期刊文献+
共找到206篇文章
< 1 2 11 >
每页显示 20 50 100
电弧加热器铜污染组分效应发射光谱定量研究 认领
1
作者 曾徽 陈智铭 +2 位作者 闫宪翔 欧东斌 董永晖 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期56-66,共11页
电弧加热器是研究飞行器气动热防护问题的重要地面试验平台,其采用电极放电加热获得高温气体的方式,会产生铜蒸汽粒子,并随同进入地面试验模拟的等离子体气流,产生电弧风洞地面试验铜污染组分效应。本研究利用发射光谱诊断技术,发展了... 电弧加热器是研究飞行器气动热防护问题的重要地面试验平台,其采用电极放电加热获得高温气体的方式,会产生铜蒸汽粒子,并随同进入地面试验模拟的等离子体气流,产生电弧风洞地面试验铜污染组分效应。本研究利用发射光谱诊断技术,发展了一套电弧加热器高温流场组分在线诊断测量系统,开展对10 MW高焓叠片式电弧加热器铜电极烧蚀的在线测量,获得了铜原子浓度的实时测量结果。基于所选铜原子谱线,开展了对电弧加热器起弧过程和稳定工作过程的测量,同时分析了管式电极和环形电极下电极烧蚀的情况。研究结果表明:起弧瞬间,电极烧蚀较明显,管式电极的铜原子峰值浓度要明显高于环形电极;稳定工作后,环形电极铜原子烧蚀量迅速下降,并保持在一个较低水平(<10-6),管式电极仍然存在较高、不稳定的烧蚀,显示管式电极的烧蚀量要明显高于环形电极,且管式电极烧蚀量随着电弧加热器运行电流的增加而增加。基于该测量结果,建立了判定电极失效的直接判据,并用于保障电弧加热器运行安全。为研究电弧加热器电极烧蚀及地面试验铜污染组分效应提供了非接触式测量手段,目前,该测量系统已经作为电弧加热器的常规测试手段,提供电弧加热器高温气流的在线诊断。 展开更多
关键词 叠片式电弧加热器 电极烧蚀 铜污染组分效应 发射光谱 等离子体气流
基于发射光谱研究多针-板式水中He介质阻挡放电 认领
2
作者 岑祥旗 洪义 +2 位作者 潘静 李正华 张敬 《物理实验》 2020年第5期6-10,共5页
采用多针-板式介质阻挡放电电极结构,并利用发射光谱研究了水中氦气等离子体的放电特性.实验结果表明:He等离子体中富含He*,H*α,H*β,O*,OH*,N*2以及N+2等多种活性粒子,并且有效功率、气体温度、电子激发温度随峰值电压的增大几乎线性... 采用多针-板式介质阻挡放电电极结构,并利用发射光谱研究了水中氦气等离子体的放电特性.实验结果表明:He等离子体中富含He*,H*α,H*β,O*,OH*,N*2以及N+2等多种活性粒子,并且有效功率、气体温度、电子激发温度随峰值电压的增大几乎线性地增大,传导电流远大于位移电流.当峰值电压从7 kV增大到10 kV时,有效功率最大值约65 W,气体温度从414 K增大到498 K,而电子激发温度从4489 K增大到4635 K. 展开更多
关键词 介质阻挡放电 He等离子体 发射光谱 电子激发温度
在线阅读 免费下载
PS-PVD等离子射流特性和YSZ粉末蒸发行为的光谱诊断 认领
3
作者 张岩 邓畅光 +2 位作者 毛杰 邓子谦 罗志伟 《材料研究与应用》 CAS 2019年第4期287-294,共8页
采用PS-PVD工艺在不同送粉速率下沉积YSZ陶瓷涂层,通过光学发射光谱(OES)对不同送粉速率下的等离子射流特性进行诊断,同时分析光谱发射强度分布并计算出等离子射流平均温度及电子密度值,结合射流照片以及涂层微观结构研究不同送粉速率下... 采用PS-PVD工艺在不同送粉速率下沉积YSZ陶瓷涂层,通过光学发射光谱(OES)对不同送粉速率下的等离子射流特性进行诊断,同时分析光谱发射强度分布并计算出等离子射流平均温度及电子密度值,结合射流照片以及涂层微观结构研究不同送粉速率下YSZ粉末在射流中的加热蒸发行为.研究结果表明:少量粉末通入后几乎全部被加热蒸发,大量处于高激发态甚至发生电离,射流温度较低但保持着较高电子密度;气相状态下涂层沉积速率很低,涂层多为单根柱状晶且宽大,直接由纳米柱状晶组成;增大粉末送粉速率,射流高温区发生宽化,粉末蒸发量提高,但射流的能量不再足以蒸发所有粉末,会存在少量未融颗粒.气相、团簇甚至熔融粒子共同作用下的混合相沉积使得沉积效率迅速增大.表面扩散较不充分,单根柱状晶尺寸变窄,在固体颗粒与阴影效应的共同作用下产生分支. 展开更多
关键词 OES PS-PVD 热障涂层 YSZ粉末蒸发 等离子射流特性
在线阅读 免费下载
大气压微波等离子体炬的开发和发射光谱诊断 认领 被引量:1
4
作者 李寿哲 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期3730-3735,共6页
大气压微波等离子体炬在开放的常压条件下能够产生温和的热等离子体。文中介绍了大功率(几千瓦级别)微波等离子体炬的开发情况和技术特点,并展示了分别以氮气和氧气为载气时产生的等离子体炬的诊断结果。文中采用波导内单模驻波激发,以... 大气压微波等离子体炬在开放的常压条件下能够产生温和的热等离子体。文中介绍了大功率(几千瓦级别)微波等离子体炬的开发情况和技术特点,并展示了分别以氮气和氧气为载气时产生的等离子体炬的诊断结果。文中采用波导内单模驻波激发,以及涡旋气流增强放电管内约化电场强度的措施,有效地控制等离子体的放电稳定性以及等离子体炬的形态,并获得了较大体积的等离子体及其后放电余辉作用区。对于等离子体的诊断,采用发射光谱诊断技术对其等离子体激发区的电子密度和气体温度的变化规律以及等离子体余辉区的气体温度的空间分布做了测量,并对等离子体炬内发生的与放电机制有关的物理化学过程给予了讨论。 展开更多
关键词 微波 大气压等离子体 发射光谱 电子温度 等离子体气体温度
脉冲激光诱导碳等离子体的特性 认领
5
作者 周素素 王新兵 左都罗 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期318-323,共6页
为了研究不同空气压力条件下碳等离子体的动力学特性,采用发射光谱法对碳等离子体进行诊断。采用1064nm Nd…YAG激光器烧蚀碳靶,测得早期的发射光谱为连续谱,此时使用黑体辐射公式拟合并推算碳等离子体的电子温度;当线状谱出现后,采用... 为了研究不同空气压力条件下碳等离子体的动力学特性,采用发射光谱法对碳等离子体进行诊断。采用1064nm Nd…YAG激光器烧蚀碳靶,测得早期的发射光谱为连续谱,此时使用黑体辐射公式拟合并推算碳等离子体的电子温度;当线状谱出现后,采用玻尔兹曼作图法计算电子温度,并观察电子温度和电子密度随延时的演化趋势,以及空气压力对演化的影响。结果表明:不同空气压力条件下,电子温度和电子密度随延时的变化趋势一致;随着空气压力增大,等离子体受到的限制更大,粒子间的碰撞增加,导致电子温度和电子密度随之增大;在0.01Pa压力下沉积得到了石墨烯薄膜。 展开更多
关键词 激光技术 等离子体诊断 碳等离子体 发射光谱法 电子温度
氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究 认领 被引量:1
6
作者 张发荣 张晓丹 +1 位作者 AMANATIDES E 赵颖 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期528-534,共7页
为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像。纯氢气辉光条件下,在一个射频周期... 为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像。纯氢气辉光条件下,在一个射频周期内,Hβ时间分辨光发射谱出现了4个峰。分析表明其中两个峰是由电子冲浪效应引起,额外两个峰的出现是由瞬时阳极时刻存在额外电场所致。另外,可观察到随着气压的增大,体欧姆加热效应增强。同氢气相比,当硅烷引入后,Hβ时间分辨光发射谱由原来4个明显发射峰变成了两个明显发射峰。 展开更多
关键词 等离子体 光发射谱 微观动力学
在线阅读 下载PDF
13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究 认领
7
作者 张改玲 滑跃 +1 位作者 郝泽宇 任春生 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期186-195,共10页
通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要... 通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要提升了电子密度,低频放电中则主要提升了电子温度.固定气压为10 Pa,分别由高频和低频驱动时,电子密度的径向分布均为'凸型'.而电子温度的分布差异比较明显,高频驱动时,电子温度在腔室中心较为平坦,在边缘略有上升;低频驱动时,电子温度随径向距离的增加而逐渐下降.为了进一步分析造成这种差异的原因,在相同放电条件下采集了氩等离子体的发射光谱图,利用分支比法计算了亚稳态粒子的数密度,发现电子温度的径向分布始终与亚稳态粒子的径向分布相反.继续升高气压到100 Pa,发现不论高频还是低频放电,电子密度的径向分布均从'凸型'转变为'马鞍形',较低气压时电子密度的均匀性有了一定的提升,但低频的均匀性更好. 展开更多
关键词 感性耦合等离子体 Langmuir双探针 发射光谱 等离子体参数
在线阅读 下载PDF
正戊烷介质阻挡放电等离子体转化的发射光谱研究 认领
8
作者 吴祖良 郝晓东 +3 位作者 章旭明 周为莉 姚水良 王建新 《高校化学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期237-244,共8页
发射光谱是等离子体诊断的最有效方法,本实验将发射光谱应用于温压双控介质阻挡反应系统,研究正戊烷(C5)-氩气(Ar)在等离子场中的转化机制,具体分析了放电功率、温度、压力等关键影响因素下发射光谱特性、C5的转化率和产物选择性。实验... 发射光谱是等离子体诊断的最有效方法,本实验将发射光谱应用于温压双控介质阻挡反应系统,研究正戊烷(C5)-氩气(Ar)在等离子场中的转化机制,具体分析了放电功率、温度、压力等关键影响因素下发射光谱特性、C5的转化率和产物选择性。实验结果表明:发射光谱强度以及C5转化率与放电功率呈线性增加关系,但不同放电功率下产物的选择性基本不变;随着温度升高(298~473K)和压力(0.40~1.0bar)的减小,光谱强度增强,C5转化率提高,但氢气的选择性基本维持在10%;发射光谱强度的变化与C5转化率的变化具有很好的吻合性,表明高能电子碰撞反应对C5的初步分解起到重要的作用。但从反应产物分析,气相短链烃和液相长链烃同时存在,且选择性基本保持不变,说明后续的自由基反应和热化学反应决定了最终的产物,且其化学反应平衡受本实验反应条件影响不大。 展开更多
关键词 介质阻挡放电 发射光谱 C5转化 H2 气相短链烃 液相长链烃
在线阅读 下载PDF
Experimental Investigation of Effects of Electric Operating Parameters on Pulsed Corona Discharges in Humid Air at Atmospheric Pressure 认领
9
作者 Hasna Guedah Alyen Abahazem +3 位作者 Nofel Merbahi Mohamed Yousfi Karim Saber Ahmed Ihlal 《分析科学方法和仪器期刊(英文)》 2018年第4期49-64,共16页
The present work is devoted to electrical and optical study of a point-plane atmospheric pressure corona discharge reactor in humid air powered by pulsed high voltage supply. The corona current and the injected energy... The present work is devoted to electrical and optical study of a point-plane atmospheric pressure corona discharge reactor in humid air powered by pulsed high voltage supply. The corona current and the injected energy are analyzed as a function of several parameters such as applied voltage and humidity rate. Then, investigations based on emission spectroscopy analysis were used in UV range (from 200 nm to about 400 nm). The main observed excited species were the second positive (SPS), the first negative (FNS) systems and OH(A-X) rotational bands. The latter band was used to simulate the rotational temperature (Tr), whereas the N2+ (FNS) band was used to determine the vibrational temperature (Tv). The electron temperature (Te ) is determined from the ratio of line intensities of the spectral bands of both N2+ FNS at 391.4 nm and N2SPS at 394.4 nm. The rotational, vibrational and electronic temperatures are analyzed as a function of above parameters (applied voltage, frequency and hygrometry rate) near the anodic tip. As well we study the axial variation of electronic temperature for a fixed applied voltage at 6.4 kV, frequency at 10 kHz and 100% of humidity. It is found that the rotational, vibrational and electronic temperatures increased with increasing applied voltage, frequency and humidity rate. The increase of rate hygrometry for an inter-electrode distance fixed at 10 mm causes an increase in both the amplitude of the corona current discharge and the energy injected in corona discharge. This is indicative of more intense reactive plasma while increasing hygrometry rate. 展开更多
关键词 CORONA DISCHARGE ATMOSPHERIC Pressure Optical Emission Spectroscopy PULSED High Voltage Humidity
在线阅读 免费下载
微波气体放电等离子体与余辉中的动理学研究 认领 被引量:1
10
作者 杨薇 周前红 董志伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期62-66,共5页
研究了微秒脉冲聚焦微波束气体放电等离子体的动理学过程。数值模型基于自洽求解的微波电场亥姆霍兹方程、粒子连续性方程以及电子能量、气体分子振动能量和平动能量的平衡方程,并与等离子体动理学反应互相耦合。对比了国外报道的近期... 研究了微秒脉冲聚焦微波束气体放电等离子体的动理学过程。数值模型基于自洽求解的微波电场亥姆霍兹方程、粒子连续性方程以及电子能量、气体分子振动能量和平动能量的平衡方程,并与等离子体动理学反应互相耦合。对比了国外报道的近期两项相关实验:次MW级X波段9.4GHz微波氮气击穿和MW级W波段110GHz微波大气击穿。在次MW级实验中,计算所得电子激发态N2(C3Πu)的数密度与实验所测发射光谱第二正带隙的强度一致;在MW级实验中,模拟结果重复了发射光谱测量所得振动温度和平动温度对放电气压的依赖关系。结果揭示了上述模拟和实验符合的内在物理机制。 展开更多
关键词 高功率微波 气体放电 等离子体 能量平衡 发射光谱
在线阅读 下载PDF
基于氢原子碰撞辐射模型的发射光谱法诊断电子密度 认领
11
作者 李增山 李冬 陈德智 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第S1期335-336,共2页
基于碰撞辐射模型,利用氢原子的巴尔末线比对HUST射频负氢离子源等离子体电子密度进行诊断。首先针对HUST离子源等离子体的放电条件,建立了综合考虑氢原子直接激发和氢分子解离激发机制的碰撞辐射模型。基于建立的模型,利用氢原子的巴... 基于碰撞辐射模型,利用氢原子的巴尔末线比对HUST射频负氢离子源等离子体电子密度进行诊断。首先针对HUST离子源等离子体的放电条件,建立了综合考虑氢原子直接激发和氢分子解离激发机制的碰撞辐射模型。基于建立的模型,利用氢原子的巴尔末线比来诊断电子密度。进一步分析了不同的氢原子分子密度比对电子密度诊断的影响,结果表明当电子温度较高,氢分子的解离度较低的等离子体放电状态下,必须同时考虑氢原子直接激发和氢分子解离激发对激发态氢原子的贡献。 展开更多
关键词 发射光谱 负氢离子源 碰撞辐射模型 电子密度
在线阅读 下载PDF
高气压氮气介质阻挡放电激发态氮的实验研究 认领
12
作者 李森 唐波 +1 位作者 马婷婷 张锡彦 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期858-863,共6页
本文通过等离子体发射光谱研究了高气压介质阻挡放电中压力对于激发态氮的影响。其中压力变化范围是0.1MPa到0.5MPa,不同能级的N2(C^3Πu)是典型的活性物质。实验结果显示,随着实验气压增加,等离子体主体活性物质数密度从7×10^15... 本文通过等离子体发射光谱研究了高气压介质阻挡放电中压力对于激发态氮的影响。其中压力变化范围是0.1MPa到0.5MPa,不同能级的N2(C^3Πu)是典型的活性物质。实验结果显示,随着实验气压增加,等离子体主体活性物质数密度从7×10^15cm^-3降至1×10^15cm^-3。电子温度随着气压的增加从5eV降至3eV。电子数密度和气压的关系较为复杂,会受到中性分子和电子温度的影响。氮分子激发过程速率常数则随着压力增加近似线性减少,从6×10^-16m^3/s降至3×10^-16m^3/s。实验结果显示,介质阻挡放电气压增加会显著减少活性物质数量、电子温度,同时近似线性减少氮分子激发过程速率常数。 展开更多
关键词 光发射光谱学 等离子体 活性物种 电子密度 电子温度 激发反应
发射光谱的低温等离子体诊断 认领
13
作者 吉祖俊 郭颖 赵建钢 《东华大学学报:自然科学版》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期479-484,共6页
采用发射光谱诊断技术研究功率对氩气和氧气激发态光强的影响,并结合光刻胶的刻蚀速率来论证这种光谱诊断的可行性,并应用该诊断方法研究极板间距及配置对等离子体放电的影响。结果表明:氩离子和氧原子激发态光强随着功率的增加呈线性... 采用发射光谱诊断技术研究功率对氩气和氧气激发态光强的影响,并结合光刻胶的刻蚀速率来论证这种光谱诊断的可行性,并应用该诊断方法研究极板间距及配置对等离子体放电的影响。结果表明:氩离子和氧原子激发态光强随着功率的增加呈线性增加,与电子密度和电子能量密度的相关性高达0.88以上,与光刻胶的刻蚀速率的相关性高达0.95以上;极板间距的增加可减弱发射光谱强度、降低等离子体密度,正负极板配置可增强发射光谱的强度、提高等离子体密度和光刻胶的刻蚀速率。 展开更多
关键词 发射光谱 容性耦合等离子体 刻蚀速率
在线阅读 下载PDF
Measurements of Absolute Atomic Nitrogen Density by Two-Photon Absorption Laser-Induced Fluorescence Spectroscopy in Hot Air Plasma Generated by Microwave Resonant Cavity 认领
14
作者 Frédéric Marchal Nofel Merbahi +2 位作者 Gaétan Wattieaux Alain Piquemal Mohammed Yousfi 《分析科学方法和仪器期刊(英文)》 2017年第4期93-115,共23页
For the first time, absolute densities of atomic nitrogen in its ground state (N4S) have been measured in hot dry and humid air plasma columns under post-discharge regime. The determination of space-resolved absolute ... For the first time, absolute densities of atomic nitrogen in its ground state (N4S) have been measured in hot dry and humid air plasma columns under post-discharge regime. The determination of space-resolved absolute densities leads to obtain the dissociation degrees of molecular nitrogen in the plasma. The hot plasmas are generated inside an upstream gas-conditioning cell at 600 mbar when the air gas flow is directly injected at 10 slm in a microwave resonant cavity (2.45 GHz, 1 kW) placed in the downstream side. Density measurements based on laser induced fluorescence spectroscopy with two-photon excitation (TALIF), are more particularly performed along the radial and axial positions of the plasma column. Calibration of TALIF signals is performed in situ (i.e. in the same gas-conditioning cell but without plasma) using an air gas mixture containing krypton. Optical emission spectroscopy is considered to estimate the rotational gas temperature by adding a small amount of H2 in dry air to better detect OH (A-X) spectra. The rotational temperatures in humid air plasma column (50% of humidity) are larger than those of dry air plasma column by practically 30% near the nozzle of resonant cavity on the axis of the plasma column. This is partly due to attachment heating processes initiated by water vapor. A maximum of the measured absolute nitrogen density is also observed near the nozzle which is also larger for humid air plasma column. The obtained dissociation degrees of molecular nitrogen in both dry and humid air plasma along the air plasma column are lower than the cases where only thermodynamic equilibrium is assumed. This is characteristic of the absence of chemical and energetic equilibria not yet reached in the air plasma column dominated by recombination processes. 展开更多
关键词 TALIF Atomic Nitrogen DENSITY Measurement Hot Air PLASMA Optical Emission Spectroscopy
在线阅读 免费下载
低温等离子体活化转化煤层甲烷机理的光谱诊断 认领 被引量:3
15
作者 徐锋 朱丽华 李创 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期372-379,共8页
为了探究低温等离子体活化转化煤层甲烷的机理,采用自制的介质阻挡放电实验系统对体积组成为CH440%、0,12%、N,48%的模拟煤层甲烷进行等离子体活化转化。采用色谱分析方法对煤层甲烷介质阻挡放电稳定产物进行分析,结果表明低温... 为了探究低温等离子体活化转化煤层甲烷的机理,采用自制的介质阻挡放电实验系统对体积组成为CH440%、0,12%、N,48%的模拟煤层甲烷进行等离子体活化转化。采用色谱分析方法对煤层甲烷介质阻挡放电稳定产物进行分析,结果表明低温等离子体活化煤层甲烷的主要产物为CH,OH、CO和CO2。采用发射光谱原位诊断技术在200-700nm波长范围内研究了放电气体的发射光谱,检测到O*、CH*、C*、Ha、N2(A^3∑U^+)等激发态物种。基于发射光谱原位诊断和气相色谱分析结果,对煤层甲烷活化转化的自由基反应过程进行了推断。同时,明晰了反应气中N2对煤层甲烷活化和主要产物的生成具有促进作用,即N2产生了存活时间更长的亚稳态离子,该亚稳态离子将能量传递给反应气中的O3和CH4,进而加速了煤层甲烷的活化和稳定产物的生成。 展开更多
关键词 发射光谱 煤层甲烷 低温等离子体 机理
在线阅读 下载PDF
Generation of reactive atomic species of positive pulsed corona discharges in wetted atmospheric flows of nitrogen and oxygen 认领
16
作者 刘峰 张波 +1 位作者 方志 王文春 《等离子体科学与技术:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第6期51-59,共9页
激动的激进分子的排放系列(哦(<sup>2</sup>), O ( 3p <sup>5</sup> P ), H <sub></sub>( 3P ))并且放射性的种类( N <sub>2</sub>( C <sup>3</sup><sub > u <... 激动的激进分子的排放系列(哦(<sup>2</sup>), O ( 3p <sup>5</sup> P ), H <sub></sub>( 3P ))并且放射性的种类( N <sub>2</sub>( C <sup>3</sup><sub > u </sub>))由日冕在大气的 N <sub>2</sub>和与10% H <sub>2</sub 弄湿的 O <sub>2</sub>流动解除的积极搏动的高电压的针飞机生产了>在 80 朠潯?慦瑩的 O ? 展开更多
MPCVD制备金刚石中的光谱分析 认领
17
作者 黄宏伟 张田田 +2 位作者 丁康俊 马志斌 付秋明 《武汉工程大学学报》 CAS 2017年第1期39-44,共6页
在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)多晶金刚石的过程中,利用发射光谱法(OES)诊断等离子体中活性基团的分布情况,研究了沉积气压、CH_4体积分数以及气体流量对等离子体中基团谱峰强度的影响,讨论了相关基团与金刚石沉积速率和质量... 在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)多晶金刚石的过程中,利用发射光谱法(OES)诊断等离子体中活性基团的分布情况,研究了沉积气压、CH_4体积分数以及气体流量对等离子体中基团谱峰强度的影响,讨论了相关基团与金刚石沉积速率和质量之间的关系.结果表明:在微波功率800 W下,气压从12 k Pa增加到16 k Pa,等离子体中各基团浓度均显著增加,有利于提高金刚石的沉积速率.气压16 k Pa、功率800 W时,CH_4体积分数从2%增加到7%,C_2基团峰值强度从12 600 cps增加到24 800 cps,而氢原子峰值强度从60 000 cps变为61 000 cps,导致C_2基团与氢原子浓度比值从0.21增加到0.40,金刚石的沉积速率虽然提高,但沉积质量下降.当沉积气压和CH_4体积分数分别从16 k Pa、4%提高到18 k Pa、6%时,C_2基团峰值强度从28 000 cps增加到37 000 cps,同时保持了C_2基团与氢原子浓度比值约0.28不变,既保证了金刚石沉积质量又显著提高了金刚石的沉积速率.等离子体体系中基团浓度基本不受气体流量变化的影响. 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 发射光谱 CH4体积分数 活性基团
在线阅读 免费下载
不同碳源浓度下热丝CVD金刚石薄膜的惰性示踪气体发射光谱法研究 认领
18
作者 范咏志 王传新 +4 位作者 易成 代凯 许青波 马志斌 吴超 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2017年第1期25-28,33共5页
采用热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜,运用惰性示踪气体发射光谱法对等离子基团进行分析。实验所采用的惰性示踪气体为氩气。热丝CVD金刚石薄膜的表面形貌和断面形貌通过SEM进行表征,质量通过Raman光谱表征,从而对等离子体诊断结果进... 采用热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜,运用惰性示踪气体发射光谱法对等离子基团进行分析。实验所采用的惰性示踪气体为氩气。热丝CVD金刚石薄膜的表面形貌和断面形貌通过SEM进行表征,质量通过Raman光谱表征,从而对等离子体诊断结果进行验证。结果表明:保持其他工艺参数不变时,随碳源混合气体流量不断增加,电子温度总体呈下降趋势,但在50~70cm~3/min出现反常的先增加后下降,在60cm3/min附近时出现最大值,此时的带电粒子到达基片时具有最大通量和能量,与此同时,CO、C_2、CH等几种含碳基团浓度在60cm~3/min处出现最低,气相沉积过程向着金刚石薄膜沉积的方向发展,生长速率达到最大,金刚石薄膜的质量却随碳源混合气体流量的增加而降低。 展开更多
关键词 化学气相沉积 金刚石薄膜 光谱诊断 惰性示踪气体
在线阅读 免费下载
MPCVD中双基片结构对等离子体的影响研究 认领 被引量:1
19
作者 丁康俊 马志斌 +2 位作者 黄宏伟 宋修曦 任昱霖 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期488-493,共6页
在传统的波导耦合微波等离子体化学气相沉积装置中引入双基片结构,测量了金刚石沉积过程中的等离子体发射光谱,通过与单基片结构对比,比较研究了双基片对微波等离子体参数的影响。研究表明:在相同金刚石沉积参数下,双基片结构相比于单... 在传统的波导耦合微波等离子体化学气相沉积装置中引入双基片结构,测量了金刚石沉积过程中的等离子体发射光谱,通过与单基片结构对比,比较研究了双基片对微波等离子体参数的影响。研究表明:在相同金刚石沉积参数下,双基片结构相比于单基片结构下等离子体基团强度更高。其中Hα基团强度远高于单基片台下Hα基团强度;随着甲烷浓度的增加,双基片结构下C2基团强度上升更加显著,且在相同条件下,双基片结构下C2与Hα的比值更小,有利于提高金刚石膜的质量。此外,双基片结构下等离子体电子温度较低且随气压的上升而进一步降低。 展开更多
关键词 化学气相沉积 发射光谱 金刚石膜 新型MPCVD装置
Measurement of electron density and electron temperature of a cascaded arc plasma using laser Thomson scattering compared to an optical emission spectroscopic approach 认领
20
作者 王勇 李聪 +2 位作者 石劼霖 吴兴伟 丁洪斌 《等离子体科学与技术:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第11期23-30,共8页
As advanced linear plasma sources, cascaded arc plasma devices have been used to generate steady plasma with high electron density, high particle flux and low electron temperature. To measure electron density and elec... As advanced linear plasma sources, cascaded arc plasma devices have been used to generate steady plasma with high electron density, high particle flux and low electron temperature. To measure electron density and electron temperature of the plasma device accurately, a laser Thomson scattering(LTS) system, which is generally recognized as the most precise plasma diagnostic method, has been established in our lab in Dalian University of Technology. The electron density has been measured successfully in the region of 4.5?×?10(19)m~(-3) to7.1?×?10~(20)m~(-3) and electron temperature in the region of 0.18 eV to 0.58 eV. For comparison,an optical emission spectroscopy(OES) system was established as well. The results showed that the electron excitation temperature(configuration temperature) measured by OES is significantly higher than the electron temperature(kinetic electron temperature) measured by LTS by up to 40% in the given discharge conditions. The results indicate that the cascaded arc plasma is recombining plasma and it is not in local thermodynamic equilibrium(LTE). This leads to significant error using OES when characterizing the electron temperature in a non-LTE plasma. 展开更多
关键词 电弧等离子体 电子温度 发射光谱法 汤姆逊散射 电子密度 散射测量 级联 激光
上一页 1 2 11 下一页 到第
使用帮助 返回顶部 意见反馈