 TIN薄膜
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钛合金表面宽带激光熔覆梯度生物陶瓷复合涂层 预览 被引量:26
5
作者 刘其斌 郑敏 +2 位作者 朱维东 李海涛 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期 50-53,共4页
为了减少激光熔覆过程中基材与生物陶瓷涂层之间的热应力,设计了一种梯度生物陶瓷复合涂层并采用宽带激光熔覆技术在Ti-6Al-4V合金上制备了梯度生物陶瓷复合涂层,对其组织和显微硬度进行了研究.结果表明:钙和氧元素主要分布在生物陶瓷... 为了减少激光熔覆过程中基材与生物陶瓷涂层之间的热应力,设计了一种梯度生物陶瓷复合涂层并采用宽带激光熔覆技术在Ti-6Al-4V合金上制备了梯度生物陶瓷复合涂层,对其组织和显微硬度进行了研究.结果表明:钙和氧元素主要分布在生物陶瓷涂层中;钛和钒元素主要分布在基材和合金化层内;磷元素分布在合金层与陶瓷层中.合金层中基底组织上分布着白色共晶组织和白色颗粒,基底组织主要为Ti(Al、P、Fe、V)相,白色共晶组织主要为Fe2Ti4O+AlV3,白色颗粒为结晶析出的Al3V0.333 Ti0.666;生物陶瓷层中的基底组织为胞状晶,其上分布有灰色相和白色颗粒相,胞状晶主要为CaO、CaTiO3和HA,灰色相为β-TCP及Ca2Ti2O6,白色颗粒相为TiO2.合金层的最高硬度为1600Hv0.2,生物陶瓷涂层显微硬度最大值约为1300Hv0.2. 展开更多
关键词 钛合金 宽带激光熔覆 梯度生物陶瓷 复合涂层 组织 硬度
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强流脉冲电子束表面处理 预览 被引量:26
6
作者 郝胜智 吴平生 +3 位作者 张向东 邹建新 秦颖 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期 77-81,共5页
以T8钢、D2模具钢和AZ91HP镁合金为试验材料,利用强流脉冲电子束(加速电压为27 keV,脉冲持续时间约为1μs,能量密度约为2.2 J/cm^2)在试样表面进行辐照处理,研究了处理试样的表层组织、相结构及性能变化规律。另外,结合电子束能量沉... 以T8钢、D2模具钢和AZ91HP镁合金为试验材料,利用强流脉冲电子束(加速电压为27 keV,脉冲持续时间约为1μs,能量密度约为2.2 J/cm^2)在试样表面进行辐照处理,研究了处理试样的表层组织、相结构及性能变化规律。另外,结合电子束能量沉积过程中瞬时温度和应力的作用特点,详细讨论了表面熔坑及深层硬化现象的形成机理。 展开更多
关键词 表面改性 强流脉冲电子束 辐照处理 组织
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模具钢电子束表面改性研究 预览 被引量:21
7
作者 吴爱民 陈景松 +4 位作者 张爱民 邹建新 郝胜智 徐洮 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第8期 608-614,共7页
利用电子束进行表面热改性处理是材料表面处理中的一种新兴技术.本文利用强流脉冲电子束(High current pulsed electron beam, HCPEB)技术对模具钢D2(Cr12Mo1V1)和模具钢H13(4Cr5MoSiV1)进行了表面改性处理.对改性试样进行了表面形貌及... 利用电子束进行表面热改性处理是材料表面处理中的一种新兴技术.本文利用强流脉冲电子束(High current pulsed electron beam, HCPEB)技术对模具钢D2(Cr12Mo1V1)和模具钢H13(4Cr5MoSiV1)进行了表面改性处理.对改性试样进行了表面形貌及组织结构分析,并进行了显微硬度及磨损性能测试,结果表明,电子束轰击处理后试样的最表层发生熔化,晶粒明显细化,表面重熔层厚度最厚处达到了10μm左右.试样次表层几百微米范围内都存在显微硬度增加现象,并呈现特殊的曲线分布状态.试样相对耐磨性也分别提高了5.63倍(D2)和11.76倍(H13). 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 模具钢 表面改性 耐磨性 表面处理
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Cu基Cu—Zr—Al块体非晶合金的成分设计 预览 被引量:10
8
作者 王清 王英敏 +3 位作者 羌建兵 张新房 王德和 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期 1183-1188,共6页
利用变电子浓度经验判据,从Cu-Zr亚组元体系中的最深共晶点Cu61.8Zr38.2和次深共晶点Cu56Zr44出发,连接第三组元Al,建立(Cu61.8Zr38.2)1-xAlx和(Cu56Zr44)1-xAlx变电子浓度线.电子浓度在1.24-1.30的(Cu61.8Zr38.2)1-xAlx合金可通过铜模... 利用变电子浓度经验判据,从Cu-Zr亚组元体系中的最深共晶点Cu61.8Zr38.2和次深共晶点Cu56Zr44出发,连接第三组元Al,建立(Cu61.8Zr38.2)1-xAlx和(Cu56Zr44)1-xAlx变电子浓度线.电子浓度在1.24-1.30的(Cu61.8Zr38.2)1-xAlx合金可通过铜模吸铸法形成直径为3 mm的块体非晶;对于(Cu56Zr44)1-xAlx系列合金,块体非晶形成的电子浓度区间为1.28-1.36.热分析结果表明,每条变电子浓度线上块体非晶合金的热稳定性和玻璃形成能力随电子浓度增大而增加.其中,(Cu61.8Zr38.2)1-xAlx变电子浓度线上的非晶合金Cu58.1Zr35.9Al6(e/a=1.3)具有最高的热稳定性和最大的玻璃形成能力,其特征参数Tg=760 K,Tg/Tl=0.648,皆高于已报道的最优成分Cu55Zr40Al5(Tg=722 K,Tg/Tl=0.614). 展开更多
关键词 块体金属玻璃 Cu—Zr—Al合金 电子浓度
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强流脉冲电子束应力诱发的微观结构 预览 被引量:20
9
作者 关庆丰 安春香 +5 位作者 秦颖 邹建新 郝胜志 张庆瑜 邹广田 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期 3927-3934,共8页
利用强流脉冲电子束装置在各种工艺条件下对奥氏体不锈钢、单晶铝及多晶铝等面心立方金属进行辐照处理.利用扫描电子显微镜和透射电子显微镜等详细分析了辐照样品的变形组织与结构.通过分析,在一定程度上建立起强流脉冲电子束诱发的应... 利用强流脉冲电子束装置在各种工艺条件下对奥氏体不锈钢、单晶铝及多晶铝等面心立方金属进行辐照处理.利用扫描电子显微镜和透射电子显微镜等详细分析了辐照样品的变形组织与结构.通过分析,在一定程度上建立起强流脉冲电子束诱发的应力特征与变形结构之间的关系,并对目前现有的几种应力波数值模拟结果进行了分析.实验结果表明,强流脉冲电子束能够在材料内部诱发102-103 MPa的应力,其传播方式与材料的晶体结构关系密切.这一应力是导致材料深层性能与微观组织结构发生变化的根源所在. 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 微观结构 应力诱发 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 奥氏体不锈钢 面心立方金属 微观组织结构 工艺条件 变形组织 辐照处理 变形结构 应力特征 模拟结果 发生变化 结构关系 传播方式 多晶铝 单晶铝 应力波
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D2钢电子束表面改性抗微动磨损性能研究 预览 被引量:17
10
作者 吴爱民 刘捍卫 +2 位作者 邹建新 周仲荣 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期 758-765,共8页
利用强流脉冲电子束(HCPEB)技术对D2钢进行了表面改性处理.结果表明,电子束轰击试样近表层组织结构发生了很大变化,且亚表层显微硬度明显增加.微动磨损结果显示,电子束处理可以改善D2钢抗微动磨损性能,预涂覆TiN和Cr层效果更明显.磨痕SE... 利用强流脉冲电子束(HCPEB)技术对D2钢进行了表面改性处理.结果表明,电子束轰击试样近表层组织结构发生了很大变化,且亚表层显微硬度明显增加.微动磨损结果显示,电子束处理可以改善D2钢抗微动磨损性能,预涂覆TiN和Cr层效果更明显.磨痕SEM分析表明,涂覆Cr层的样品微动磨损主要机制是粘着和氧化,而TiN涂层及电子束直接处理试样主要磨损机制则是表面疲劳微裂纹的扩展和断裂产生的剥落颗粒,在摩擦面造成磨粒磨损,同时也伴随轻微的粘着和氧化,其磨损机制相对比较复杂. 展开更多
关键词 D2钢 抗微动磨损性能 强流脉冲电子束 模具钢 表面改性 微动磨损
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强流脉冲电子束表面改性的物理模型及数值模拟 预览 被引量:18
11
作者 秦颖 吴爱民 +4 位作者 邹建新 郝胜智 刘悦 王晓钢 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期 701-704,共4页
推导出了强流脉冲电子束处理过程的应力场方程,利用数值模拟,得到了温度场和应力场的分布曲线,分别给出了熔化深度、升降温的速率及温度梯度的大小,准静态应力和热应力波的幅值、应力波的传播及反射过程,利用数值模拟结果对实验中观察... 推导出了强流脉冲电子束处理过程的应力场方程,利用数值模拟,得到了温度场和应力场的分布曲线,分别给出了熔化深度、升降温的速率及温度梯度的大小,准静态应力和热应力波的幅值、应力波的传播及反射过程,利用数值模拟结果对实验中观察到的实验现象熔化深度、材料表层及次表层数微米范围内组织结构的变化及数百微米的硬度提高等给出了解释. 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 表面改性 物理模型 数值模拟 应力场方程 温度场 熔化深度 热应力波 材料科学
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准晶材料性能及应用研究现状 被引量:13
12
作者 张利明 《材料导报》 CSCD 北大核心 2000年第1期 22-24,共3页
介绍了准晶材料的传输特性、表面特性、复合强化、光学特性、高温性能及其应用前景。
关键词 准晶材料 性能 应用 传输特性 表面特性
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强流脉冲电子束轰击产生表面熔坑的数值模拟研究 预览 被引量:11
13
作者 秦颖 吴爱民 +3 位作者 邹建新 刘悦 王晓钢 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期 85-89,共5页
在纯Al强流脉冲电子束表面改性实验的基础上,通过数值计算方法对其温度场和熔化过程进行了模拟,给出了脉冲半高宽度为0.5μs、能量为3J/cm2电子束轰击铝靶后:熔化深度约为2.5μm,与TEM的观察结果一致,熔化从0.4μs开始到1.6μs结束,最... 在纯Al强流脉冲电子束表面改性实验的基础上,通过数值计算方法对其温度场和熔化过程进行了模拟,给出了脉冲半高宽度为0.5μs、能量为3J/cm2电子束轰击铝靶后:熔化深度约为2.5μm,与TEM的观察结果一致,熔化从0.4μs开始到1.6μs结束,最先完全熔化的位置约为1.4μm,亚表层首先熔化并且迅速膨胀(沉积的能量在最大射程的1/3处达到最大值),体积膨胀力大约为275MPa,引起了熔体从亚表层通过表层向外喷发,熔体的喷发速度约为1330m/s,随后表面从内向外经历速率为109K/s的冷却过程,因而使得表面形成类似于火山坑状的"熔坑".验证了SEM和TEM的实验结果. 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 HCPEB 数值模拟 熔坑
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Zr基大块非晶合金的摩擦磨损性能 被引量:14
14
作者 陈伟荣 王英敏 +5 位作者 羌建兵 徐卫平 王德和 徐洮 张爱民 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期 14-17,共4页
研究了以等电子浓度和等原子尺寸为依据设计的6种不同成分的非晶合金以及同非晶合金成分相同的4种晶态合金在干摩擦条件下同GCr15钢对摩时的摩擦磨损行为.结果表明:6种不同成分非晶合金的摩擦系数相近,均在0.5~0.6范围以内;4种晶态合... 研究了以等电子浓度和等原子尺寸为依据设计的6种不同成分的非晶合金以及同非晶合金成分相同的4种晶态合金在干摩擦条件下同GCr15钢对摩时的摩擦磨损行为.结果表明:6种不同成分非晶合金的摩擦系数相近,均在0.5~0.6范围以内;4种晶态合金的摩擦系数均在0.4~0.5范围内,相同成分的晶态合金的摩擦系数比非晶合金的低,且显微硬度和耐磨性较高;非晶合金的磨损机制主要为塑性流变,晶态合金的磨损机制主要为脆性断裂以及磨粒磨损. 展开更多
关键词 大块非晶 显微硬度 摩擦磨损性能 锆基合金
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利用强流脉冲电子束对45^#钢进行表面改性 预览 被引量:16
15
作者 邹慧 关庆丰 +2 位作者 张庆瑜 梁亮 《吉林大学学报:工学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期 127-131,共5页
利用强流脉冲电子束对45#钢进行了表面改性处理,并对其显微组织和改性机制进行了分析和讨论.结果表明:材料近表层的显微组织沿电子束注入方向大致可分为4层:熔化层(3~10 μm)、热影响层(10~50 μm)、应力影响层(50~250 μm)、基体组... 利用强流脉冲电子束对45#钢进行了表面改性处理,并对其显微组织和改性机制进行了分析和讨论.结果表明:材料近表层的显微组织沿电子束注入方向大致可分为4层:熔化层(3~10 μm)、热影响层(10~50 μm)、应力影响层(50~250 μm)、基体组织(大于250 μm);显微硬度随轰击次数的增加而增加,最大值出现在50 μm左右;多次轰击可以提高耐磨性. 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 表面改性 显微组织 45^#钢
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42CrMo钢宽带激光熔覆NiCrBSi组织和性能 预览 被引量:14
16
作者 李刚 夏元良 +1 位作者 王存山 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期 16-18,共3页
采用宽带扫描器将圆形光斑展宽成矩形,在42CrMo基材表面激光熔覆NiCrBSi合金,得到致密无裂纹结合层。研究了熔覆层组织、物相及其对熔覆层硬度、耐磨性的影响,并综合阐述了不同工艺对硬度、耐磨性及熔覆层的影响。
关键词 宽带激光熔覆 组织 耐磨性 40CrMo钢 NICRBSI合金 塑料挤出机 螺杆
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H13钢电弧沉积铝膜及强流脉冲电子束后处理的复合改性研究 预览 被引量:11
17
作者 邹建新 吴爱民 +2 位作者 刘振民 李茂原 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2003年第2期 91-95,共5页
本文介绍电弧沉积与强流脉冲电子束后处理相结合的表面复合处理工艺,并应用在H13钢的表面快速合金化.我们首先采用电弧离子镀的方法在H13钢表面沉积了约10 μm厚的纯铝层,然后用强流脉冲电子束对铝膜进行后处理,Al在电子束瞬间加热作用... 本文介绍电弧沉积与强流脉冲电子束后处理相结合的表面复合处理工艺,并应用在H13钢的表面快速合金化.我们首先采用电弧离子镀的方法在H13钢表面沉积了约10 μm厚的纯铝层,然后用强流脉冲电子束对铝膜进行后处理,Al在电子束瞬间加热作用下,熔入基体表面中,实现了表面快速合金化.对处理前后的样品进行了氧化性能对比测试,结果表明,复合处理可以显著提高H13钢在高温下的抗氧化性能. 展开更多
关键词 电弧沉积 强流脉冲电子束后处理 表面复合处理工艺 H13钢 复合改性 表面合金化 抗氧化性能
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宽带激光熔覆梯度生物活性陶瓷复合涂层组织与性能 被引量:14
18
作者 刘其斌 郑敏 +2 位作者 朱维东 李海涛 《应用激光》 CSCD 北大核心 2004年第6期 350-354,共5页
为了增加基材与生物陶瓷涂层之间的结合强度,消除激光熔覆过程中基材与生物陶瓷涂层之间的开裂倾向,设计了一种梯度生物陶瓷复合涂层并采用宽带激光熔覆技术在Ti-6Al-4V合金上制备了梯度生物陶瓷复合涂层,对其组织和性能进行了研究.结... 为了增加基材与生物陶瓷涂层之间的结合强度,消除激光熔覆过程中基材与生物陶瓷涂层之间的开裂倾向,设计了一种梯度生物陶瓷复合涂层并采用宽带激光熔覆技术在Ti-6Al-4V合金上制备了梯度生物陶瓷复合涂层,对其组织和性能进行了研究.结果表明:钙和氧元素主要分布在生物陶瓷涂层中;钛和钒元素主要分布在基材和合金化层内;磷元素分布在合金层与陶瓷层中.合金层中基底组织上分布着白色共晶组织和白色颗粒,基底组织主要为Ti(Al,P,Fe,V)相,白色共晶组织主要为Fe2Ti4O+AlV3,白色颗粒为结晶析出的Al3V0.333Ti0.666;生物陶瓷层中的基底组织为胞状晶,其上分布有灰色相和白色颗粒相,胞状晶主要为GaO、CaTiO3和HA,灰色相为β-TCP及Ca2Ti2O6,白色颗粒相为TiO2.陶瓷涂层表面形成了类珊瑚礁结构及短杆堆积结构.这种表面结构将有助于为骨细胞长入生物陶瓷涂层提供通道.陶瓷层与钛合金基体之间的结合强度大于37.3 MPa.合金层的最高硬度为1600 HV0.2,生物陶瓷涂层显微硬度最大值约为1300HV0.2. 展开更多
关键词 共晶组织 组织与性能 复合涂层 合金层 宽带激光熔覆 陶瓷层 组织和性能 生物陶瓷涂层 白色 生物活性陶瓷
Al65Cu20Cr15准晶颗粒/Al基复合材料的摩擦学性能 被引量:16
19
作者 齐育红 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期 129-135,共7页
首次研究了Al65Cu20Cr15准晶颗粒/Al基复合材料的硬度及摩擦学性能。研究表明,该复合材料的硬度随准晶颗粒体积分数的增加而增加,最大达到1200MPa,最纯铝的4倍。复合材料的摩擦学性能优于纯铝,当准晶颗粒体... 首次研究了Al65Cu20Cr15准晶颗粒/Al基复合材料的硬度及摩擦学性能。研究表明,该复合材料的硬度随准晶颗粒体积分数的增加而增加,最大达到1200MPa,最纯铝的4倍。复合材料的摩擦学性能优于纯铝,当准晶颗粒体积分数为15% ̄20%,摩擦学性能随体积分数的升高而改善,当体积分数达到25%时,摩擦学性能有所降低。 展开更多
关键词 准晶颗粒 复合材料 硬度 摩擦学性能 铝基
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负偏压在电弧离子镀沉积TiN/TiCN多层薄膜中的作用 预览 被引量:9
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作者 黄美东 林国强 +4 位作者 孙超 蒋长荣 黄荣芳 闻立时 《金属热处理》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期 17-20,共4页
用电弧离子镀方法在高速钢、不锈钢与铜基体上沉积合成TiN/TiCN多层薄膜,在其他参数不变的情况下只改变负偏压,着重考察不同负偏压下薄膜的沉积温度、膜基结合强度、显微硬度以及表面形貌等,研究基体负偏压在沉积多层薄膜中所起的... 用电弧离子镀方法在高速钢、不锈钢与铜基体上沉积合成TiN/TiCN多层薄膜,在其他参数不变的情况下只改变负偏压,着重考察不同负偏压下薄膜的沉积温度、膜基结合强度、显微硬度以及表面形貌等,研究基体负偏压在沉积多层薄膜中所起的作用。结果表明,负偏压影响沉积温度,负偏压值越大,温度越高;负偏压值增大,表面形貌中的大颗粒数量减少,薄膜质量得到改善;负偏压在-300V左右时,膜基结合强度与硬度出现对应最佳性能点的峰值。 展开更多
关键词 电弧离子镀 负偏压 多层薄膜 氮化钛 碳氮化钛
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