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红外双波叠层结构探测器微透镜阵列的设计 预览
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作者 徐正奎 李晓斌 +3 位作者 乐丽珠 于振龙 何俊 王春兴 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第8期103-107,共5页
介绍了一种双波段红外探测器叠层结构微透镜阵列的设计,从实际光线角度进行建模,考虑微透镜加工线宽的要求,利用光学非成像理论的原理优化。并根据微透镜的衍射效率进行量化,分析了影响占空比因素的计算方法等,并对其进行了详细说明。... 介绍了一种双波段红外探测器叠层结构微透镜阵列的设计,从实际光线角度进行建模,考虑微透镜加工线宽的要求,利用光学非成像理论的原理优化。并根据微透镜的衍射效率进行量化,分析了影响占空比因素的计算方法等,并对其进行了详细说明。该设计方法从实际入射光线建模,思路新颖,该方法经加工微透镜与探测器耦合后验证可行。给微透镜阵列的设计者一些启发,可用于其他多种叠层结构探测器的微透镜阵列设计。 展开更多
关键词 透镜阵列 透镜量化 占空比
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基于电铸微凸点形貌演变制作微透镜阵列研究 预览
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作者 谷化雨 孙浩 王翔 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第2期5-8,共4页
微凸点阵列器件的制备及其一致性是微加工领域的难点问题。使用有限元方法对镍电铸过程中的流场分布、反应离子的物质输运以及电化学反应动力学进行耦合,结合网格变形几何技术,实现了不同电流密度和不同阵列节距微凸点电沉积过程形貌的... 微凸点阵列器件的制备及其一致性是微加工领域的难点问题。使用有限元方法对镍电铸过程中的流场分布、反应离子的物质输运以及电化学反应动力学进行耦合,结合网格变形几何技术,实现了不同电流密度和不同阵列节距微凸点电沉积过程形貌的动态仿真,结果表明:小电流密度有利于形成一致性良好的不同填充比的微凸点阵列。并针对电流密度为1 A/dm2,孔径30μm,深50μm,节距分别为150,180,210μm的微孔阵列进行了电铸实验,得到了不同电铸时间下微凸点阵列的沉积形貌,结果与数值模拟面形演变过程相吻合,同时,所得球面形阵列微凸点的底径误差在5μm以内,表现出很好的一致性。并以金属质球凸阵列为模板,结合翻模技术,提出了一种新的微透镜阵列制作方法。 展开更多
关键词 镍电铸 凸点阵列 数值模拟 面形演变 透镜阵列
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光束积分激光空间整形技术
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作者 孟晶晶 余锦 +3 位作者 貊泽强 王金舵 代守军 王晓东 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第13期12-23,共12页
许多应用中都需要激光光束强度均匀分布,或者按照设计要求对激光光束的强度相位分布进行特定调制,因此,有必要对各种光束整形技术进行研究。目前,已发展了多种激光光束整形技术,其中光束积分法原理简单,适用性广,因此基于此方法的光束... 许多应用中都需要激光光束强度均匀分布,或者按照设计要求对激光光束的强度相位分布进行特定调制,因此,有必要对各种光束整形技术进行研究。目前,已发展了多种激光光束整形技术,其中光束积分法原理简单,适用性广,因此基于此方法的光束整形技术具有很大的工程价值。主要介绍了基于棱镜、反射镜及微透镜阵列等光学元件的光束积分系统的组成情况,列出了典型整形光路,以及近年来在光束整形方面的研究进展。同时,介绍了在整形过程中上述方法的各自特点。 展开更多
关键词 激光光学 光束积分法 棱镜 数字镜器件 透镜阵列
光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法
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作者 刘向阳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期65-70,共6页
为了进一步提高入射到光敏元上的光能,针对光刻胶热熔法制备的微透镜的非球面面形,提出了一种结合有限元光线追迹和拉格朗日乘子法的设计方法。给定焦距,用该算法可以自动计算出所需的微透镜面形。为了验证算法的精度,对圆形孔径的焦斑... 为了进一步提高入射到光敏元上的光能,针对光刻胶热熔法制备的微透镜的非球面面形,提出了一种结合有限元光线追迹和拉格朗日乘子法的设计方法。给定焦距,用该算法可以自动计算出所需的微透镜面形。为了验证算法的精度,对圆形孔径的焦斑均方根半径进行了模拟和理论计算,二者较为吻合。对三次有限元光线追迹的点列图误差进行了估计。计算了会聚到320 pixel×256 pixel背照射紫外焦平面探测器光敏元上的能量集中度,比较了具有不同圆角半径的方形孔径蓝宝石微透镜的效率。结果表明,具有6μm圆角半径的方形孔径微透镜的能量集中度较高,为96%。 展开更多
关键词 几何光学 光刻胶热熔 有限元 光线追迹 透镜阵列 非球面
四焦距聚焦型光场计算成像系统的设计 预览
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作者 王佳华 杜少军(导师) +3 位作者 张烜喆 李俊 王彦 刘青松 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第2期171-177,共7页
光场相机是一种在图像传感器前增加微透镜阵列的新型相机结构,除了记录不同位置下光的强度及颜色外,也记录不同位置下光线的方向信息,从而能够计算目标场景的深度图和高阶相位图。该技术由于景深和分辨率相互制约,获得大景深时分辨率会... 光场相机是一种在图像传感器前增加微透镜阵列的新型相机结构,除了记录不同位置下光的强度及颜色外,也记录不同位置下光线的方向信息,从而能够计算目标场景的深度图和高阶相位图。该技术由于景深和分辨率相互制约,获得大景深时分辨率会降低。分析了其结构特点并推导了景深和分辨率的关系,并就选定的设计参数绘制了变化曲线。在此基础上,提出了一种新型光场相机的设计方法,该结构基于具有四类焦距的微透镜阵列,可获得超大景深,同时将分辨率的下降程度控制在可接受范围。仿真结果表明:相对于三类焦距微透镜阵列,所设计的四类焦距微透镜阵列景深可提高三倍,而分辨率达到普通相机的18.9%。 展开更多
关键词 光场相机 景深 有效分辨率比率 多焦距 透镜阵列
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飞秒激光仿生复眼制造进展
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作者 朱琳 高圆圆 +2 位作者 胡昕宇 马卓晨 张永来 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1254-1267,共14页
复眼系统是自然界中普遍存在的一种视觉成像系统,与单眼相比,它具有体积小、视场角大、景深大以及对快速运动物体灵敏度高等优点.人工仿生的复眼结构在机器人视觉、三维成像、目标跟踪、导航、监测、医学等领域具有极其重要的应用价值.... 复眼系统是自然界中普遍存在的一种视觉成像系统,与单眼相比,它具有体积小、视场角大、景深大以及对快速运动物体灵敏度高等优点.人工仿生的复眼结构在机器人视觉、三维成像、目标跟踪、导航、监测、医学等领域具有极其重要的应用价值.与传统复眼透镜制备技术相比,飞秒激光微纳加工技术在三维制备、高精度加工、可程序化设计等方面具有突出的优势,使得飞秒激光技术成为重要的仿生复眼制备方式.本文总结了飞秒激光加工仿生复眼透镜的最新研究进展,对激光增材和减材两种制备方式分别进行了阐述和分析,对仿生复眼透镜的应用进行了简单的介绍,最后探讨了飞秒激光制备复眼透镜领域存在的一些挑战,并对该领域的未来发展方向进行了展望. 展开更多
关键词 飞秒激光 人工仿生复眼 透镜阵列 激光烧蚀 双光子聚合
光场相机精确色彩矢量约束下的超分辨率算法
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作者 孙福盛 韩燮 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期59-68,共10页
以LYTRO相机为例,提出一种精确色彩矢量约束下的光场图像超分辨率算法。根据相机内部微透镜阵列按六边形分布的特点,结合点扩散函数,及相机探测器阵列上滤光片的排列方式,计算了每个单一像素点的RGB色彩分量值,精确恢复出每一个像素的... 以LYTRO相机为例,提出一种精确色彩矢量约束下的光场图像超分辨率算法。根据相机内部微透镜阵列按六边形分布的特点,结合点扩散函数,及相机探测器阵列上滤光片的排列方式,计算了每个单一像素点的RGB色彩分量值,精确恢复出每一个像素的颜色信息;利用金字塔算法对色彩恢复的时效性进行了优化。提出一种基于相机子孔径图像序列颜色矢量约束下的超分辨率算法,以提高图像质量。所提的色彩恢复方法可以用于多款光场相机,同时以色彩矢量作为约束条件,彩色超分辨率图像恢复的效果理想。 展开更多
关键词 探测器 LYTRO相机 超分辨率 透镜阵列 点扩散函数 色彩恢复
基于微透镜阵列的电子内窥镜光学系统设计 被引量:2
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作者 王丹艺 薛常喜 +1 位作者 李闯 杨红芳 《光学学报》 CSCD 北大核心 2018年第2期313-318,共6页
为了满足现代医疗领域中对内窥镜小型化、大视场的需求,采用反远距光学结构作为初始结构,利用Zemax光学设计软件在原有结构中加入5×5微透镜阵列,得到了一种工作于可见光波段、全视场为110°、焦距为1.55mm、F数为4.2、最大通... 为了满足现代医疗领域中对内窥镜小型化、大视场的需求,采用反远距光学结构作为初始结构,利用Zemax光学设计软件在原有结构中加入5×5微透镜阵列,得到了一种工作于可见光波段、全视场为110°、焦距为1.55mm、F数为4.2、最大通光口径为3.15mm、系统总长为7.99mm的高清电子内窥镜物镜光学系统。该系统由6片透镜组成,以光阑面为界分为前组和后组,其中前组包括一片前后两面均为阵列面的镜片,后组包含一组双胶合透镜。整个系统的光学调制传递函数在120lp/mm处达到0.36,接近衍射极限,满足医疗使用的要求。设计结果表明,微透镜阵列在不改变口径的条件下对增大内窥镜光学系统视场有明显优势,在医疗领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 光学设计 内窥镜光学系统 透镜阵列 大视场
飞秒平顶光束经微透镜阵列在熔融石英中的成丝及其超连续辐射 预览
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作者 周宁 张兰芝 +5 位作者 李东伟 常峻巍 王毕艺 汤磊 林景全 郝作强 《物理学报》 CSCD 北大核心 2018年第17期130-135,共6页
实验研究了平顶激光光束经微透镜阵列在熔融石英中成丝的演化以及超连续辐射的产生,并进一步与高斯光束的成丝和超连续辐射进行了对比研究.分别对这两种光束的多丝传输进行了横向和纵向成像.结果表明,使用平顶光束可以获得更为均匀的多... 实验研究了平顶激光光束经微透镜阵列在熔融石英中成丝的演化以及超连续辐射的产生,并进一步与高斯光束的成丝和超连续辐射进行了对比研究.分别对这两种光束的多丝传输进行了横向和纵向成像.结果表明,使用平顶光束可以获得更为均匀的多丝分布,成丝的起点也更为一致;尤其重要的是,相对于高斯光束,平顶光束可以使用更高的入射激光脉冲能量而不会造成介质的损伤,从而可以获得更高脉冲能量和更高转换效率的超连续辐射. 展开更多
关键词 激光成丝 平顶光束 超连续辐射产生 透镜阵列
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微小型傅里叶变换光谱仪波前像差分析与光谱修正 被引量:1
10
作者 吕金光 梁静秋 +1 位作者 梁中翥 秦余欣 《光学学报》 CSCD 北大核心 2018年第2期370-377,共8页
为了进一步实现傅里叶变换光谱仪的微小型化,在基于多级微反射镜的傅里叶变换光谱仪结构中引入微透镜阵列,利用微透镜阵列对由多级微反射镜调制的各级次的干涉光场单元进行同步收集。光场相位采用空间调制的方式,因此系统的波前像差会... 为了进一步实现傅里叶变换光谱仪的微小型化,在基于多级微反射镜的傅里叶变换光谱仪结构中引入微透镜阵列,利用微透镜阵列对由多级微反射镜调制的各级次的干涉光场单元进行同步收集。光场相位采用空间调制的方式,因此系统的波前像差会导致各级次干涉光场单元的子波前产生不同程度的畸变。建立含有波前像差的光场与多级微反射镜和微透镜阵列相互作用的标量衍射理论模型,计算表明波前像差会导致各级次干涉像点的强度产生不同程度的衰减,同时在复原光谱中引入低频噪声。通过分析发现,干涉像点强度的衰减是各干涉光场单元子波前像差的斯特列尔比调制的结果,且复原光谱中的低频噪声主要源于斯特列尔比的傅里叶谱。根据波前像差对干涉图像的调制特点,提出了一种利用波前像差的斯特列尔比对干涉光强进行修正的方法,计算表明该方法可以使复原光谱的失真得到有效改善。 展开更多
关键词 光谱学 傅里叶变换光谱仪 透镜阵列 波前像差 斯特列尔比 相位误差
一种可实现收发一体连续扫描的微透镜阵列 预览
11
作者 谢洪波 王瑶 +2 位作者 毛晨盛 苏永鹏 杨磊 《应用光学》 CSCD 北大核心 2018年第5期613-618,共6页
设计了一种可实现收发一体连续扫描的微透镜阵列,该三片式微透镜阵列以加入场镜的开普勒望远结构为原型,通过微透镜阵列之间的微小横向位移进行接收视场的选择与发射光线的同步偏转,完成扫描光学系统对大视场区域的光束收发。设计约束... 设计了一种可实现收发一体连续扫描的微透镜阵列,该三片式微透镜阵列以加入场镜的开普勒望远结构为原型,通过微透镜阵列之间的微小横向位移进行接收视场的选择与发射光线的同步偏转,完成扫描光学系统对大视场区域的光束收发。设计约束望远镜的视觉放大率为1,即入射和出射端口的微单元通光孔径相等,从而实现收发共用且不会造成能量损失和串扰。利用ZEMAX光学设计软件,采用发射、接收端口单独设计然后拼接的方法搭建模型。微透镜阵列工作中心波长为1064nm,凝视视场为±1.06°,扫描视场为±10°,单元规格为1mm×1mm,且只需移动一片即可实现双向扫描,具有体积小、扫描角度大、灵敏度高等优点。 展开更多
关键词 光学设计 透镜阵列 开普勒望远结构 收发一体光学系统 连续扫描
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美国天基微透镜阵列干涉光学成像技术发展初探 预览
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作者 刘韬 《国际太空》 2018年第4期52-54,共3页
2017年8月,洛马公司先进技术中心(LM ATC)公布了具有颠覆性影响力的新型天基光学侦察相机的首幅测试图像。这种新相机简称为"蜘蛛",全称为"用于光电侦察的分段平面式成像探测器"(SPIDER),该项目获得了美国国防高级研究计划局(D... 2017年8月,洛马公司先进技术中心(LM ATC)公布了具有颠覆性影响力的新型天基光学侦察相机的首幅测试图像。这种新相机简称为"蜘蛛",全称为"用于光电侦察的分段平面式成像探测器"(SPIDER),该项目获得了美国国防高级研究计划局(DARPA)的资助。第一阶段,得到DARPA的"军事作战空间使能效果"(SEEME)项目的资助,开发原理样机。第二阶段,计划在第一阶段的基础上研制可以变焦的望远镜,它由DARPA的"蜘蛛变焦"(SPIDER Zoom)项目资助。"蜘蛛"相机由洛马公司和加州大学戴维斯分校联合研制。"蜘蛛"相机技术既可以用于成像侦察,也可以用于空间目标监视等领域。 展开更多
关键词 美国国防高级研究计划局 成像技术 透镜阵列 光学 天基 DARPA 侦察相机 干涉
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微透镜阵列莫尔放大作用及其防伪特征的研究 预览
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作者 孙浩杰 史勇 《光学仪器》 2018年第5期60-65,共6页
为了研究微透镜阵列防伪膜的工作原理和防伪作用,首先,从最基本的莫尔条纹相关理论着手,推导出有关莫尔条纹特性的公式;然后,再将微透镜阵列防伪膜的微透镜阵列和微缩文字阵列看作两个具有固定周期的光栅,将莫尔条纹相关公式应用到微透... 为了研究微透镜阵列防伪膜的工作原理和防伪作用,首先,从最基本的莫尔条纹相关理论着手,推导出有关莫尔条纹特性的公式;然后,再将微透镜阵列防伪膜的微透镜阵列和微缩文字阵列看作两个具有固定周期的光栅,将莫尔条纹相关公式应用到微透镜阵列防伪膜上,研究了莫尔放大作用和透镜放大作用的匹配问题;最后,通过实验制备出了样品,得到了微透镜阵列防伪膜制备过程中的关键因素. 展开更多
关键词 莫尔条纹 透镜阵列 光栅 防伪
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基于微透镜阵列匀束的激光二极管面阵抽运耦合系统分析 预览
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作者 严雄伟 王振国 +3 位作者 蒋新颖 郑建刚 李敏 荆玉峰 《物理学报》 CSCD 北大核心 2018年第18期98-106,共9页
为了提升高功率固体激光器中激光二极管(LD)面阵抽运场性能,采用几何光学和数理统计分析的方法,建立了基于微透镜阵列匀束的LD面阵抽运耦合系统的数学与物理模型,对微透镜阵列参数与最终耦合输出抽运场参数之间的关系进行分析,明确了... 为了提升高功率固体激光器中激光二极管(LD)面阵抽运场性能,采用几何光学和数理统计分析的方法,建立了基于微透镜阵列匀束的LD面阵抽运耦合系统的数学与物理模型,对微透镜阵列参数与最终耦合输出抽运场参数之间的关系进行分析,明确了微透镜单元F数、微透镜通光单元数以及微透镜阵列空间周期参数的设计原则.经实验测试,优化设计完成的LD面阵抽运耦合系统光场不均匀度为7.9%,耦合效率为90.7%. 展开更多
关键词 透镜阵列 抽运耦合 几何光学 数理统计
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三维场景的光场成像仿真 预览 被引量:1
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作者 刘严羊硕 潘晋孝 +1 位作者 潘毅华 刘宾 《测试技术学报》 2018年第2期119-124,共6页
针对光场数据获取困难的问题,本文根据Levoy的光场渲染理论设计出了一种三维光场信息获取的仿真方式.在物空间构建问题上,以最靠近主透镜的物面为起点向后进行扩展,形成了一个离散的物空间.为了解决近景对远景的遮挡问题,按照金字塔模型... 针对光场数据获取困难的问题,本文根据Levoy的光场渲染理论设计出了一种三维光场信息获取的仿真方式.在物空间构建问题上,以最靠近主透镜的物面为起点向后进行扩展,形成了一个离散的物空间.为了解决近景对远景的遮挡问题,按照金字塔模型,由最靠近主透镜的物面开始逐渐对其后的物面有效区域进行扩展,计算各离散物面的有效区域经过主透镜的积分值.对于离焦物点,通过计算光斑在每个微透镜上的权重,赋予该微透镜下对应像元相应比例的光线强度.最后,通过对仿真实验所得到的光场图像进行不同物距的重聚焦,验证所建三维模型及光场成像仿真的正确性.实验结果表明:本文所提出的三维场景的光场成像方式能够有效地得到该场景的光场数据. 展开更多
关键词 成像系统 光场成像 三维成像 透镜阵列 重聚焦
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基于微透镜阵列的积分视场成像光谱仪前置成像系统分析与设计 预览
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作者 刘嘉楠 崔继承 +4 位作者 尹禄 孙慈 陈建军 张锐 刘建利 《光谱学与光谱分析》 CSCD 北大核心 2018年第10期3269-3272,共4页
作为对天文光谱进行观测的仪器,成像光谱仪有着十分重要的作用。由于传统的狭缝型成像光谱仪的狭缝限制,对面源天体的观测需多次扫面,才能获得完整的面源三维数据立方体(x,y;λ),这样将会浪费大量的观测时间。为了实现目标物体三维数据... 作为对天文光谱进行观测的仪器,成像光谱仪有着十分重要的作用。由于传统的狭缝型成像光谱仪的狭缝限制,对面源天体的观测需多次扫面,才能获得完整的面源三维数据立方体(x,y;λ),这样将会浪费大量的观测时间。为了实现目标物体三维数据立方体的快速扫描,提出了一种基于微透镜阵列的无狭缝、静态化、快速高效的可见光到近红外波段积分视场成像光谱仪结构,并对其基本工作原理进行分析。为了扩展微透镜阵列积分视场成像光谱仪在医学、农业、物探等其他领域的应用潜能,该研究的光谱波段选择可见光到近红外波段。根据视场积分的工作原理,分析和设计了像方远心结构的离轴三反前置成像系统。系统采用视场离轴方式,波段范围400~900 nm,相对口径F/5,主镜、次镜和三镜皆为二次非球面,二次非球面系数分别为:-7.05,-0.92和-1.6 1。为减小系统体积,在离轴三反系统的焦平面附近放置反射镜。系统在奈奎斯特空间频率60 lp·mm-1处,调制传递函数大于0.75,成像质量接近衍射极限,满足系统要求。 展开更多
关键词 透镜阵列 积分视场成像光谱仪 像方远心离轴三反 视场离轴
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卷对卷制备微透镜阵列防伪膜 预览
17
作者 黄校军 陈广学 罗世永 《包装工程》 北大核心 2018年第5期22-27,共6页
目的制备一种高线数(200线以上)的微透镜阵列防伪膜,改变国内印刷包装行业对微透镜阵列防伪膜的制备停留在200线以下的圆点微透镜阵列防伪膜的现状。方法采用卷到卷、圆压圆的制备工艺,以聚碳酸酯为原料,采用激光微刻技术制备模具,压... 目的制备一种高线数(200线以上)的微透镜阵列防伪膜,改变国内印刷包装行业对微透镜阵列防伪膜的制备停留在200线以下的圆点微透镜阵列防伪膜的现状。方法采用卷到卷、圆压圆的制备工艺,以聚碳酸酯为原料,采用激光微刻技术制备模具,压印温度设置为139℃,转移速度设置为5m/min。结果制得一种正六角形半球状微透镜阵列防伪膜,微透镜边长为32μm,栅距为48μm,膜厚为121μm,根据微透镜阵列结构参数关系折算后光栅线数为529线。结论实现了高线数、高填充系数的微透镜阵列防伪膜的制备,提供了一种工艺简单、适于批量生产的微透镜阵列防伪膜制备方法。 展开更多
关键词 卷对卷 透镜阵列 立体显示 防伪膜 光栅 聚碳酸酯
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浅谈微透镜阵列的发展现状 预览
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作者 黄攀 贾钰超 +5 位作者 汪兴 罗宏 李洪兵 王彩萍 刘福平 李茂忠 《云光技术》 2018年第1期1-5,共5页
光学元器件的微型化是微小光学发展的必然方向,微透镜阵列作为微小光学的重点研究领域之一,能够很好地实现光学元器件的微型化。本文阐述了微小光学的概况、研究领域及发展趋势,介绍了微透镜阵列的发展现状、制备方法和应用领域。
关键词 小光学 透镜阵列 制备方法
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球面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度影响因素的研究 预览
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作者 孙豪 起建立 +2 位作者 林泽钦 王素娟 颜志涛 《光学精密工程》 CSCD 北大核心 2018年第10期2516-2526,共11页
超精密慢伺服车削可加工出高精度的连续和非连续自由曲面,但是在微透镜阵列的加工过程中,不同位置的透镜加工精度也不同,个别子透镜的质量降低可能引起整个功能部件的失效。为了研究曲面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度的影响因素,本... 超精密慢伺服车削可加工出高精度的连续和非连续自由曲面,但是在微透镜阵列的加工过程中,不同位置的透镜加工精度也不同,个别子透镜的质量降低可能引起整个功能部件的失效。为了研究曲面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度的影响因素,本文采用实验的方法分析基面几何形状和子透镜位置对球面上微透镜阵列慢伺服车削加工精度的影响,通过在三种不同球径的基面上加工微透镜阵列,并使用Bruker GT-X白光干涉仪测量所加工的基面和微透镜阵列,分析了不同基面上不同位置的子镜表面粗糙度和形状精度的变化趋势。实验结果表明,同一基面上不同位置的子透镜,慢伺服车削加工表面微观形貌不同,表面粗糙度和形状精度也不同;基面的几何形状也会影响子镜的加工精度,当基面球径从50 mm增大至150 mm时,外圈子镜的表面粗糙度从75.78 nm(Ra)变小为69.08 nm(Ra)。在超精密慢伺服加工微透镜阵列过程中,必须考虑基面几何形状和子透镜位置两个因素对加工精度的影响,这将有助于提高微透镜阵列加工精度的一致性并保证微透镜阵列功能的有效性。 展开更多
关键词 透镜阵列 慢刀伺服 表面粗糙度 形状精度
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中波红外微型静态傅里叶变换光谱仪的设计与分析 预览
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作者 王洪亮 吕金光 +3 位作者 梁静秋 梁中翥 秦余欣 王维彪 《物理学报》 CSCD 北大核心 2018年第6期57-67,共11页
提出一种基于微光学元件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪,通过引入红外微结构衍射光学元件、多级微反射镜和微透镜阵列,实现仪器的微型化.介绍了微型傅里叶变换红外光谱仪的结构及基本原理,分析了微型准直系统和聚焦耦合光学系统的... 提出一种基于微光学元件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪,通过引入红外微结构衍射光学元件、多级微反射镜和微透镜阵列,实现仪器的微型化.介绍了微型傅里叶变换红外光谱仪的结构及基本原理,分析了微型准直系统和聚焦耦合光学系统的设计理论,研究了单片折衍混合准直透镜的残存像差、衍射面的衍射效率、多级微反射镜的衍射、微透镜阵列的孔径衍射和中继系统的轴向装配误差对光谱复原的影响.最后,对中波红外微型傅里叶变换光谱仪进行了建模仿真,得到的复原光谱与理想的光谱曲线比较符合,实际的光谱复原误差为2.89%.该中波红外微型静态傅里叶变换光谱仪无可动部件,且采用了微光学元件取代了传统的红外镜头,不仅稳定性良好,而且体积小、重量轻,有利于在线监测应用. 展开更多
关键词 中波红外傅里叶变换光谱仪 衍射结构 透镜阵列
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