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碰撞辐射模型诊断双频容性耦合等离子体 预览
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作者 李豪 黄晓江 王墅 《东华大学学报:自然科学版》 CAS 北大核心 2019年第2期327-332,共6页
建立了一个适用于低气压下双频容性耦合氩(Ar)等离子体的碰撞辐射模型,在试验仪器和条件不变的情况下,发现电源频率对该模型的影响不大。利用碰撞辐射模型结合发射光谱(OES),测试了双频容性耦合Ar等离子体在高低频放电中电子温度(Te)和... 建立了一个适用于低气压下双频容性耦合氩(Ar)等离子体的碰撞辐射模型,在试验仪器和条件不变的情况下,发现电源频率对该模型的影响不大。利用碰撞辐射模型结合发射光谱(OES),测试了双频容性耦合Ar等离子体在高低频放电中电子温度(Te)和电子密度(ne)随功率的变化情况。结果表明:ne随功率的增加呈递增趋势,但高频放电中增长的幅度更大,这说明在双频容性耦合等离子体放电中,虽然高频和低频功率并未完全解耦,但高频功率仍在控制等离子体的密度方面占主导作用;高频和低频功率对Te的影响相差不大。 展开更多
关键词 双频容性耦合等离子体 碰撞辐射模型 发射光谱 朗缪尔探针
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ITER偏滤器朗缪尔探针的设计与研制进展 预览
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作者 赵伟 金羽中 +3 位作者 周红霞 钟光武 聂林 刘春佳 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期201-207,共7页
对ITER偏滤器朗缪尔探针进行了物理需求分析和结构设计,确定了探针离偏滤器靶板瓦表面的高度范围。通过结构设计和模拟仿真,得到了探针在稳态热负载条件下的温度场分布和应力状况,探针的最高温度低于相应的偏滤器靶板瓦最高温度,探针各... 对ITER偏滤器朗缪尔探针进行了物理需求分析和结构设计,确定了探针离偏滤器靶板瓦表面的高度范围。通过结构设计和模拟仿真,得到了探针在稳态热负载条件下的温度场分布和应力状况,探针的最高温度低于相应的偏滤器靶板瓦最高温度,探针各个部件的应力低于材料的屈服强度。同时对探针进行了加工工艺和连接工艺的探索研发,初步确定探针体和钨屏蔽结构选用锻造钨材料,而且使用锻造钨试制了探针体和钨屏蔽结构。探针体与钨屏蔽结构之间使用氧化铝陶瓷绝缘,并使用特殊的工艺连接探针体、陶瓷和钨屏蔽结构。 展开更多
关键词 ITER 偏滤器 朗缪尔探针
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正柱区朗缪尔探针诊断教学实验设计 预览
3
作者 张莹莹 张家良 +2 位作者 王晓娜 邱宇 宋远红 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2019年第10期69-72,共4页
朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验.实验原理清晰,实验现象明显,实验结果可靠.通过对单探针和双探针诊断结果的对比分析,学生不仅学习了两种探针... 朗缪尔探针诊断教学实验结合等离子体物理学科发展特色,针对直流辉光放电正柱区,同时设计了朗缪尔单探针和双探针的诊断实验.实验原理清晰,实验现象明显,实验结果可靠.通过对单探针和双探针诊断结果的对比分析,学生不仅学习了两种探针诊断的物理原理、诊断功能和分析方法,同时也认识到各自诊断技术的优缺点,锻炼了学生分析观察能力和创新思维能力,进而培养学生继续探索的科研兴趣. 展开更多
关键词 朗缪尔探针 直流辉光放电 电流-电压特性曲线
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离子推力器挡板通道等离子体模型研究进展 预览
4
作者 鲁晓进 杨福全 《真空与低温》 2018年第3期157-161,共5页
离子推力器挡板通道结构对放电室性能至关重要,通道尺寸严重影响进入放电室的原初电子能量和速度分布.离子推力器通过设置阴极挡板可有效提高离子光学系统引出束流分布的均匀性,进而改善推力器的连续工作稳定性.介绍了Brophy 关于发散... 离子推力器挡板通道结构对放电室性能至关重要,通道尺寸严重影响进入放电室的原初电子能量和速度分布.离子推力器通过设置阴极挡板可有效提高离子光学系统引出束流分布的均匀性,进而改善推力器的连续工作稳定性.介绍了Brophy 关于发散场离子推力器挡板通道附近等离子体模型原理研究推导过程,以及通过实验测量卡夫曼型离子推力器挡板通道等离子体参数的分布情况,通过采用朗缪尔探针测量技术,获得挡板通道附近等离子体参数分布图,对将来10 cm离子推力器挡板通道等离子体参数分布研究起到理论指导作用. 展开更多
关键词 离子推力器 挡板通道 等离子体模型 朗缪尔探针
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星载朗缪尔探针载荷研究与测量
5
作者 刘超 关燚炳 +2 位作者 张爱兵 郑香脂 孙越强 《遥感学报》 CSCD 北大核心 2018年第S1期74-80,共7页
由地震活动引起的电离层扰动,在前兆现象中存在着震前空间等离子体参数的变化。电磁监测试验卫星设计研制的星载朗缪尔探针载荷,可以实现对空间等离子体电子密度、电子温度等参数的测量。该载荷采用优化的球形传感器,消除了其结构与支... 由地震活动引起的电离层扰动,在前兆现象中存在着震前空间等离子体参数的变化。电磁监测试验卫星设计研制的星载朗缪尔探针载荷,可以实现对空间等离子体电子密度、电子温度等参数的测量。该载荷采用优化的球形传感器,消除了其结构与支撑杆连接处的终端效应,性能指标达到国际同类仪器的先进水平。并通过在意大利国家天体物理研究院行星际物理研究所(INAF-IAPS)的地面等离子体环境下的测试,验证了该载荷在空间应用的可行性和正确性。星载朗缪尔探针载荷在中国电磁监测试验卫星任务中得到应用,为探索大地震短临预测与预警新方法提供空间观测数据,为中国地震立体观测体系的建立提供技术支撑。 展开更多
关键词 朗缪尔探针 地震遥感观测 电磁监测试验卫星 电离层等离子体 电子密度 电子温度
细长石英管内直流放电等离子体研究
6
作者 王权 王波 +1 位作者 刘云辉 张天一 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2018年第4期259-263,共5页
利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度,且当放电气压为100Pa... 利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律。结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度,且当放电气压为100Pa时,电子密度最大,本装置所测最大密度为1.03×lO^17m^-3;电子温度则随着放电功率和放电气压的增大而不断减小;放电距离越远,对击穿电压要求越高,分段式放电可以在较低的放电电压下,对较远的电极距离实现直流放电。 展开更多
关键词 等离子体 直流放电 朗缪尔探针 电子密度 击穿电压
放电室等离子体诊断朗缪尔探针设计分析 预览
7
作者 王涛 张天平 张海亮 《真空与低温》 2018年第4期275-278,共4页
放电室是离子推力器的核心部件,国外开展离子推力器放电室等离子体诊断的实验研究工作较早也较成熟,目前国内开展离子推力器放电室的等离子体参数诊断相关实验研究较少。应用朗缪尔探针可诊断离子推力器放电室等离子体的参数,介绍了朗... 放电室是离子推力器的核心部件,国外开展离子推力器放电室等离子体诊断的实验研究工作较早也较成熟,目前国内开展离子推力器放电室的等离子体参数诊断相关实验研究较少。应用朗缪尔探针可诊断离子推力器放电室等离子体的参数,介绍了朗缪尔探针的基本原理及数据处理并设计了一种用于离子推力器放电室等离子诊断的朗缪尔探针,说明了朗缪尔探针诊断误差的影响因素并提出了相应的处理方法。 展开更多
关键词 离子推力器 放电室 等离子体 朗缪尔探针
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朗缪尔探针可展机构双扭弹簧设计 预览
8
作者 林小军 杨永萍 +1 位作者 刘哲 刘海波 《化工机械》 CAS 2018年第3期325-327,共3页
依据朗缪尔探针可展机构的设计需求,对照朗缪尔探针锁紧和展开两个工作模式,设计了一种并列双扭弹簧,该扭簧有压缩和伸展两种工作状态。同时为测试扭簧力学性能,结合弹簧测试机,设计了扭簧测试夹具。
关键词 并列双扭弹簧 测试夹具 可展机构 朗缪尔探针
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射频离子源朗缪尔双探针设计
9
作者 李京勇 刘智民 +3 位作者 谢亚红 陈俞钱 顾玉明 胡纯栋 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期484-487,共4页
射频离子源具有的复杂电磁环境会干扰甚至使得朗缪尔单探针无法准确获得等离子体参数。双探针具有对等离子体的干扰较小,不需要参考电位等优点,因此更加适用于射频离子源下的等离子体诊断。为了使得朗缪尔双探针更加精确地测量电子温度... 射频离子源具有的复杂电磁环境会干扰甚至使得朗缪尔单探针无法准确获得等离子体参数。双探针具有对等离子体的干扰较小,不需要参考电位等优点,因此更加适用于射频离子源下的等离子体诊断。为了使得朗缪尔双探针更加精确地测量电子温度与离子密度,必需在测量电路中增加针对干扰源频率的滤波电路系统。本文针对射频离子源等离子体诊断设计了探针测量电路,并进行了仿真计算和分析,结果表明:探针的抗干扰能力与测量精度均具有明显的改善。 展开更多
关键词 朗缪尔探针 等离子体 射频 谐振电路
中国电磁监测试验卫星朗缪尔探针数据反演方法研究 预览
10
作者 颜蕊 胡哲 +2 位作者 王兰炜 关燚炳 刘超 《地震学报》 CSCD 北大核心 2017年第2期239-247,共9页
朗缪尔探针是目前国际上广泛应用的一种空间等离子体环境就位探测技术.中国电磁监测试验卫星上搭载的朗缪尔探针,是我国首次将探针技术应用于星载平台.本文基于电磁监测试验卫星朗缪尔探针的观测原理及Irving Langmuir等提出的近似理论... 朗缪尔探针是目前国际上广泛应用的一种空间等离子体环境就位探测技术.中国电磁监测试验卫星上搭载的朗缪尔探针,是我国首次将探针技术应用于星载平台.本文基于电磁监测试验卫星朗缪尔探针的观测原理及Irving Langmuir等提出的近似理论公式,针对朗缪尔探针的仪器特点,提出了等离子环境下朗缪尔探针观测数据的简化反演方法,并依据朗缪尔探针鉴定件的等离子体罐试验数据对该方法进行了比较验证.结果表明,该数据反演方法的效果较好,可以作为电磁监测试验卫星朗缪尔探针观测数据反演的基本方法,并为后续数据处理提供技术基础. 展开更多
关键词 朗缪尔探针 数据标定 伏安特征曲线 电子密度 电子温度
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甚高频激发的容性耦合Ar+O2等离子体电负特性研究 预览
11
作者 杨郁 唐成双 +2 位作者 赵一帆 虞一青 辛煜 《物理学报》 CSCD 北大核心 2017年第18期148-156,共9页
利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5%O_2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断研究.首先详细解析了脉冲激光剥离后探针的电信号,分析了探针偏压在低于或高于空间电位下的探针收集信号特征;根据探针偏压与探针收集... 利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5%O_2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断研究.首先详细解析了脉冲激光剥离后探针的电信号,分析了探针偏压在低于或高于空间电位下的探针收集信号特征;根据探针偏压与探针收集信号之间的依赖关系,用来描述Ar+O_2等离子体电负特性的等离子体电负度被定义为脉冲激光剥离出的电子电流与偏压高于空间电位的探针收集到的背景电子电流的饱和比值,并对等离子体电负度随放电气压、射频功率以及轴向位置的变化进行了诊断测量.实验结果表明等离子体的电负度随着射频功率的增加而减小、随着放电气压的上升而变大;由于非对称电极的分布特性,在轴向方向上靠近功率电极时等离子体电负度有升高的趋势,这种趋势可能与鞘层边界附近二次电子的动力学行为以及负离子的产生与消失过程有关. 展开更多
关键词 激光诱导光致剥离 朗缪尔探针 电负性等离子体 电负度
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电磁监测试验卫星朗缪尔探针电离层探测技术 预览
12
作者 刘超 关燚炳 +2 位作者 张爱兵 郑香脂 孙越强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第18期330-337,共8页
本文依据电磁监测试验卫星(CSES)的任务要求,自主设计研制了卫星载荷朗缪尔探针仪器,以实现对空间等离子体电子密度、电子温度等参数的测量,为探索大地震短临预测与预警新方法提供空间观测数据.该朗缪尔探针的传感器采用优化的球形传... 本文依据电磁监测试验卫星(CSES)的任务要求,自主设计研制了卫星载荷朗缪尔探针仪器,以实现对空间等离子体电子密度、电子温度等参数的测量,为探索大地震短临预测与预警新方法提供空间观测数据.该朗缪尔探针的传感器采用优化的球形传感器,上半球是收集极,下半球是保护极,消除了其结构与支撑杆连接处的终端效应.传感器表面采用了TiN镀层,保证了其耐原子氧剥蚀能力和均匀的表面功函数.通过在意大利国家天体物理研究院行星际物理研究所(INAF-IAPS)的地面等离子体环境下的测试,验证了本文设计的朗缪尔探针载荷的可行性和正确性,能够实现电磁监测试验卫星的任务要求. 展开更多
关键词 朗缪尔探针 电磁监测试验卫星 电离层等离子体 地震预警
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射频功率对氢气与反式二丁烯的低压电感耦合等离子体的影响 预览
13
作者 陈果 何智兵 +2 位作者 何小珊 张玲 唐永建 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期56-61,共6页
利用等离子体聚合技术制备的GDP壳层是目前ICF靶丸的主要烧蚀层材料。为了了解GDP薄膜沉积过程中的CH等离子体的状态,采用朗缪尔探针和质谱仪对C4H8/H2等离子体的组分和状态参数进行了诊断,并对等离子体的电子能量分布函数、电子密度、... 利用等离子体聚合技术制备的GDP壳层是目前ICF靶丸的主要烧蚀层材料。为了了解GDP薄膜沉积过程中的CH等离子体的状态,采用朗缪尔探针和质谱仪对C4H8/H2等离子体的组分和状态参数进行了诊断,并对等离子体的电子能量分布函数、电子密度、电子温度等进行了深入分析。同时讨论了等离子体状态与放电参数之间的关系。研究发现,射频功率对等离子体参数有明显的影响。从10W到35W,电子密度正比于射频功率。随着射频功率的增加,在两步电离机制作用下,电子温度和等离子体电势呈现先减小后增大的变化趋势。另外,在高气压下,质谱诊断中发现了大量的稳定的小质量碎片离子,这表明在高气压下等离子体气相中的离子碎片聚合反应被抑制。 展开更多
关键词 GDP薄膜 朗缪尔探针 质谱仪 等离子体诊断
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电子回旋共振波等离子体及其应用
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作者 殷冀平 蔺增 巴德纯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期324-333,共10页
电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中... 电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术。与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生高离子电流密度、能量分布集中的等离子体,能够实现半导体薄膜的低压高速沉积,具有离化率高、放电反应室内无电极、适合大面积薄膜沉积等优点。在实际实验及应用中常使用双电源驱动等离子体放电系统,利用电子回旋共振波原理进行等离子体放电,而使用另一个独立的射频(或者直流)电源系统来驱动等离子体束流的引出,在等离子体放电过程中可实现独立、精确控制离子电流密度和离子能量等参数,在半导体薄膜沉积、精密刻蚀、等离子体源等领域有着重要的应用。本文主要介绍了电子回旋共振波等离子体原理、特点,并结合实验与诊断方法朗缪尔探针等技术来展示其研究应用进展。 展开更多
关键词 电子回旋共振波 薄膜沉积 等离子体源 朗缪尔探针
NBI射频离子源探针信号采集系统 预览
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作者 高洋洋 胡纯栋 +6 位作者 盛鹏 赵远哲 崔庆龙 谢亚红 虞珊 陈俞钱 张睿 《计算机系统应用》 2016年第4期63-67,共5页
中性束注入加热(NBI)是托卡马克(EAST)实验装置中最重要的辅助加热手段之一,射频离子源是等离子体物理研究所NBI系统在研究的关键部件.为准确地诊断等离子体参数,本文以PXI为平台,设计了一套射频离子源探针信号采集系统.硬件部分针... 中性束注入加热(NBI)是托卡马克(EAST)实验装置中最重要的辅助加热手段之一,射频离子源是等离子体物理研究所NBI系统在研究的关键部件.为准确地诊断等离子体参数,本文以PXI为平台,设计了一套射频离子源探针信号采集系统.硬件部分针对等离子体产生过程中1MHz射频干扰问题,设计了一个4阶巴特沃斯低通滤波器.软件部分以Lab VIEW作为开发平台,对探针信号进行实时采集和处理.处理后的数据在GUI界面上显示,并存储在本地硬盘.该系统的实现可以有效解决射频离子源测试试验中的干扰问题,提高获取数据的准确度,为射频等离子体放电调试提供更为可靠的依据. 展开更多
关键词 中性束加热 朗缪尔探针 1MHz射频源 巴特沃斯 LABVIEW
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Langmuir Probe Measurements of an Expanding Argon Plasma
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作者 曹小岗 夏玉玺 +10 位作者 陈炳周 田树平 王春玲 杨党校 薛晓艳 张卫卫 王建强 苟富均 朱自川 欧巍 陈顺礼 《等离子体科学与技术:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期20-24,共5页
In this work,we studied the effects of the discharge current,gas flow rate and vessel pressure on the electron temperature and density of Ar plasma by Langmuir probe measurement.The argon plasma was created by a one-c... In this work,we studied the effects of the discharge current,gas flow rate and vessel pressure on the electron temperature and density of Ar plasma by Langmuir probe measurement.The argon plasma was created by a one-cathode arc source.The experimental results show that with increasing discharge current and gas flow rate,the electron temperature and density increase.It is found that when the discharge current is 70 A,90 A and HO A at an argon flow rate of2000 seem,the electron densities at about 0.186 m distance from the nozzle are 13.00×1018 m-3,14.04×1018 m-3 and 15.62×1018 m-3,and the electron temperatures are 0.38 eV,0.58 eV and0.71 eV,respectively.The positive I-V characteristic is explained. 展开更多
关键词 氩等离子体 朗缪尔探针 测量 电子温度 放电电流 Ar等离子体 电子密度 气体流量
利用半导体二极管伏安特性进行朗缪尔探针性能测试研究 预览
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作者 刘超 关燚炳 +7 位作者 张爱兵 孙越强 梁金宝 郑香脂 丁建京 孔令高 田峥 王文静 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期763-768,共6页
研究讨论了一种利用半导体二极管伏安特性进行朗缪尔探针性能测试的方法.设计的朗缪尔探针性能测试方法对外界因素要求较低,在常温常压的通常实验室环境下即可进行,其测试结果可作为利用地面等离子体环境进行定标测试前的初步性能验证.... 研究讨论了一种利用半导体二极管伏安特性进行朗缪尔探针性能测试的方法.设计的朗缪尔探针性能测试方法对外界因素要求较低,在常温常压的通常实验室环境下即可进行,其测试结果可作为利用地面等离子体环境进行定标测试前的初步性能验证.通过实验室环境下的测试试验,验证了该方法的有效性和可行性. 展开更多
关键词 朗缪尔探针 性能测试 伏安特性 半导体二极管
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ECWR系统等离子体参数的诊断研究
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作者 王志宝 周凯强 +1 位作者 王月蓉 蔺增 《真空》 CAS 2015年第6期42-45,共4页
电子回旋波共振(ECWR)技术是利用电磁波与电学各向异性材料(如带有外加静磁场的低压等离子体)的相互作用来实现的,该技术可在低压力下产生高密度等离子体,广泛用于微电子刻蚀、薄膜材料沉积等加工过程。等离子体的参数对刻蚀速率... 电子回旋波共振(ECWR)技术是利用电磁波与电学各向异性材料(如带有外加静磁场的低压等离子体)的相互作用来实现的,该技术可在低压力下产生高密度等离子体,广泛用于微电子刻蚀、薄膜材料沉积等加工过程。等离子体的参数对刻蚀速率、表面成膜质量有着至关重要的影响,因此进行等离子体参数的测量研究能够促进电子回旋波共振技术的发展与应用。本文设计了朗缪尔探针检测装置,使用OES光谱检测仪对ECWR设备放电时的等离子体参数进行检测,并对检测结果进行了分析。结果表明,当直流电流强度为4.1A时,系统内部发生了电子回旋共振效应。 展开更多
关键词 电子回旋波共振 朗缪尔探针 OES光谱检测 等离子体诊断
Laser Heated Emissive Probes Design and Development under National Fusion Program and Potential Measurement
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作者 MEHTA Payal SARMA Arun GHOSH Joydeep 《中国物理快报:英文版》 SCIE CAS CSCD 2014年第12期74-78,共5页
关键词 探针设计 激光加热 直接测量 等离子体电位 自发光 发射电流 发光探针 朗缪尔探针
Spatial Evolution Study of EEDFs and Plasma Parameters in RF Stochastic Regime by Langmuir Probe 被引量:1
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作者 Djelloul MENDIL Hadj LAHMAR Laifa BOUFENDI 《等离子体科学与技术:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第9期837-842,共6页
An RF compensated cylindrical Langmuir probe system has been developed and used to characterize an RF capacitive two temperature plasma discharge in a stochastic mode.The novelty of the work presented here is the use ... An RF compensated cylindrical Langmuir probe system has been developed and used to characterize an RF capacitive two temperature plasma discharge in a stochastic mode.The novelty of the work presented here is the use of the driven electrode(cathode)without ground shield.Measurements of the electron energy distribution function(EEDF)and plasma parameters were achieved under the following conditions:50 W of RF power and 5×10-2mbar of argon pressure.The probe measurements are performed at 3 cm above the electrode and the probe was shifted radially(r direction)from the center(r=0 cm)of the inter-electrodes region towards the chamber wall(R=10.75 cm).The results show that the EEDF is bi-Maxwellian and its shape remains the same through the scanned region.The farther the probe from the central region,the lower the EEDF maximum.The plasma density is observed to decrease according to a Gaussian profile along the radial direction and falls to 50%of its maximum when close to the cathode edge(r=5.5 cm).At the same time the effective electron temperature remains constant for r<4 cm and increases for r≥4 cm.The high-temperature and low-temperature electrons’densities and temperatures are also discussed in the article. 展开更多
关键词 等离子体放电 朗缪尔探针 空间演化 电子能量分布函数 等离子体密度 机制 射频 RF功率
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