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200毫米*200毫米高精度格网基准板的研制 预览 被引量:1
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作者 金文() 项丽萍 《光学仪器》 1991年第4期 32-37,共6页
本文详细介绍了200毫米×200毫米高精度格网基准板的制作工艺。在研制过程中,采用了激光测长技术,光电瞄准和准直技术,大面积平板玻璃研磨、镀铬及刻腐技术。使格网基准板的点位误差(即平面座标点的综合位置误差)经中国计量科学研... 本文详细介绍了200毫米×200毫米高精度格网基准板的制作工艺。在研制过程中,采用了激光测长技术,光电瞄准和准直技术,大面积平板玻璃研磨、镀铬及刻腐技术。使格网基准板的点位误差(即平面座标点的综合位置误差)经中国计量科学研究院检测已达2微米,达到目前国内先进水平。本文还对格网基准板的误差进行了分析。 展开更多
关键词 激光干涉 测长系统 格网基准板
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