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微沟槽周期结构表面的磁性复合流体微纳光整研究及实验教学装置应用 预览
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作者 姜晨 张瑞 郝宇 《上海理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期84-88,共5页
针对磁性复合流体黏度可控的特性,研究一种微纳沟槽表面可控抛光加工方法及工艺,实现低成本、可控微纳结构表面加工技术,并将其应用于微纳加工实验教学。采用磁性复合流体作为抛光液,设计端面式和圆周面式两种磁性复合流体抛光机构;根... 针对磁性复合流体黏度可控的特性,研究一种微纳沟槽表面可控抛光加工方法及工艺,实现低成本、可控微纳结构表面加工技术,并将其应用于微纳加工实验教学。采用磁性复合流体作为抛光液,设计端面式和圆周面式两种磁性复合流体抛光机构;根据周期性微米级沟槽表面结构特点,采用圆周面式磁性复合流体抛光机构进行微结构表面抛光加工实验;设计加工工艺,通过实验对比微沟槽周期结构表面加工效果,验证了实验装置及微结构可控抛光加工方法的有效性,实现微沟槽周期结构表面材料可控去除加工。该装置结构紧凑,使用与维护成本低,有效填补面向机械专业制造类课程的微纳加工实验教学装置技术空白。 展开更多
关键词 纳加 机械制造 沟槽 实验教学装置 磁性复合流体
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I^2形原子力显微镜探针设计优化 预览
2
作者 熊壮 屈明山 +1 位作者 张照云 杨荷 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第3期96-98,101共4页
针对基于微机电系统(MEMS)技术的I2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I2形探针应变分布的考察... 针对基于微机电系统(MEMS)技术的I2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I2形探针应变分布的考察,实现了探针结构优化设计。实验结果表明:在相同结构,相同输入前提下,改进后探针的力灵敏度达到28.9p N/√Hz1/2,较原有基础上提高10倍。通过进一步对检测电路的优化,力灵敏度有望满足商用需求(小于10p N/√Hz1/2)。 展开更多
关键词 原子力显 机电系统(MEMS)谐振器 热执行 压阻检测 纳加
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船舶表面微结构防污技术研究进展 预览 被引量:1
3
作者 楼彤 白秀琴 +1 位作者 袁成清 杨宗澄 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期102-113,共12页
海洋污损生物对船壳浸水表面的危害十分严重,基于表面微结构的防污技术是一种绿色防污方法,不会对海洋生态环境造成任何危害,近些年来得到了重点研究。文中分析了自然界中多种具有自清洁能力的动植物的表面微观结构特征;总结了表面微观... 海洋污损生物对船壳浸水表面的危害十分严重,基于表面微结构的防污技术是一种绿色防污方法,不会对海洋生态环境造成任何危害,近些年来得到了重点研究。文中分析了自然界中多种具有自清洁能力的动植物的表面微观结构特征;总结了表面微观结构防污机理研究方面的进展;阐述了几种现有的微观结构防污理论模型:ERI模型、纳米力梯度模型以及SEA模型。对当前常用的微米级结构、纳米级结构以及微纳复合结构的加工方法进行了综述;分析了目前微结构表面防污性能常用评价方法:实船试验方法、浅海浸泡试验方法、接触角试验方法、附着力测量试验方法以及生物附着试验方法。基于细菌、石莼孢子、硅藻和藤壶金星幼虫等典型海洋污损生物,对表面微结构的防污特性进行了分析,提出深入研究海洋污损生物的附着机理和表面微结构的防污机理,进而建立表面微结构的设计基准。多尺度微纳结构的快速精准加工和完善防污性能评价体系,是表面微结构防污发展中面临的难题和未来发展方向。 展开更多
关键词 生物污损 表面结构 防污机理 纳加 防污性能
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电子束光刻制备Au线栅阵列及表征 预览
4
作者 谢莹 《信息记录材料》 2019年第5期158-159,共2页
简单介绍了电子束光刻的优缺点及其在科研领域中展现的巨大应用潜力,重点阐述了如何利用基于扫描电子显微镜技术的电子束曝光工艺实现Au线栅阵列的制备,并得到了与实验设计周期和线宽相符的微结构。采用扫描电子显微镜和原子力显微镜对... 简单介绍了电子束光刻的优缺点及其在科研领域中展现的巨大应用潜力,重点阐述了如何利用基于扫描电子显微镜技术的电子束曝光工艺实现Au线栅阵列的制备,并得到了与实验设计周期和线宽相符的微结构。采用扫描电子显微镜和原子力显微镜对样片表面进行表征获得Au线栅的形貌和高度。通过测量接触角,获得了Au线栅的润湿特性。 展开更多
关键词 电子束曝光 纳加 线栅
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近场直写静电纺丝技术及应用的研究进展 预览
5
作者 刘延波 陈文洋 +4 位作者 任倩 李瑞欣 赵新宇 杨媛媛 韦春华 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2019年第1期33-38,共6页
对近场直写静电纺丝技术的机理、发展、相关参数的控制以及应用方面展开综述,指出该技术亟待解决或改进的问题,包括纺丝机理不甚清晰;接收距离较短、严重限制射流拉伸和溶剂的完全挥发;纺丝纤维在空间第三维的可控性普遍不高;潜在应用... 对近场直写静电纺丝技术的机理、发展、相关参数的控制以及应用方面展开综述,指出该技术亟待解决或改进的问题,包括纺丝机理不甚清晰;接收距离较短、严重限制射流拉伸和溶剂的完全挥发;纺丝纤维在空间第三维的可控性普遍不高;潜在应用有待进一步开发等。提出未来的研究方向主要集中在:近场直写静电纺丝技术理论研究、生产效率的提高、制备3D结构材料以及开发其在生物工程及微纳米技术领域的应用等。 展开更多
关键词 纳米纤维 近场直写 静电纺丝技术 纳加 组织程支架 3D结构
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晶粒度对多晶铜纳米压痕表面变形机理影响 预览
6
作者 赵鹏越 郭永博 +3 位作者 张兴群 刘欢 白清顺 张飞虎 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期9-15,共7页
为研究晶粒度在多晶材料纳米压痕过程中对其塑性变形机制及位错演生过程影响.采用Poisson-Voronoi和MonteCarlo方法建立大规模多晶铜分子动力学模型,针对多晶铜Hall-Petch效应曲线建立具有不同晶粒度的多晶铜模型,并与单晶铜纳米压痕模... 为研究晶粒度在多晶材料纳米压痕过程中对其塑性变形机制及位错演生过程影响.采用Poisson-Voronoi和MonteCarlo方法建立大规模多晶铜分子动力学模型,针对多晶铜Hall-Petch效应曲线建立具有不同晶粒度的多晶铜模型,并与单晶铜纳米压痕模型对比,采用分子动力学方法模拟计算金刚石探针压入模型的纳米压痕过程,计算4种模型的缺陷结构的配位数、内应力、原子势能等参数.采用中心对称参数法研究压痕过程中位错等缺陷结构的演化机制.结果表明:具有不同晶粒度的多晶铜纳米压痕过程存在显著的规律性,单晶铜压痕力高于多晶铜,多晶铜压痕力随着晶粒度降低而下降;多晶铜的晶界结构能够限制压痕缺陷、内应力与原子势能向材料内部传递,而单晶铜难以限制此传递过程;压痕过程中,具有较小晶粒度的多晶铜具有更高的静水压力、范式等效应力与原子势能,单晶铜内应力与原子势能低于多晶铜.表层及亚表层为较低晶粒度而材料内部为较大晶粒度的梯度晶粒度材料具有极大的研究价值. 展开更多
关键词 纳加 多晶铜 纳米压痕 晶粒度 变形机理 分子动力学
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矢量光共焦扫描显微系统纳米标准样品的制备与物理测量精度 预览
7
作者 李潇男 关国荣 +3 位作者 刘忆琨 梁浩文 张爱琴 周建英 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第14期358-366,共9页
针对超分辨领域分辨率测量标准的缺失情况,本文介绍了一种用于纳米尺度分辨率测试的标准样品的设计方案和制备方法,该样品适用于矢量光共聚焦激光扫描显微系统.该设计方案包含一系列测量图案和明确的指示标记,具有测量范围宽、线宽梯级... 针对超分辨领域分辨率测量标准的缺失情况,本文介绍了一种用于纳米尺度分辨率测试的标准样品的设计方案和制备方法,该样品适用于矢量光共聚焦激光扫描显微系统.该设计方案包含一系列测量图案和明确的指示标记,具有测量范围宽、线宽梯级序列分布合理、制备精度高等特点.首先在非晶硅片上实现硅纳米标准样品的制备,并经过多次探索工艺,提高了测试图案的精度.光学测试结果证实该纳米标样可用于分辨率测试,同时测得矢量光共聚焦激光扫描显微镜的分辨率为96 nm(n=1.52,405 nm光源).针对硅纳米标准样品低对比度的问题,本文提供石英片上金属纳米标准样品的制备方法作为补充.纳米标准样品的实现,为点扫描式超分辨显微镜的分辨率指标提供了一种更严谨的测试途径,同时能够为显微镜的调试提供原理性指导.测试中发现纳米尺度的光学成像效果除了受到样品形貌的影响外,还受到到样品的光电物性的影响,其相互作用机理尚待进一步深入研究. 展开更多
关键词 纳加 标准样品 超分辨 共聚焦激光扫描显
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硅基纳米柱GaN-LED的制备与光谱特性分析 预览
8
作者 张雨茜 陆志成 +3 位作者 张伟 郭俊宏 张雪花 胡芳仁 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期2450-2453,共4页
Ⅲ-Ⅴ族氮化物发光二极管因具有寿命长、尺寸小、高效、节能等优点,得到广泛的研究与应用。随着光通信、万物互联等领域的进一步发展,需要开发高质量的微纳光源和微纳光波导。纳米柱氮化镓发光二级管(GaN-LED)是一种重要的微纳光源,具... Ⅲ-Ⅴ族氮化物发光二极管因具有寿命长、尺寸小、高效、节能等优点,得到广泛的研究与应用。随着光通信、万物互联等领域的进一步发展,需要开发高质量的微纳光源和微纳光波导。纳米柱氮化镓发光二级管(GaN-LED)是一种重要的微纳光源,具有广阔的应用前景。另一方面,作为应用最广的硅半导体材料本身并不是直接半导体,发光效率低下而不能作为光源使用。因此,研究基于硅基板的纳米柱GaN-LED微纳光源具有非常重要的意义。采用射频分子束外延技术(MBE)在Si基板上沉积并生长具有GaN缓冲层、 Si掺杂的n-GaN层、 4个周期的InGaN/GaN量子阱层和Mg掺杂的p-GaN层的GaN基PN结构。利用扫描电子显微镜(SEM)观察其表面和侧面形貌,可观察到以一定的倾斜角度生长于衬底表面、排列紧密且整齐的纳米柱。利用微纳加工技术制备纳米柱GaN-LED,对已获得的纳米柱外延片进行SOG填充、 FAB刻蚀,在p-GaN层和Si衬底侧蒸镀电极,并对LED两电极施加直流电压,进行I/V曲线和电致发光(EL)特性的测试。纳米柱GaN-LED的阈值电压为1.5 V,在室温下的峰值波长为433 nm。纳米柱结构可有效减小LED的阈值,在相同电压情况下,纳米柱LED的亮度更高,展现了良好的发光特性。 GaN纳米材料与体材料相比,纳米结构中存在应力弛豫可以有效地降低位错密度,尺寸小于光生载流子或激子的扩散长度,因而能够减小光电子器件激活层中的局域化效应。通过TCAD仿真,对与实验结构相同的纳米柱GaN-LED两电极分别施加5, 6和7 V的电压,可得到纳米柱LED的发光光谱。仿真结果显示纳米柱GaN-LED的发光波长在 414~ 478 nm之间,发光颜色为天青蓝到蓝紫色之间,峰值波长为442 nm,发出鲜亮蓝色的光,与实验获得的EL光谱结果相近。随电压增大,发光光谱峰值波长减小,出现轻微的峰值波长蓝移。在纳米柱结构中InGaN/GaN区域产生强烈� 展开更多
关键词 氮化镓 分子束外延 纳米柱 发光二级管 纳加 光谱分析
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仿生蛾眼抗反射结构成像系统研制 预览 被引量:1
9
作者 董亭亭 张国伟 +3 位作者 郭劼 吴锦双 张为国 付跃刚 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期217-222,共6页
仿生蛾眼是一种具有抗反增透效果的微纳米结构,该结构采用化学沉银方法制作了随机分布的双面仿生蛾眼抗反射纳米结构透镜,平均透射率在97%以上。分析了相同参数组合条件下周期蛾眼结构和随机蛾眼结构的透射率情况,得出在设计波段内,随... 仿生蛾眼是一种具有抗反增透效果的微纳米结构,该结构采用化学沉银方法制作了随机分布的双面仿生蛾眼抗反射纳米结构透镜,平均透射率在97%以上。分析了相同参数组合条件下周期蛾眼结构和随机蛾眼结构的透射率情况,得出在设计波段内,随机蛾眼结构透射率优于周期结构的结论。采用蛾眼透镜进行相关参数的计算,利用CODE V平台设计了一款全蛾眼成像镜头。该蛾眼系统焦距为25.5 mm,F数为5,视场角13°,光谱范围400~700 nm。经过成像对比试验显示,蛾眼镜头相比常规镀膜镜头而言,对鬼像、边缘眩光等杂散光具有很好的抑制作用。 展开更多
关键词 蛾眼抗反射结构 纳加 光学设计 杂散光抑制
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大行程宏微驱动器推力特性分析与结构优化 预览
10
作者 姜志 喻曹丰 +3 位作者 杨林建 徐彬 解田 张敬敏 《内江科技》 2018年第11期34-35,共2页
为使大行程宏微驱动器获得稳定的机械输出性能,以大行程宏微驱动器为研究对象,本文建立了驱动器的有限元模型,采用ANSYS Maxwell软件进行推力仿真,得要不同因素对驱动器的宏动推力的影响。研究结果表明:最优组合方案是dm=8 mm,Lm=72,研... 为使大行程宏微驱动器获得稳定的机械输出性能,以大行程宏微驱动器为研究对象,本文建立了驱动器的有限元模型,采用ANSYS Maxwell软件进行推力仿真,得要不同因素对驱动器的宏动推力的影响。研究结果表明:最优组合方案是dm=8 mm,Lm=72,研究结果为大行程宏微驱动器参数优化及结构设计提供了一种方法。随着科技水平的发展,微型化已成为制造业的主流之一,微纳加工越来越显示其突出的重要性,微纳加工的动力来源主要靠驱动器驱动,驱动器的精度一定程度上影响加工设备的整体性能。 展开更多
关键词 驱动器 推力特性 大行程 结构优化 MAXWELL 输出性能 纳加
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基于空间光调制器的飞秒激光双模式快速加工
11
作者 吴培超 张晨初 +3 位作者 杨亮 李家文 胡衍雷 吴东 《中国激光》 CSCD 北大核心 2018年第10期26-31,共6页
提出了基于空间光调制器(SLM)的飞秒激光双模式双光子聚合加工方式。通过在空间光调制器上加载相应的全息图,可以实现焦点控制扫描加工和图形化曝光加工模式。这两种加工模式不但可以保证加工质量,而且能够提高双光子聚合加工的效... 提出了基于空间光调制器(SLM)的飞秒激光双模式双光子聚合加工方式。通过在空间光调制器上加载相应的全息图,可以实现焦点控制扫描加工和图形化曝光加工模式。这两种加工模式不但可以保证加工质量,而且能够提高双光子聚合加工的效率。采用这两种不同的模式,分别加工了里约奥运会会徽和不同形状的图案,验证了这两种加工方式在微纳加工领域的可行性。 展开更多
关键词 激光技术 飞秒激光 空间光调制器 焦点控制模式 图形化曝光 纳加
基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法 预览
12
作者 袁明权 杨荷 +1 位作者 张照云 熊壮 《强激光与粒子束》 CSCD 北大核心 2018年第3期75-78,共4页
针对PET塑料耐温性能较差,与标准微纳加工工艺不兼容等问题,开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5mm厚PET基底,并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计。... 针对PET塑料耐温性能较差,与标准微纳加工工艺不兼容等问题,开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5mm厚PET基底,并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计。工艺结果表明,本研究所提出的加工方法适用于以PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作。通过对PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化率,可计算出石墨烯的压阻应变系数约为1.3。 展开更多
关键词 石墨烯 应变计 PET塑料 纳加
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三维微纳加工领域迎来精妙“冰刻”术 预览
13
《光学精密机械》 2018年第3期17-18,共2页
在-130℃附近的真空中,水蒸气会凝华成一层超级光滑的薄冰。近日,浙江大学科研人员用这种特殊的“冰”代替传统电子束曝光中的光刻胶,做出了微纳尺度的三维金属结构。这一新颖、简便的“冰刻”术有望在三维微纳加工中大显身手。
关键词 纳加 三维 电子束曝光 科研人员 浙江大学 金属结构 水蒸气
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压痕位置对多晶铜纳米压痕变形机理的影响 预览 被引量:1
14
作者 赵鹏越 郭永博 +1 位作者 白清顺 张飞虎 《哈尔滨工业大学学报》 CSCD 北大核心 2018年第7期11-16,共6页
为研究在纳米压痕过程中微观结构多晶铜力学特性及变形机理的影响机制,采用Poisson-Voronoi和Monte Carlo方法建立大尺度多晶铜分子动力学模型,针对多晶铜不同微观结构分别建立初始压痕位置位于晶粒、晶界面、三叉晶界、顶点团4类微观... 为研究在纳米压痕过程中微观结构多晶铜力学特性及变形机理的影响机制,采用Poisson-Voronoi和Monte Carlo方法建立大尺度多晶铜分子动力学模型,针对多晶铜不同微观结构分别建立初始压痕位置位于晶粒、晶界面、三叉晶界、顶点团4类微观结构的纳米压痕模型,采用分子动力学方法模拟计算金刚石探针压入模型的纳米压痕过程,计算4种模型的纳米压痕力及原子的静应力与第三应力.采用中心对称参数法分析多晶铜表面及亚表面位错演化对纳米压痕过程的影响.结果表明:探针对4种微观结构的纳米压痕过程存在显著的规律性,纳米压痕力的增长速率、纳米压痕过程位错向邻近晶粒扩散的难度、纳米压痕后多晶铜亚表面位错分布范围、纳米压痕过程中低维数微观结构累积原子势能的难度等均满足降序关系:晶粒、晶界面、三叉晶界、顶点团;压痕位于高维数微观结构时,其相邻的微观结构呈拉应力;而压痕位于低维数微观结构时,其相邻的微观结构呈压应力.在多晶铜的纳米压痕过程中,为减少缺陷结构数量及其能量累积,降低材料的残余应力,应针对多晶铜的晶粒进行机械加工并避开顶点团、三叉晶界等微观结构. 展开更多
关键词 纳加 多晶铜 观拓扑结构 纳米压痕 压痕位置 变形机理 分子动力学
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飞秒激光数控微纳加工及服务平台组建关键技术 预览
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作者 宋一然 陈庆堂 +3 位作者 林振衡 唐群华 林昌 王富铮 《莆田学院学报》 2018年第2期48-51,共4页
提出了以飞秒激光为光源,配合高精度的放大及光路、微加工数控系统,搭建了数控微纳加工及公共服务平台,探索了平台组建及加工应用中的关键技术问题,在玻璃、玉石等材料的实际微纳加工中取得了良好的应用效果。
关键词 飞秒激光 数控 纳加 关键技术
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基于“蛾眼”灵感的抗反射微纳结构表面技术 预览 被引量:1
16
作者 付跃刚 欧阳名钊 吴锦双 《飞控与探测》 2018年第2期1-10,共10页
飞蛾眼睛表面所覆盖的纳米级结构对光的吸收作用,启发了人们对亚波长结构与光作用的思考。抗反射技术可减少光能在传播过程中的损失,被广泛应用于光学系统、太阳能电池、光电子设备、显示屏幕、窗口元件等领域。蛾眼抗反射微纳结构表面... 飞蛾眼睛表面所覆盖的纳米级结构对光的吸收作用,启发了人们对亚波长结构与光作用的思考。抗反射技术可减少光能在传播过程中的损失,被广泛应用于光学系统、太阳能电池、光电子设备、显示屏幕、窗口元件等领域。蛾眼抗反射微纳结构表面概念的提出为光学抗反射技术的发展提供了新的思路与契机。简要回顾了蛾眼抗反射微纳结构表面技术的基本概念、技术发展情况,并对各种应用于抗反射微纳结构表面的加工技术进行了总结与归纳,对一些新的技术发展方向进行了讨论。 展开更多
关键词 抗反射 光学超表面 纳加 仿生光学
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二维光栅制备及衍射特性研究 预览 被引量:1
17
作者 尤玉军 刘佐濂 +3 位作者 李冠霖 练诚 李明谦 张成云 《大学物理实验》 2018年第4期26-30,共5页
利用飞秒激光微加工平台,结合激光直写技术,在50 nm厚的金膜上制备出了二维光栅,研究了扫描速度和扫描间距固定时,飞秒激光能量密度的改变对二维光栅结构的影响。通过扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)对制备的二维... 利用飞秒激光微加工平台,结合激光直写技术,在50 nm厚的金膜上制备出了二维光栅,研究了扫描速度和扫描间距固定时,飞秒激光能量密度的改变对二维光栅结构的影响。通过扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)对制备的二维光栅的形貌进行表征,并准确测量了光栅参数。利用氦氖激光分析了二维光栅的衍射效果,并与数值模拟得到的图案进行比较,分析了条纹缝宽和栅格尺寸对衍射点阵列光强分布的影响。研究表明飞秒激光直写技术可以方便快速地通过加工参数的改变制备不同尺寸分布的二维光栅。 展开更多
关键词 纳加 飞秒激光 光栅衍射
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纳米等离子体激光器研究进展 预览 被引量:1
18
作者 赵青 黄小平 +3 位作者 林恩 焦蛟 梁高峰 陈涛 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期140-151,共12页
半导体激光器在生物技术、信息存储、光子医学诊疗等方面得到了广泛应用。随着纳米技术和纳米光子学的发展,紧凑微型化激光器应用前景引人关注。当激光器谐振腔尺寸减小到发射波长时,电磁谐振腔中将产生更为有趣的物理效应。因此,在发... 半导体激光器在生物技术、信息存储、光子医学诊疗等方面得到了广泛应用。随着纳米技术和纳米光子学的发展,紧凑微型化激光器应用前景引人关注。当激光器谐振腔尺寸减小到发射波长时,电磁谐振腔中将产生更为有趣的物理效应。因此,在发展低维、低泵浦阈值的超快相干光源,以及纳米光电集成和等离激元光路时,减小半导体激光器的三维尺寸至关重要。在本综述中,首先介绍了纳米等离子体激光器中的谐振腔模式增益和限制因子的总体理论,并综述了金属-绝缘材料-半导体纳米(MIS)结构或其它相关金属覆盖半导体结构的纳米等离子体激光器各方面的总体研究进展。特别地,对基于MIS结构的等离子体谐振腔实现纳米等离子体激光器三维衍射极限的突破,进行了详细的介绍。本文也介绍并展望了纳米等离子体激光器的技术挑战和发展趋势,为纳米激光器进一步研究提供参考。 展开更多
关键词 等离子体激光器 表面等离子体激元 纳加
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飞秒激光制备微光学元件及其应用 被引量:10
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作者 曹小文 张雷 +1 位作者 于永森 陈岐岱 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期46-58,共13页
近年来,微光学元件的制备与应用正受到人们的广泛关注。微光学元件体积小、重量轻及制造成本低,并且易于与微机电系统相集成,能够实现普通光学难以实现的功能,在光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、激光技术、光计算等领域,突显... 近年来,微光学元件的制备与应用正受到人们的广泛关注。微光学元件体积小、重量轻及制造成本低,并且易于与微机电系统相集成,能够实现普通光学难以实现的功能,在光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、激光技术、光计算等领域,突显出重要和广阔的应用价值。飞秒激光因其超短的脉冲宽度和超高的瞬时功率,实现超高精度的微纳加工,轻松突破衍射极限。飞秒激光加工技术对材料没有选择性,加工过程也非常灵活,可以进行任意复杂结构的加工,丰富了微光学元件的制备。飞秒激光还能在现有结构或系统上进行集成加工,极大扩展了微光学元件的应用。本文简要概述了微光学元件的优点及一些常用的制备方法,同时对飞秒激光加工技术进行了简单概括,对近年来飞秒激光制备各种微光学元件的实验和应用研究进行了综述,最后对微光学元件未来的研究方向进行了预测和展望。 展开更多
关键词 光学元件 飞秒激光 纳加 集成光学
ALAT2017中国超快激光微纳加工大会(第一轮通知)
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《应用激光》 CSCD 北大核心 2017年第1期153-154,共2页
上海市激光技术研究所、五邑大学、中国科学院上海光学精密机械研究所、南京先进激光技术研究院、广东省激光产业技术创新联盟、上海市激光学会等将联合举办“中国超快激光微纳加工大会”,此次大会将作为ALAT2017第十一届亚洲(深圳)... 上海市激光技术研究所、五邑大学、中国科学院上海光学精密机械研究所、南京先进激光技术研究院、广东省激光产业技术创新联盟、上海市激光学会等将联合举办“中国超快激光微纳加工大会”,此次大会将作为ALAT2017第十一届亚洲(深圳)国际激光应用技术论坛的第二子论坛在深圳召开。 展开更多
关键词 中国科学院 超快激光 纳加 上海光学精密机械研究所 激光技术 技术论坛 技术创新 激光产业
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