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折射型红外微透镜阵列器件的发展及制备 认领 被引量:1
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作者 刘丰 张帆 +3 位作者 边浩 杨青 李敏静 陈烽 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第7期90-105,共16页
光学器件的小型化、集成化是现代光学系统发展的重要趋势。在微小光学器件中,阵列化折射成像微光学器件主要包括微透镜阵列器件等,广泛应用于成像、计量、波束整形等领域。针对红外波段成像、计量测量、激光加工等领域的特殊应用需求,... 光学器件的小型化、集成化是现代光学系统发展的重要趋势。在微小光学器件中,阵列化折射成像微光学器件主要包括微透镜阵列器件等,广泛应用于成像、计量、波束整形等领域。针对红外波段成像、计量测量、激光加工等领域的特殊应用需求,红外波段工作的微透镜阵列器件受到了广泛重视,并得到迅速发展。总结了红外微透镜阵列器件的发展及制备方法,包括使用不同材料、不同制造方法制备红外微光学器件,以及红外微透镜阵列器件在红外波段成像、计量、并行加工、光束匀化方面的应用,分析了红外微透镜阵列器件及其制造方法存在的挑战与机遇。 展开更多
关键词 红外波段 透镜 透镜阵列 红外成像
基于微场镜阵列的红外光场中继成像系统 认领
2
作者 王腾飞 陈永和 傅雨田 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第7期83-88,共6页
光场成像是一种通过采集光场信息和重聚焦计算而成像的方法。由于微透镜型光场相机的结构限制,为实现光学系统与探测器的耦合,一般采用改造探测器的方法,但不适用于红外光场相机。为此,提出了微场镜阵列结合中继透镜的新型结构。这种新... 光场成像是一种通过采集光场信息和重聚焦计算而成像的方法。由于微透镜型光场相机的结构限制,为实现光学系统与探测器的耦合,一般采用改造探测器的方法,但不适用于红外光场相机。为此,提出了微场镜阵列结合中继透镜的新型结构。这种新型结构通过中继透镜对中间像面1:1成像,通过微场镜阵列改善中继透镜产生的渐晕。采用倾斜刃边法计算系统的调制传递函数曲线,对比直接耦合、中继透镜耦合以及新型结构耦合三种结构的像质。根据不同的重聚焦面,新型耦合结构在奈奎斯特频率下的曲线值相比于中继透镜耦合结构提升5%~240%,接近直接耦合结构。新型结构可在实现耦合的同时,避免系统像质的大幅度下降,可在红外光场相机中起到重要作用。 展开更多
关键词 红外光场成像 中继透镜 渐晕 场镜 透镜阵列
光场成像原理及应用技术 认领
3
作者 张韶辉 胡摇 +2 位作者 曹睿 程雪岷 郝群 《兵器装备工程学报》 CAS 北大核心 2020年第2期178-186,共9页
光场技术是从包括波长、位置、方向、偏振、时间等在内的光场全要素出发,获取及利用光场信息进行成像、三维测量或显示的一类技术。从光场的物理模型和数学表示、信息获取及处理方式、信息操作手段以及部分应用方向等角度对光场技术进... 光场技术是从包括波长、位置、方向、偏振、时间等在内的光场全要素出发,获取及利用光场信息进行成像、三维测量或显示的一类技术。从光场的物理模型和数学表示、信息获取及处理方式、信息操作手段以及部分应用方向等角度对光场技术进行了系统分析和阐述。 展开更多
关键词 光场成像 透镜阵列 相机阵列 三维测量
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激光埋种辅助刻蚀制备微凹透镜阵列 认领
4
作者 刘墨南 杨罕 孙洪波 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2020年第8期16-23,共8页
微透镜阵列作为微光学领域的一种重要元件,如何实现其高效加工一直是本领域亟需解决的技术环节.但是传统加工方法无法兼顾加工效率和加工质量,激光埋种辅助刻蚀方法可实现微凹透镜阵列的高效制备和微加工.本文回顾了这种新微加工方法的... 微透镜阵列作为微光学领域的一种重要元件,如何实现其高效加工一直是本领域亟需解决的技术环节.但是传统加工方法无法兼顾加工效率和加工质量,激光埋种辅助刻蚀方法可实现微凹透镜阵列的高效制备和微加工.本文回顾了这种新微加工方法的一系列探索工作,即采用空间光调制器对飞秒激光进行相位调制,提供一种"激光埋种辅助刻蚀"的方法.该方法利用相位调制得到的多个焦点替代单个焦点进行曝光,实现了对微凹透镜阵列的并行加工;同时,结合对多个焦点的相对能量和空间位置的调节,能够实现对每个微凹透镜形貌和光学参数的调控;从根本上改变了以往激光直写加工中对微纳结构逐点扫描的加工方式,从而实现了微阵列结构的高效、高质量加工. 展开更多
关键词 单脉冲曝光 飞秒激光 透镜阵列 加工
液晶微透镜阵列研究进展 认领
5
作者 蔡文锋 李怡霏 +2 位作者 蒋浩东 罗丹 刘言军 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2020年第7期749-761,共13页
液晶微透镜阵列作为基本的光学元件之一,具有焦距可调、结构紧凑、低功耗、稳定性好等优点,在微纳光学领域有广泛的应用。经过近40年的发展,液晶微透镜阵列的研究日趋成熟,不同结构形式和应用于不同场景的液晶微透镜阵列层出不穷。本文... 液晶微透镜阵列作为基本的光学元件之一,具有焦距可调、结构紧凑、低功耗、稳定性好等优点,在微纳光学领域有广泛的应用。经过近40年的发展,液晶微透镜阵列的研究日趋成熟,不同结构形式和应用于不同场景的液晶微透镜阵列层出不穷。本文系统总结了液晶微透镜阵列的3种工作原理,并对近年来的研究进展分类进行描述,重点放在液晶微透镜的制作过程、结构特点和工作原理,具体介绍了基于光的折射和衍射原理的液晶微透镜阵列,涉及透镜结构、液晶取向技术以及透镜阵列的应用等方面。最后总结了液晶微透镜阵列存在的问题和发展趋势。 展开更多
关键词 纳光学 液晶器件 透镜阵列 可调焦距
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微透镜阵列的制作及其在光场成像中应用的研究进展 认领
6
作者 乌李瑛 瞿敏妮 +4 位作者 付学成 田苗 刘民 李进喜 程秀兰 《半导体光电》 CAS 北大核心 2020年第5期611-617,631,共8页
文章综述了微透镜阵列制备技术的最新研究进展,并将这些制备方法分为直接法和间接法进行了对比分析。回顾了微透镜在光场成像应用中的研究进展,指出目前该领域的研究重点是光场相机设计的新思路及提高分辨率的相应模型算法。
关键词 透镜阵列 光场 光场成像 超精密机械加工 MEMS
基于光场的高分辨率非周期性视角图提取算法 认领
7
作者 彭晶 李晖 吴云韬 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期224-230,共7页
针对光场成像中视角图提取的分辨率与数据准确性无法兼顾的问题,提出一种非周期性视角图提取算法。首先分析微透镜阵列采样原理,计算出各微透镜中心的偏移量;然后分析视角范围,通过合成多个视点的方式,计算合成视点对应各微透镜的投影区... 针对光场成像中视角图提取的分辨率与数据准确性无法兼顾的问题,提出一种非周期性视角图提取算法。首先分析微透镜阵列采样原理,计算出各微透镜中心的偏移量;然后分析视角范围,通过合成多个视点的方式,计算合成视点对应各微透镜的投影区域;最后非周期性地提取像素块构成视角图。实验中采用Lytro相机采集光场数据,采用非周期性算法提取大小为2×2和3×3的像素块构成视角图,相较于传统方法视角图的分辨率分别提升了2×2倍和3×3倍,图像质量也得到较大幅度提升。 展开更多
关键词 成像系统 视角图 非周期性算法 透镜阵列 光场
微透镜阵列超精密加工实验教学探索 认领
8
作者 张胜辉 刘强 +2 位作者 赵荣丽 成思源 冷杰武 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2020年第12期184-187,共4页
微透镜阵列被广泛应用于军用及民用领域的许多新型光学系统中,其结构尺寸为微米级,加工精度要求高。为了培养机械类学生的工程实践能力及动手能力,基于广东省微纳加工技术与装备重点实验室研发的微结构微冲压机床,探讨了其工艺过程及原... 微透镜阵列被广泛应用于军用及民用领域的许多新型光学系统中,其结构尺寸为微米级,加工精度要求高。为了培养机械类学生的工程实践能力及动手能力,基于广东省微纳加工技术与装备重点实验室研发的微结构微冲压机床,探讨了其工艺过程及原理,学生通过掌握微冲压机床的工作原理、加工技术,设计加工工件参数及实验方法,在模具钢上加工微米级的微透镜阵列,并用在位测量系统测量其加工精度。通过本实验有助于学生掌握机械领域的先进知识,锻炼学生的动手能力、设计能力。 展开更多
关键词 透镜阵列 超精密加工 实验教学 创新能力
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微透镜阵列的慢刀伺服加工表面粗糙度预测模型 认领 被引量:1
9
作者 林泽钦 陈新度 +1 位作者 颜志涛 孙豪 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 北大核心 2020年第3期83-87,共5页
建立了超精密加工微透镜阵列的表面形貌预测模型。基于切削参数、刀具几何参数、微透镜阵列的几何结构,分析了加工的轨迹规划;模型中考虑了刀具与工件之间三维方向相对振动的影响,仿真出加工的表面形貌和粗糙度。通过仿真模型的计算,分... 建立了超精密加工微透镜阵列的表面形貌预测模型。基于切削参数、刀具几何参数、微透镜阵列的几何结构,分析了加工的轨迹规划;模型中考虑了刀具与工件之间三维方向相对振动的影响,仿真出加工的表面形貌和粗糙度。通过仿真模型的计算,分析了切削参数、透镜几何参数对微透镜阵列表面形貌及粗糙度的影响。 展开更多
关键词 透镜阵列 慢伺服加工 轨迹生成 振动 表面预测
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微透镜阵列慢刀伺服金刚石车削位置精度的研究 认领
10
作者 夏森彬 王素娟 董善坤 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2020年第8期134-137,共4页
为了进一步提高超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的加工精度,采用实验的方法,通过分组加工法加工了矩形口径微透镜阵列和六边形口径微透镜阵列,分析了不同微透镜口径对超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的位置精度的影响。实验结果表明:六边形... 为了进一步提高超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的加工精度,采用实验的方法,通过分组加工法加工了矩形口径微透镜阵列和六边形口径微透镜阵列,分析了不同微透镜口径对超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的位置精度的影响。实验结果表明:六边形口径微透镜阵列的位置精度更好,且位置精度波动比矩形口径微透镜阵列要小,其整体位置精度范围为0.3~2.1μm,第一圈位置精度范围为1.7~1.9μm,第二圈位置精度范围为0.3~1.2μm,中心透镜对四周的位置误差范围为1.5~2.1μm。 展开更多
关键词 透镜阵列 慢刀伺服 位置精度误差 超精密加工
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基于反向映射的元素图像生成算法 认领
11
作者 谷岳佳楠 朴燕 邓莉巾 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第19期92-100,共9页
传统方法是建立从光场到显示面的映射计算生成元素图像,但会存在很多冗余映射。针对这一问题,提出沿光路逆向迭代的算法,建立从元素图像显示面到重建光场的单射,使元素图像中的每个像素只对应唯一的光场像素,这可以提高像素的匹配精度,... 传统方法是建立从光场到显示面的映射计算生成元素图像,但会存在很多冗余映射。针对这一问题,提出沿光路逆向迭代的算法,建立从元素图像显示面到重建光场的单射,使元素图像中的每个像素只对应唯一的光场像素,这可以提高像素的匹配精度,消除深度阶跃处的空洞。所提算法的核心是以元素图像显示面每一点为始点,经过透镜的光心作射线,通过迭代搜索求出射线与光场曲面距离观察者最近的交点,并作为元素图像的匹配点。所提算法的时间复杂度主要受控于元素图像阵列的像素总和,元素图像的计算生成速率是现有算法的8倍以上,图像中的像素总数越大,所提算法的速率优势越明显,且实验结果验证理论推导的正确性。 展开更多
关键词 成像系统 集成成像 透镜阵列 元素图像 深度信息
大视场并列型仿生复眼光学系统 认领 被引量:1
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作者 张家铭 陈宇 +1 位作者 覃海棋 刘传志 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期1012-1020,共9页
为了实现大视场微型仿生复眼系统的增材制造,对仿生复眼的成像原理、微透镜阵列与中继系统的设计以及复眼系统的机械结构进行了研究。根据仿生复眼的光学原理设计出单个微透镜,并完成微透镜阵列。通过设计中继系统,使曲面阵列所成的曲... 为了实现大视场微型仿生复眼系统的增材制造,对仿生复眼的成像原理、微透镜阵列与中继系统的设计以及复眼系统的机械结构进行了研究。根据仿生复眼的光学原理设计出单个微透镜,并完成微透镜阵列。通过设计中继系统,使曲面阵列所成的曲面像转换成平面像,从而被平面探测所接收。将微透镜阵列与中继系统组合并对其进行优化。为了满足复眼系统3D增材制造工艺,对其机械结构进行设计。整个复眼系由3481个紧密拼接的正六边形微透镜组成,每个微透镜的视场为4°,通光口径为110μm,整个复眼的视场为123.7°。在120 lp/mm处,复眼各视场的MTF值均大于0.3,各视场点列图的RMS半径均小于艾里斑半径。该系统成像质量良好,公差分析结果表明其像质满足成像要求,满足增材制备工艺需求。 展开更多
关键词 光学系统设计 透镜阵列 仿生复眼系统 多孔径系统
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基于非均一型微透镜阵列的仿生光学系统设计 认领
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作者 李阳 陈宇 +2 位作者 张家铭 杨超 苏鹏程 《长春理工大学学报:自然科学版》 2020年第2期1-7,共7页
生物复眼具有视场大、体积小、动态灵敏度高等特点,在机器视觉及无人驾驶等人工智能领域均具有着重要应用。设计了一款基于曲面阵列的非均一型仿生复眼光学系统,复眼系统中各级子眼焦距不同,通过优化设计使得物面经曲面子眼阵列后成像... 生物复眼具有视场大、体积小、动态灵敏度高等特点,在机器视觉及无人驾驶等人工智能领域均具有着重要应用。设计了一款基于曲面阵列的非均一型仿生复眼光学系统,复眼系统中各级子眼焦距不同,通过优化设计使得物面经曲面子眼阵列后成像为平面。该复眼系统视场达到了102.8°,由13个环带的子眼组成,其中1-9级子眼采用标准透镜设计,在截止频率68 lp/mm处,各视场MTF值均大于0.29;10-13级子眼采用非球面设计,通过改变边缘子眼口径和视场的方法改善像质,使10-13级子眼各视场的MTF值均大于0.28。各级子眼在全视场范围内畸变均小于4%,点列图的RMS半径均小于探测器像素尺寸7.4μm。为避免各子眼间的光束串扰问题,设计了复眼的单通道成像锥形孔阵列,并针对高精度增材制备技术,完成了曲面复眼的结构设计。公差分析后,该系统像质仍满足使用要求。 展开更多
关键词 非均一型 光学复眼 透镜阵列 光学设计 光线追迹
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基于3×3光学矩阵的微透镜阵列激光通信光学系统设计 认领
14
作者 安岩 董科研 +2 位作者 李响 江伦 高亮 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第22期34-43,共10页
基于微透镜阵列形式设计了新型大视场激光通信接收光学系统,并提出了完整描述微透镜阵列光传输的3×3光学矩阵模型,讨论了各光学元件倾斜角度和偏心对像面高度和出射角度的影响规律。针对微透镜阵列光学系统形式的设计要求,给出了... 基于微透镜阵列形式设计了新型大视场激光通信接收光学系统,并提出了完整描述微透镜阵列光传输的3×3光学矩阵模型,讨论了各光学元件倾斜角度和偏心对像面高度和出射角度的影响规律。针对微透镜阵列光学系统形式的设计要求,给出了合理的倾斜角度和偏心的公差范围,在完成积分透镜光学系统像差讨论的基础上,采用设计和仿真相结合的方式实现了大视场激光通信接收光学系统设计,并验证了三维矩阵模型的正确性。通过样机研制、匀光测试和视场测试,最终实现了视场角达0.9°、均匀性达86.58%的新型激光通信接收光学系统,实验测试数据与理论仿真数据相吻合。关于激光通信链路方面的讨论分析进一步证明了微透镜阵列光学系统应用在激光通信系统中的可行性和优越性,为激光通信接收光学系统的设计和研制提供了新思路和新方向。 展开更多
关键词 光通信 透镜阵列 3×3光学矩阵 光束匀化 链路能量
光场多光谱相机像方远心镜头光学设计 认领
15
作者 刘博 刘钧 +2 位作者 高明 李杨 张文喜 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期603-610,617共9页
光场多光谱成像技术具有能够同时获取目标二维空间信息和光谱信息的能力,利用光谱信息可以实现目标的分类和识别。为了快速、便捷地获取空间目标的完整光谱信息,实现目标表面光谱信息的真实记录,基于光场多光谱成像原理,采用光谱分光滤... 光场多光谱成像技术具有能够同时获取目标二维空间信息和光谱信息的能力,利用光谱信息可以实现目标的分类和识别。为了快速、便捷地获取空间目标的完整光谱信息,实现目标表面光谱信息的真实记录,基于光场多光谱成像原理,采用光谱分光滤光片阵列分光实现主透镜系统入瞳孔径的分割,设计了一款应用于光场多光谱相机的像方远心镜头光学系统。光学系统具有宽波段400 nm~1 000 nm,焦距为240 mm,F数为4,全视场15.52°。像质评价与系统公差分析结果表明:设计的光场多光谱相机的像方远心镜头可以满足实际加工以及正常使用要求。 展开更多
关键词 光场成像 光谱成像 光学设计 像方远心 透镜阵列
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用于提高集成成像景深的微透镜阵列研究 认领
16
作者 彭玉颜 温新竹 +1 位作者 杨雪婷 张苏嘉 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期1225-1230,共6页
集成成像3D显示是一种运用微透镜阵列从不同方位对三维物体记录和重构的真三维显示技术,针对集成成像3D显示技术景深不够、微透镜之间间隙透过的杂散光引起干扰导致的重构图像质下降等问题,本文设计新型微透镜阵列结构(双层针孔/微透镜... 集成成像3D显示是一种运用微透镜阵列从不同方位对三维物体记录和重构的真三维显示技术,针对集成成像3D显示技术景深不够、微透镜之间间隙透过的杂散光引起干扰导致的重构图像质下降等问题,本文设计新型微透镜阵列结构(双层针孔/微透镜组合阵列结构)以减少杂散光并增加集成成像3D显示的中心深度平面的个数以提高集成成像的景深。根据集成成像原理,确定双层针孔/微透镜组合阵列的参数,利用Tracepro光学仿真软件对集成成像3D显示过程进行仿真﹐结果表明,双层针孔/微透镜组合阵列能有效地较少杂散光﹔当两层微透镜阵列间距为5 mm时,本文系统获得的景深比传统系统大20 mm左右,即双层针孔/微透镜组合阵列结构能够实现在减少杂散光影响的同时又增加集成成像的景深。 展开更多
关键词 集成成像 3D显示 TRACEPRO 透镜阵列 景深 图像重构
红外双波叠层结构探测器微透镜阵列的设计 认领
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作者 徐正奎 李晓斌 +3 位作者 乐丽珠 于振龙 何俊 王春兴 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第8期103-107,共5页
介绍了一种双波段红外探测器叠层结构微透镜阵列的设计,从实际光线角度进行建模,考虑微透镜加工线宽的要求,利用光学非成像理论的原理优化。并根据微透镜的衍射效率进行量化,分析了影响占空比因素的计算方法等,并对其进行了详细说明。... 介绍了一种双波段红外探测器叠层结构微透镜阵列的设计,从实际光线角度进行建模,考虑微透镜加工线宽的要求,利用光学非成像理论的原理优化。并根据微透镜的衍射效率进行量化,分析了影响占空比因素的计算方法等,并对其进行了详细说明。该设计方法从实际入射光线建模,思路新颖,该方法经加工微透镜与探测器耦合后验证可行。给微透镜阵列的设计者一些启发,可用于其他多种叠层结构探测器的微透镜阵列设计。 展开更多
关键词 透镜阵列 透镜量化 占空比
基于电铸微凸点形貌演变制作微透镜阵列研究 认领
18
作者 谷化雨 孙浩 王翔 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第2期5-8,共4页
微凸点阵列器件的制备及其一致性是微加工领域的难点问题。使用有限元方法对镍电铸过程中的流场分布、反应离子的物质输运以及电化学反应动力学进行耦合,结合网格变形几何技术,实现了不同电流密度和不同阵列节距微凸点电沉积过程形貌的... 微凸点阵列器件的制备及其一致性是微加工领域的难点问题。使用有限元方法对镍电铸过程中的流场分布、反应离子的物质输运以及电化学反应动力学进行耦合,结合网格变形几何技术,实现了不同电流密度和不同阵列节距微凸点电沉积过程形貌的动态仿真,结果表明:小电流密度有利于形成一致性良好的不同填充比的微凸点阵列。并针对电流密度为1 A/dm2,孔径30μm,深50μm,节距分别为150,180,210μm的微孔阵列进行了电铸实验,得到了不同电铸时间下微凸点阵列的沉积形貌,结果与数值模拟面形演变过程相吻合,同时,所得球面形阵列微凸点的底径误差在5μm以内,表现出很好的一致性。并以金属质球凸阵列为模板,结合翻模技术,提出了一种新的微透镜阵列制作方法。 展开更多
关键词 镍电铸 凸点阵列 数值模拟 面形演变 透镜阵列
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MOEMS器件的硅微透镜阵列制造工艺 认领
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作者 王进 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第10期5-7,共3页
开发了一种适于MOEMS器件的基于硅微加工技术的简易的硅微透镜阵列制造工艺。通过光刻胶热熔法与ICPRIE(感应耦合等离子反应离子刻蚀)相结合的方式,实现在硅晶圆上批量生产微透镜阵列。通过多层涂胶的方式以及以2.5℃/min的速率从115℃... 开发了一种适于MOEMS器件的基于硅微加工技术的简易的硅微透镜阵列制造工艺。通过光刻胶热熔法与ICPRIE(感应耦合等离子反应离子刻蚀)相结合的方式,实现在硅晶圆上批量生产微透镜阵列。通过多层涂胶的方式以及以2.5℃/min的速率从115℃升温至130℃的热熔工艺,获得口径为2.41 mm、矢高99.9μm的光刻胶微透镜阵列。通过控制ICPRIE的胶与硅的刻蚀选择比达到约1∶1,将光刻胶曲率准确地转移到硅晶圆上。 展开更多
关键词 透镜阵列 MOEMS 加工技术 光刻胶热熔法 ICPRIE
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光束积分激光空间整形技术 认领 被引量:2
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作者 孟晶晶 余锦 +3 位作者 貊泽强 王金舵 代守军 王晓东 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第13期12-23,共12页
许多应用中都需要激光光束强度均匀分布,或者按照设计要求对激光光束的强度相位分布进行特定调制,因此,有必要对各种光束整形技术进行研究。目前,已发展了多种激光光束整形技术,其中光束积分法原理简单,适用性广,因此基于此方法的光束... 许多应用中都需要激光光束强度均匀分布,或者按照设计要求对激光光束的强度相位分布进行特定调制,因此,有必要对各种光束整形技术进行研究。目前,已发展了多种激光光束整形技术,其中光束积分法原理简单,适用性广,因此基于此方法的光束整形技术具有很大的工程价值。主要介绍了基于棱镜、反射镜及微透镜阵列等光学元件的光束积分系统的组成情况,列出了典型整形光路,以及近年来在光束整形方面的研究进展。同时,介绍了在整形过程中上述方法的各自特点。 展开更多
关键词 激光光学 光束积分法 棱镜 数字镜器件 透镜阵列
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