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肠黏液层构成及其与相关疾病关系
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作者 王华伟 赵浩天 +1 位作者 蒋小芝(综述) 赵鹤龄(审校) 《肠外与肠内营养》 CSCD 北大核心 2019年第1期61-64,共4页
肠黏液层是哺乳动物肠道上皮细胞上面附着的一层保护性凝胶型液体,它是宿主与肠道内环境接触的第一道屏障。肠黏液层作为肠腔内容物与肠道上皮细胞之间的润滑液和物理屏障,与肠道的机械屏障、免疫屏障及生物屏障均关系密切。尤其是在危... 肠黏液层是哺乳动物肠道上皮细胞上面附着的一层保护性凝胶型液体,它是宿主与肠道内环境接触的第一道屏障。肠黏液层作为肠腔内容物与肠道上皮细胞之间的润滑液和物理屏障,与肠道的机械屏障、免疫屏障及生物屏障均关系密切。尤其是在危重症病人疾病的发展过程中,黏液层、肠腔内消化酶和系统缺血再灌注损伤是一个复杂的过程,肠壁缺血再灌注损伤是引起黏液层结构和功能完整性受损的始发因素,此损伤启动后使得消化酶进入肠腔,然后启动自身消化反应,从而导致肠源性的脓毒症、急性肺损伤和多脏器衰竭。近几十年来对其研究较少,本文将从肠道黏液层构造及与疾病的关系做一综述。 展开更多
关键词 肠黏膜屏障 化学屏障 黏液层 肠道菌群
PCB表面涂覆层的功能和选用 预览
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作者 林金堵 《印制电路信息》 2019年第3期26-32,共7页
文章概述了表面涂(镀)覆层的功能、类型和应用效果。按应用(焊接)效果可分为两大类:(1)无阻档层的表面涂(镀)覆层,焊料在焊接后会形成'扩散层'或'暂稳态'CuxSny的金属间互化物(IMC)',从而将影响着焊接点的可靠性和... 文章概述了表面涂(镀)覆层的功能、类型和应用效果。按应用(焊接)效果可分为两大类:(1)无阻档层的表面涂(镀)覆层,焊料在焊接后会形成'扩散层'或'暂稳态'CuxSny的金属间互化物(IMC)',从而将影响着焊接点的可靠性和使用寿命;(2)有阻档层的表面涂(镀)覆层,在焊料焊接后将形成稳定的焊接点,具有更高的可靠性和更长的使用寿命。对于高可靠性和长使用寿命要求的应用领域,应选用有'阻档层'焊接的表面镀覆层的类型产品。 展开更多
关键词 表面涂覆 金属间互化物 阻档层 高可靠性
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ZnMgAl-CO3-LDHs的沥青阻燃抑烟性能与机理分析 预览
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作者 朱凯 唐大全 +2 位作者 黄亚东 王强 吴珂 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期599-605,共7页
采用层状无卤高效抑烟剂ZnMgAl-CO3-LDHs制备阻燃沥青,通过热重差热分析仪、锥形量热仪和X射线光电子能谱仪研究了层状双氢氧化物(LDHs)对沥青阻燃抑烟性能的影响,并分析其阻燃机理.结果表明:掺加质量分数为2%的LDHs可使沥青燃烧的最大... 采用层状无卤高效抑烟剂ZnMgAl-CO3-LDHs制备阻燃沥青,通过热重差热分析仪、锥形量热仪和X射线光电子能谱仪研究了层状双氢氧化物(LDHs)对沥青阻燃抑烟性能的影响,并分析其阻燃机理.结果表明:掺加质量分数为2%的LDHs可使沥青燃烧的最大热释放速率、平均热释放速率和总烟释放量分别下降24.9%,14.3%和27.0%;LDHs在2%掺量下即有较好的阻燃抑烟效果,而在25%掺量下的阻燃抑烟效果提升有限;LDHs的层状结构可以在沥青燃烧初期降低沥青的失重速率,并提升残渣的完整性、致密性和抗氧化性,但LDHs的热解吸热效应并未在沥青燃烧过程中发挥明显作用. 展开更多
关键词 沥青 层状双氢氧化物 阻燃 锥形量热仪 阻隔层
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太阳能电池用FTO/NTO复合薄膜的研究 预览
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作者 辛荣生 林钰 +1 位作者 李慧灵 苏雷生 《河南教育学院学报:自然科学版》 2019年第1期59-62,共4页
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了FTO/NTO复合薄膜.通过紫外可见光谱(UV-vis)、双电测四探针仪和电化学工作站对薄膜的光电性能进行表征,测量并分析了NTO阻挡层(兼作传输层)厚度改变对FTO/NTO复合薄膜组装器件光电性能的影响.实验结果... 采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了FTO/NTO复合薄膜.通过紫外可见光谱(UV-vis)、双电测四探针仪和电化学工作站对薄膜的光电性能进行表征,测量并分析了NTO阻挡层(兼作传输层)厚度改变对FTO/NTO复合薄膜组装器件光电性能的影响.实验结果表明:阻挡层厚度的变化能改变光生载流子的寿命,当NTO薄膜厚度为90 nm时,光生载流子寿命最高,阻挡层抑制光生载流子复合的效果最好;FTO/NTO复合薄膜的可见光透过率可达84%以上,同时能满足正向电子传输的导电要求. 展开更多
关键词 磁控溅射 FTO/NTO复合薄膜 NTO薄膜厚度 阻挡层 光电性能
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Oceanic barrier layer variation induced by tropical cyclones in the Northwest Pacific 预览
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作者 ZHANG Zhixiang LIU Lingling WANG Fan 《海洋湖沼学报(英文)》 SCIE CAS CSCD 2019年第2期375-384,共10页
According to Argo profiles and one-dimensional Price-Weller-Pinkel models, the oceanic barrier layer variation induced by tropical cyclones is adequately analyzed in the Northwest Pacific. Results show that tropical c... According to Argo profiles and one-dimensional Price-Weller-Pinkel models, the oceanic barrier layer variation induced by tropical cyclones is adequately analyzed in the Northwest Pacific. Results show that tropical cyclones mainly aff ect the oceanic barrier layer through intensifying and weakening pre-existed barrier layer. The former even may generate new one after tropical cyclones’ passage. The latter can make pre-existed one disappear. Local wind stress and precipitation, the dominant factors, primarily determine the variation of barrier layer. Negative eff ects of wind mainly focus on the north of 20°N. This phenomenon is more meaningful for slow tropical cyclones. Conversely, positive eff ects of wind and precipitation center on the south of 20°N in the Northwest Pacific. Some data indicate that the barrier layer variation is also closely related with initial mixed layer depth and barrier layer thickness. 展开更多
关键词 OCEANIC barrier layer tropical CYCLONES NORTHWEST PACIFIC ARGO Price-Weller-Pinkel model
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隔层特征及其在油田开发中的建设性作用 预览
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作者 赵杰 王亚洲 +2 位作者 王国维 汪刚 戴明辉 《录井工程》 2019年第2期100-105,137共7页
在油田开发中往往只重视对储集层的研究,而对非渗透性的隔层所发挥的建设性作用研究力度不足。为此,以州16断块Es3中油藏开发案例入手,在录井、测井、地震相、岩心及开发数据综合分析基础上,对断块隔层成因、岩电物性特征、发育特点及... 在油田开发中往往只重视对储集层的研究,而对非渗透性的隔层所发挥的建设性作用研究力度不足。为此,以州16断块Es3中油藏开发案例入手,在录井、测井、地震相、岩心及开发数据综合分析基础上,对断块隔层成因、岩电物性特征、发育特点及规模以及隔层的建设性作用开展了研究。结果表明:隔层为形成州16断块非均质多油层油藏和实现后期油藏开发提供了先天物质基础;隔层岩电、物性特征揭示了隔层具有的非渗透性导致阻渗作用是对断块油藏开发建设性作用的核心机理,可作为井组分注分采良好隔板层;隔层发育特点及规模则反映出隔层厚度在压裂改造中起着阻渗及抗压作用,为有效压裂及压后增产提供了保障。 展开更多
关键词 隔层 建设性作用 压裂改造 开发单元 分注与分采 阻渗 非渗透性
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以MnFe2O4为阻挡层的Ni-YSZ阳极支撑SOFC的效能 预览
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作者 吴晓燕 谭维 +4 位作者 罗才武 张晓文 李密 房琦 谭文发 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1949-1954,共6页
为提高镍-氧化钇稳定氧化锆(Ni-YSZ)阳极支撑的固体氧化物燃料电池(SOFC)以含碳气为燃料时的抗积碳性能,采用丝网印刷法在Ni-YSZ阳极表面印制阻挡层,阻挡层的材料为高温煅烧制备的铁酸锰(MnFe2O4)粉体。在750℃下以模拟污泥微波热解生... 为提高镍-氧化钇稳定氧化锆(Ni-YSZ)阳极支撑的固体氧化物燃料电池(SOFC)以含碳气为燃料时的抗积碳性能,采用丝网印刷法在Ni-YSZ阳极表面印制阻挡层,阻挡层的材料为高温煅烧制备的铁酸锰(MnFe2O4)粉体。在750℃下以模拟污泥微波热解生物质气为燃料,测试含阻挡层的电池的电化学效能和抗积碳性能,并利用扫描电镜对测试前、后的阳极进行表征。研究结果表明:MnFe2O4阻挡层与Ni-YSZ阳极的结合性较好;在Ni-YSZ阳极上添加MnFe2O4阻挡层后,电池的放电性能有所降低,但是电池在以模拟生物质气为燃料时的抗积碳性能大幅提高,且在浆料中添加16%(质量分数)的石墨制备的阻挡层效果最佳。本研究对Ni-YSZ阳极以生物质气为燃料时的抗积碳能力的改进与发展具有积极意义。 展开更多
关键词 固体氧化物燃料电池 阳极 阻挡层 铁酸锰 生物质气 积碳
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阻挡层抛光中布线槽铜电阻Rs的控制机制研究 被引量:1
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作者 岳昕 刘玉岭 +2 位作者 王辰伟 郑环 李祥州 《稀有金属》 CSCD 北大核心 2018年第4期386-392,共7页
布线槽处铜线条的电阻Rs关系着集成电路的响应速度和芯片的电特性。阻挡层抛光的过程中会造成布线槽处铜线条电阻Rs的变化,为了实现Rs的变化可控,使用FA/O螯合剂和JFC活性剂进行实验测试和机制研究。测试结果表明布线槽铜线条电阻Rs的... 布线槽处铜线条的电阻Rs关系着集成电路的响应速度和芯片的电特性。阻挡层抛光的过程中会造成布线槽处铜线条电阻Rs的变化,为了实现Rs的变化可控,使用FA/O螯合剂和JFC活性剂进行实验测试和机制研究。测试结果表明布线槽铜线条电阻Rs的变化取决于铜线条厚度的大小,铜线条厚度的大小是由铜线条去除速率VCu决定的。对含有不同浓度FA/O螯合剂和JFC活性剂的抛光液进行电化学实验研究,结果表明螯合剂FA/O对Cu^2+有很强的螯合作用,可以促进抛光液对布线槽铜线条的化学作用,提高布线槽铜线条的去除速率VCu;活性剂JFC对布线槽铜线条表面有很强的钝化作用,可以抑制抛光液对布线槽铜线条的化学作用,减小布线槽铜线条的去除速率VCu。利用螯合剂FA/O的强螯合作用和活性剂JFC的强钝化作用实现了布线槽铜电阻Rs的控制。 展开更多
关键词 布线槽 铜线条 电阻 阻挡层 钝化层
HPb59-1铅黄铜电镀黑镍工艺 预览
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作者 李雨 李桂麟 +1 位作者 葛黔峰 袁丽红 《电镀与精饰》 北大核心 2018年第1期40-41,46共3页
介绍了以HPb59-1铅黄铜标准螺钉电镀黑镍的全部工艺过程。基材经过化学除铅后电镀锌-镍作为阻挡层,再电镀锌作为打底层,最后电镀黑镍。采用此工艺获得的螺钉螺纹牙丝不发黄,镀出的黑镍层均匀、黝黑,能够满足HB5039-92中抗变色标准要求,... 介绍了以HPb59-1铅黄铜标准螺钉电镀黑镍的全部工艺过程。基材经过化学除铅后电镀锌-镍作为阻挡层,再电镀锌作为打底层,最后电镀黑镍。采用此工艺获得的螺钉螺纹牙丝不发黄,镀出的黑镍层均匀、黝黑,能够满足HB5039-92中抗变色标准要求,具有良好的消光性能和吸幅比。 展开更多
关键词 除铅 阻挡层 黑镍
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阻挡层CMP过程中划伤缺陷的控制 被引量:1
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作者 徐奕 刘玉岭 +1 位作者 王辰伟 马腾达 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2018年第11期841-846,共6页
研究了阻挡层化学机械抛光(CMP)过程中脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC)和过滤器对划伤缺陷的影响。分别采用含不同体积分数JFC的抛光液和三种抛光液循环系统对300 mm铜布线图形片进行阻挡层抛光。使用粒径测试仪测试加入不同体积分数JFC的抛... 研究了阻挡层化学机械抛光(CMP)过程中脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC)和过滤器对划伤缺陷的影响。分别采用含不同体积分数JFC的抛光液和三种抛光液循环系统对300 mm铜布线图形片进行阻挡层抛光。使用粒径测试仪测试加入不同体积分数JFC的抛光液的平均粒径,使用光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)对抛光后的表面缺陷进行分析和表征,并统计阻挡层抛光后图形片上划伤缺陷数。实验结果显示,JFC有效降低了抛光液的平均粒径和大颗粒数;当JFC型活性剂体积分数为4. 5%时,图形片表面划伤缺陷最少;安装0. 7μm过滤器的供液系统效果最好,与不安装相比,划伤缺陷密度降低了90%。JFC和过滤器都能有效地降低CMP过程中的划伤缺陷,将两者结合可以更好的降低划伤缺陷。 展开更多
关键词 划伤缺陷 脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC) 化学机械抛光(CMP) 阻挡层 平均粒径 过滤器
GLSI多层铜互连阻挡层CMP中铜沟槽剩余厚度的控制
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作者 马腾达 刘玉岭 +2 位作者 杨盛华 徐奕 考政晓 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2018年第11期847-851,共5页
GLSI铜布线阻挡层化学机械抛光(CMP)中铜沟槽剩余厚度(HCu)关系着集成电路的电性能,是集成电路制造工艺重要评定参数之一。使用不同配比的新型弱碱性抛光液对多层铜布线的阻挡层进行CMP,研究了抛光液中不同体积分数的螯合剂FA/OⅡ... GLSI铜布线阻挡层化学机械抛光(CMP)中铜沟槽剩余厚度(HCu)关系着集成电路的电性能,是集成电路制造工艺重要评定参数之一。使用不同配比的新型弱碱性抛光液对多层铜布线的阻挡层进行CMP,研究了抛光液中不同体积分数的螯合剂FA/OⅡ、氧化剂H2O2和抑菌剂BIT条件下对HCu的影响。结果表明,随着FA/OⅡ体积分数的增加,铜的去除速率(vCu)逐渐变大,当其体积分数增至3. 5%后,vCu呈略微下降态;加入H2O2可使vCu先迅速地增加,在其体积分数增至1. 5%后vCu开始下降。FA/OⅡ型螯合剂、H2O2在低体积分数时对铜均有强去除作用; BIT对铜的抑制作用较大,其体积分数的增加使得vCu不断减小。三者的协同作用实现了对HCu的有效控制。 展开更多
关键词 铜互连 阻挡层 化学机械抛光(CMP) 铜线条剩余厚度 铜去除速率
阳离子型与非离子型表面活性剂的复配对阻挡层化学机械抛光的影响 预览
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作者 王建超 刘玉岭 +4 位作者 牛新环 杨盛华 张凯 周佳凯 张辉辉 《电镀与涂饰》 CSCD 北大核心 2018年第24期1119-1122,共4页
通过化学机械抛光(CMP)对铜晶圆表面进行平坦化处理,研究了碱性抛光液中阳离子型表面活性剂FAOA和非离子型表面活性剂AEO复配对表面缺陷去除效果的影响。结果显示:抛光液中加入3~10mL/LFAOA后,晶圆表面缺陷数量从大于30000个降到1100个... 通过化学机械抛光(CMP)对铜晶圆表面进行平坦化处理,研究了碱性抛光液中阳离子型表面活性剂FAOA和非离子型表面活性剂AEO复配对表面缺陷去除效果的影响。结果显示:抛光液中加入3~10mL/LFAOA后,晶圆表面缺陷数量从大于30000个降到1100个以内。以6mL/LAEO与3mL/LFAOA复配时,CMP后晶圆表面的缺陷数量降至420个左右。 展开更多
关键词 铜晶圆 阻挡层 化学机械抛光 表面活性剂 复配
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方钴矿热电材料/Ti(88)Al(12)界面稳定性研究 预览
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作者 张骐昊 廖锦城 +4 位作者 唐云山 顾明 刘睿恒 柏胜强 陈立东 《无机材料学报》 CSCD 北大核心 2018年第8期889-894,共6页
热电器件的界面稳定性是决定其服役可靠性和寿命的关键因素。对于方钴矿热电器件,为了抑制高温电极与方钴矿材料之间的相互扩散,需要在两者之间加入阻挡层。本工作选用Ti(88)Al(12)作为阻挡层,利用一步法热压烧结制备n型Yb(0.3)Co... 热电器件的界面稳定性是决定其服役可靠性和寿命的关键因素。对于方钴矿热电器件,为了抑制高温电极与方钴矿材料之间的相互扩散,需要在两者之间加入阻挡层。本工作选用Ti(88)Al(12)作为阻挡层,利用一步法热压烧结制备n型Yb(0.3)Co4Sb(12)/Ti(88)Al(12)/Yb(0.3)Co4Sb(12)和p型CeFe3.85Mn0.15Sb12/Ti(88)Al(12)/CeFe3.85Mn0.15Sb12样品,研究Ti(88)Al(12)阻挡层与热电材料间的界面接触电阻率及微结构在加速老化实验中的演化规律。结果表明:在相同的老化条件下,n型样品的界面接触电阻率增加速度比p型样品慢,其激活能分别为84.1 k J/mol和68.8 k J/mol。对于n型样品,由元素扩散反应生成的金属间化合物中间层的增长及最终AlCo/TiCoSb层的开裂是导致界面接触电阻率增加的主要原因;而p型热电材料与Ti(88)Al(12)的热膨胀系数的差异加速了p型样品中界面裂纹的产生。 展开更多
关键词 方钴矿 界面稳定性 阻挡层 接触电阻率
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柔性显示用纸质基板的研究进展 预览 被引量:1
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作者 关丽霞 许军 《液晶与显示》 CSCD 北大核心 2018年第5期365-374,共10页
柔性显示因其轻薄、可折叠、不易碎、便于进行新型设计等优点备受人们的关注,而柔性显示用基板对于整个柔性电子器件起了重要的作用。本文主要分析了柔性显示用基板的几个主要基本性能,如热稳定性、表面性能、阻隔性能、电学性能、光学... 柔性显示因其轻薄、可折叠、不易碎、便于进行新型设计等优点备受人们的关注,而柔性显示用基板对于整个柔性电子器件起了重要的作用。本文主要分析了柔性显示用基板的几个主要基本性能,如热稳定性、表面性能、阻隔性能、电学性能、光学性能及机械性能等。介绍了柔性显示用基板在封装技术方面所常用的薄膜封装法,同时对纸质基板应用于柔性显示所面临的挑战进行介绍,最后对今后显示技术中纸质基板进行前景展望,纸不仅满足柔性显示用的基本性能,而且可弯曲、具有环保可降解性,有取代聚合物基板之势,发展前景广阔。 展开更多
关键词 柔性显示 纸质基板 电子器件 性能 阻隔层
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用于Cu-ULK工艺的阻挡层抛光液 预览
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作者 姚颖 宋凯 蔡鑫元 《集成电路应用》 2018年第7期45-48,共4页
随着超低介电常数(ultra-low k)材料被引入新的集成电路制造工艺技术节点,对阻挡层抛光液提出了极大的挑战。阻挡层抛光液必须具有高的阻挡层材料和介电层材料(TEOS)的去除速率,可调节的铜的去除速率以及低的ULK材料的去除速率,这... 随着超低介电常数(ultra-low k)材料被引入新的集成电路制造工艺技术节点,对阻挡层抛光液提出了极大的挑战。阻挡层抛光液必须具有高的阻挡层材料和介电层材料(TEOS)的去除速率,可调节的铜的去除速率以及低的ULK材料的去除速率,这样在阻挡层抛光过程中可以很好地停在ULK材料上以及获得好的晶圆表面形貌修正能力,且抛光后不影响ULK材料的介电常数k值。文中通过选用合适的ULK材料去除速率抑制剂,解决了抛光后ULK材料k值变化的问题,采用合适的腐蚀抑制剂,解决了铜表面腐蚀的问题和制约铜去除速率的问题,通过对阻挡层抛光液配方的优化,从而得到一种适用于Cu-ULK工艺的阻挡层抛光液。 展开更多
关键词 集成电路制造 阻挡层 化学机械抛光 超低介电材料 抛光液
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Electrochemical performance of thermally-grown SiO2 as diffusion barrier layer for integrated lithium-ion batteries
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作者 X. D. HUANG X. F. GAN +1 位作者 Q. A. HUANG J. Z. YANG 《能源前沿:英文版》 CSCD 2018年第2期225-232,共8页
关键词 SIO2 锂离子电池 电气化学 障碍层 性能 Li2CO3 化学反应 电解质
基于组合体模型的阻挡层厚度对突出延期时间的影响分析
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作者 徐乐华 姜海纳 冯增朝 《煤矿安全》 北大核心 2018年第7期9-12,共4页
为了对突出延期发生的原因进行分析,建立了延期突出的"阻挡层-软煤"组合体模型,该模型说明突出延期发生的原因是工作面空间和软煤之间存在的阻挡层,阻挡层发生破坏需要一定的时间,进而导致软煤的暴露并形成延期突出。根据该模型,采用... 为了对突出延期发生的原因进行分析,建立了延期突出的"阻挡层-软煤"组合体模型,该模型说明突出延期发生的原因是工作面空间和软煤之间存在的阻挡层,阻挡层发生破坏需要一定的时间,进而导致软煤的暴露并形成延期突出。根据该模型,采用数值模拟的方法,分析了阻挡层厚度对突出延期时间的影响。结果表明,当阻挡层厚度减小时,阻挡层进入加速蠕变阶段的速度变快。因此,当一次掘进进尺长度较长,使得预留阻挡层厚度变小,应以最快的速度实施支护,将可避免延期突出事故的发生。 展开更多
关键词 煤与瓦斯延期突出 软煤 阻挡层 延期时间 蠕变应变
Geological significance of nickeliferous minerals in the Fule Pb- Zn deposit, Yunnan Province, China
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作者 Zhenli Li Lin Ye +1 位作者 Yusi Hu Zhilong Huang 《中国地球化学学报:英文版》 EI CAS CSCD 2018年第5期684-690,共7页
关键词 沉积物 矿物质 云南省 ZN 地质 中国 矿石类型 矿化作用
非线性屏障层对HVDC电缆电场分布的影响
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作者 郭文敏 王磊 +1 位作者 蒋晓娟 李忠华 《高电压技术》 CSCD 北大核心 2018年第8期2654-2663,共10页
电缆绝缘中的电场分布是决定高压直流电缆输电线路长期可靠运行的主要因素,非线性材料能够在电场不均匀的情况下自行均化电场的分布,对电树枝的生长和空间电荷的产生起到明显的抑制作用。为此,尝试将非线性材料作为屏障层置于电缆屏蔽... 电缆绝缘中的电场分布是决定高压直流电缆输电线路长期可靠运行的主要因素,非线性材料能够在电场不均匀的情况下自行均化电场的分布,对电树枝的生长和空间电荷的产生起到明显的抑制作用。为此,尝试将非线性材料作为屏障层置于电缆屏蔽层与绝缘层之间,并采用多物理场耦合软件建立仿真模型,分别在不同温度梯度下研究屏障层结构对高压直流(HVDC)电缆绝缘中暂态和稳态电场分布、空间电荷的影响。仿真结果发现:与无屏障层相比,添加非线性屏障层的电缆绝缘中稳态及暂态电场强度最大值均有所降低,即屏障层结构能够抑制绝缘中空间电荷的注入,改善电场分布;屏障层越厚,绝缘中空间电荷越少,电场强度最大值越小,但界面电荷会有所增加。从上述结果可以看出:屏障层可均化电缆绝缘中的电场分布,但同时会引起界面电荷的积聚。因此在开发具有非线性屏障层结构的HVDC电缆时,屏障层厚度的选择应综合考虑界面电荷积聚和电场分布,从而达到改善电缆绝缘性能的目的。 展开更多
关键词 高压直流电缆 屏障层 电场分布 空间电荷 非线性 温度
新型Cu/Ti/SiO2碱性精抛液对TSV碟形坑和塌边的修正
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作者 刘俊杰 刘玉岭 +1 位作者 牛新环 王如 《稀有金属》 CSCD 北大核心 2017年第12期1359-1368,共10页
研发了一种无氧化剂无抑制剂的新型碱性TSV精抛液,通过单因素实验确定FA/OI型非离子表面活性剂和有机胺碱的体积分数,以使Cu/Ti/SiO2的去除速率满足选择比。根据表面活性剂的优先吸附理论来降低碟形坑内部反应界面的能量,同时运... 研发了一种无氧化剂无抑制剂的新型碱性TSV精抛液,通过单因素实验确定FA/OI型非离子表面活性剂和有机胺碱的体积分数,以使Cu/Ti/SiO2的去除速率满足选择比。根据表面活性剂的优先吸附理论来降低碟形坑内部反应界面的能量,同时运用大分子有机胺碱的自钝化原理来控制碟形坑的延伸,使用HP&MP&LP工作压力模式来解决通孔边界处的塌边问题。结果表明:当抛光液中FA/OI型非离子表面活性剂和大分子有机胺碱的体积分数分别为3.0%和1.5%时对Cu/Ti/SiO2的选择性最好。用优化后的抛光液在TSV图形片上进行了测试并比较了不同通孔间距下碟形坑的修正能力。台阶仪检测结果显示,优化后的抛光液对碟形坑的修正能力为1500~2000nm·min-1,且对间距分别为20,40,60和80μm的4种通孔内碟形坑的修正能力均在1500nm·min-1以上,当HP&MP&LP模式中3个阶段的持续时间分别为总抛光时间的50%,30%和20%时塌边现象得到解决。 展开更多
关键词 硅通孔 化学机械抛光 碟形坑
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