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硅对高频燃烧红外吸收法测定高硅样品中碳和硫的影响 预览
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作者 任维萍 《冶金分析》 CAS 北大核心 2019年第3期21-25,共5页
利用扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)观测了经高频感应炉燃烧后高硅样品熔体中硅的存在形态和组成,从不同角度考察了样品中硅对熔融效果产生的影响,以及对高频感燃烧红外吸收法测定碳和硫结果的影响。结果显示:仅使用纯钨做助熔剂时,含硅样... 利用扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)观测了经高频感应炉燃烧后高硅样品熔体中硅的存在形态和组成,从不同角度考察了样品中硅对熔融效果产生的影响,以及对高频感燃烧红外吸收法测定碳和硫结果的影响。结果显示:仅使用纯钨做助熔剂时,含硅样品熔体中的硅主要以球状的二氧化硅颗粒镶嵌于氧化钨和氧化铁等基体中,硅的存在使得高频燃烧红外吸收法测定碳和硫的准确度变差,且随着样品中硅含量的增加,这种影响的程度逐步增大。通过对影响机理进行分析认为:生成的二氧化硅使得熔体的流动性变差,且接受电磁感应形成感应电流的能力也同时减弱,从而对测定结果的精密度和正确度造成影响。实验在使用钨助熔剂的基础上,进行了添加纯锡或纯铁助熔剂的试验,结果表明:添加一定量纯锡或纯铁助熔剂,可以降低样品熔点,提高熔池温度,大大改善熔融效果,从而提高碳和硫测定的精密度和正确度。 展开更多
关键词 高频燃烧红外吸收法 扫描电镜 能谱仪
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变压器金属材料对油纸绝缘热老化的影响
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作者 王灯 张丽 +3 位作者 朱志平 苏伟 陈天生 范圣平 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期2954-2963,共10页
为研究变压器内部金属材料对油纸绝缘性能的影响,对25号环烷基矿物油A和油B、普通绝缘纸、金属铜、硅钢片组成的10种试样,在120℃的条件下进行热老化实验,跟踪测定老化过程中绝缘油酸值、介损、油中铜铁含量、糠醛含量、绝缘纸聚合度等... 为研究变压器内部金属材料对油纸绝缘性能的影响,对25号环烷基矿物油A和油B、普通绝缘纸、金属铜、硅钢片组成的10种试样,在120℃的条件下进行热老化实验,跟踪测定老化过程中绝缘油酸值、介损、油中铜铁含量、糠醛含量、绝缘纸聚合度等老化特征参量和变化规律,并对脱油纸样进行宽频介电谱测试、扫描电镜和能谱分析。结果表明:硅钢片对绝缘油性能劣化影响较小,金属铜能增大样品介质损耗因数,加速油中糠醛的生成,使样品油酸值在老化后期达到无铜样品的2~3倍;金属材料的加入能导致绝缘纸聚合度下降变快,金属铜的作用大于硅钢片;随着热老化的进行,绝缘纸的介损值会逐渐增大,绝缘纸表面元素成分中碳含量明显增加;金属材料的加入会提高绝缘纸介损值和碳含量,金属铜的作用大于硅钢片,金属铜会使老化后期样品绝缘纸碳质量分数在80%左右。该研究为深入研究金属材料对油纸绝缘性能影响和准确评估变压器的老化状况奠定了基础。 展开更多
关键词 金属材料 油纸绝缘 热老化 聚合度 扫描式电子显微镜 能谱仪
9个园林树种叶片表面吸附颗粒物特点及其滞留重金属能力 预览
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作者 高海波 《南方农业学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1035-1041,共7页
[目的]分析常见园林树种叶片表面的微形态结构、吸附颗粒物的粒径分布及滞留重金属能力,为选择和配置园林树种以改善我国空气环境质量提供科学依据。[方法]对垂柳(Salix babylonica)、油松(Pinus tabulaeformis)、紫叶李(Prunus cerasif... [目的]分析常见园林树种叶片表面的微形态结构、吸附颗粒物的粒径分布及滞留重金属能力,为选择和配置园林树种以改善我国空气环境质量提供科学依据。[方法]对垂柳(Salix babylonica)、油松(Pinus tabulaeformis)、紫叶李(Prunus cerasifea)、榆树(Ulmus pumila)、紫荆(Cercis racemosa)、国槐(Sophora japonica)、银杏(Ginkgo bi-loba)、大叶黄杨(Euonymus japonicus)和白蜡(Fraxinus americana)9个园林树种的叶片进行低温冷冻干燥处理后,采用扫描电镜扫描其表面及滞留颗粒物的形态,以能谱仪测定叶片表面滞留的重金属成分,分析叶片表面微形态结构与滞留颗粒物的关系。[结果]在北京市六郎庄桥区域,大气中的颗粒物主要附着在绿化带园林树种叶片上表面,且以吸附可吸入颗粒物(PM10)为主;不同园林树种单位叶面积滞留大气颗粒物总数排序为大叶黄杨>白蜡>紫荆>国槐>油松>银杏>榆树>垂柳>紫叶李;银杏、紫荆和油松叶片表面具有较深且宽的沟槽,大叶黄杨和白蜡叶片表面具有蜡质结构,国槐叶片上表面具有较浅的波浪状突起和较短而稀疏分布的表皮毛,有利于大气颗粒物滞留;除紫荆和油松外,其他树种叶片上表面滞留细颗粒物(PM2.5)的能力明显高于下表面;9个树种叶片上表面的PM2.5/PM10平均值高于下表面。各树种叶片上表面吸附铝、铜、锌、砷和镉等重金属元素较多,吸附钛、铬、镍和铅等重金属元素较少。相关性分析结果表明,叶片表面滞留的锌含量与铜和砷含量呈显著正相关(P<0.05)。[结论]银杏、紫荆和油松叶片表面具有大量较深且宽的沟槽,大叶黄杨和白蜡叶片表面具有蜡质结构,国槐叶片上表面具有较浅的波浪状突起和较短而稀疏分布的表皮毛,均有利于吸附大气颗粒物,可作为滞尘能力较强的绿化树种选用。 展开更多
关键词 园林树种 叶表面 可吸入颗粒物 重金属 能谱仪
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稀土稳定四方多晶氧化锆陶瓷相变微结构的表征
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作者 陈威 胡冬力 +1 位作者 顾辉 邢娟娟 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1057-1064,共8页
基于扫描电镜搭建的表征技术与分析方法集约研究平台,针对钕钇共掺氧化锆陶瓷开展了相变微结构的系统性定量研究。在推进抛光、成像、能谱及背散射通道衍射等技术的协同运用与集成发展的过程中,逐步探讨四方多晶氧化锆陶瓷的复相关系及... 基于扫描电镜搭建的表征技术与分析方法集约研究平台,针对钕钇共掺氧化锆陶瓷开展了相变微结构的系统性定量研究。在推进抛光、成像、能谱及背散射通道衍射等技术的协同运用与集成发展的过程中,逐步探讨四方多晶氧化锆陶瓷的复相关系及相变行为。对比分析得到了适用于相鉴别和能谱定量分析的最佳制样方法,并研究了束斑扩展效应对能谱定量结果的影响,进一步结合二次电子和背散射电子成像及分析以解析双相氧化锆陶瓷的相变诱发行为。定量微结构与相关系研究的结合,不但揭示了烧结过程的微观图像,对相变机理的理解及调控也提供了新的可能。 展开更多
关键词 四方多晶氧化锆陶瓷 扫描电子显微镜 能谱仪 离子刻蚀 相变
南海某油田水相滤器堵塞物分析 预览
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作者 李湘山 《石油化工应用》 CAS 2019年第9期100-103,共4页
南海某高含水油田生产分离器水相出口滤器存在黄褐色垢样堵塞物,很可能是防垢剂性能不佳导致。通过联合采用XRF、FT-IR、SEM+EDS等对其组成进行了分析,确认了堵塞物成分为:油含量45.5%,水含量32.1%,Fe2O3、Fe3O4和Fe2(SO4)3含量18.7%,... 南海某高含水油田生产分离器水相出口滤器存在黄褐色垢样堵塞物,很可能是防垢剂性能不佳导致。通过联合采用XRF、FT-IR、SEM+EDS等对其组成进行了分析,确认了堵塞物成分为:油含量45.5%,水含量32.1%,Fe2O3、Fe3O4和Fe2(SO4)3含量18.7%,常见生产水垢CaCO3、BaSO4含量为1.2%。结合油田清水剂应用特点,基本确定堵塞物是由于二硫代氨基甲酸盐DTC型清水剂与Fe^2+协同作用生成絮体所致。并通过采用非离子型聚醚反相破乳剂,解决了DTC型清水剂形成的堵塞物问题。 展开更多
关键词 堵塞物 红外光谱 X射线荧光光谱仪 扫描电镜 能谱仪 二硫代氨基甲酸盐 反相破乳剂
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扫描电镜能谱仪谱峰鉴别方法 预览
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作者 孙秋香 宋庆军 +1 位作者 卢慧粉 李丹丹 《理化检验:物理分册》 CAS 2018年第10期754-756,共3页
简单介绍了扫描电镜附带的X射线能谱仪(EDS)的工作原理及应用;主要介绍了能谱仪分析中常出现的谱峰鉴别问题:假峰和重叠峰;重点介绍了假峰和重叠峰的鉴别方法,假峰一般仪器可自动识别,重叠峰可通过四种方法来鉴别:提高加速电压、利... 简单介绍了扫描电镜附带的X射线能谱仪(EDS)的工作原理及应用;主要介绍了能谱仪分析中常出现的谱峰鉴别问题:假峰和重叠峰;重点介绍了假峰和重叠峰的鉴别方法,假峰一般仪器可自动识别,重叠峰可通过四种方法来鉴别:提高加速电压、利用多条谱线进行鉴别,利用谱图重构功能、增加采集时间的方法进行鉴别,通过计算实际和理论的峰高比进行鉴别,通过定量优化的方法进行确认鉴别。正确地鉴别能谱峰,可提高能谱仪定性、定量分析的精度。 展开更多
关键词 能谱仪 谱峰鉴别 假峰 重叠峰
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扫描电镜和电子探针对比测试碲在镍合金中的分布 被引量:3
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作者 赵同新 《物理测试》 CAS 2018年第4期21-24,共4页
在镍合金表面电镀碲薄膜,在不同温度下对样品进行不同时间的真空热处理,以研究碲元素在镍基合金中的扩散分布情况。使用扫描电镜(SEM)配置能谱仪(EDS)和电子探针(EPMA)分别测试某一热处理工艺条件的试验试样,印证了EPMA在元素较... 在镍合金表面电镀碲薄膜,在不同温度下对样品进行不同时间的真空热处理,以研究碲元素在镍基合金中的扩散分布情况。使用扫描电镜(SEM)配置能谱仪(EDS)和电子探针(EPMA)分别测试某一热处理工艺条件的试验试样,印证了EPMA在元素较低含量方面测试的独特优势。最后从多方面总结对比了SEM配置EDS和波谱仪(WDS)附件与EPMA的不同特点,说明在微区观察方面,SEM具有较突出的优势,而在微区分析方面,EPMA具有不可替代的特点。 展开更多
关键词 镍基合金 扩散分布 电子探针 扫描电镜 能谱仪 谱仪
扫描电镜-能谱仪在法庭科学中的应用 预览
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作者 高峰 钟燕 《新疆警察学院学报》 2018年第1期41-45,共5页
扫描电子显微镜-能谱仪(SEM-EDS)作为一种现代化的分析仪器,在法庭科学领域具有独特的优势和重要作用,能进行微量物证的种类认定和同一认定,能进行微量物证的定性检测和定量检测,其在法庭科学领域中具有广泛的应用前景。
关键词 扫描电镜 能谱仪 微量物证 法庭科学
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蒙特卡罗方法在纳米尺度薄膜成分分析中的应用 预览
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作者 周莹 薛民杰 +1 位作者 吴立敏 徐建 《上海计量测试》 2018年第4期8-12,共5页
通过选择在低加速电压下,根据蒙特卡罗模拟入射电子在纳米薄膜中的弹性及非弹性碰撞、能量损失、方向改变等信息,建立纳米薄膜蒙特卡罗吸收修正模型。并将此修正模型结合低加速电压能谱谱图应用于纳米尺度薄膜成分的检测。选择使用该... 通过选择在低加速电压下,根据蒙特卡罗模拟入射电子在纳米薄膜中的弹性及非弹性碰撞、能量损失、方向改变等信息,建立纳米薄膜蒙特卡罗吸收修正模型。并将此修正模型结合低加速电压能谱谱图应用于纳米尺度薄膜成分的检测。选择使用该方法对膜厚90nm MoSi2薄膜进行低电压EDS成分定量分析验证。结果表明,蒙特卡罗方法分析纳米尺度薄膜成分的准确性较高,元素含量大于20%时,分析结果相对误差小于±5%。因此,利用蒙特卡罗模拟可以有效提升纳米尺度薄膜EDs成分分析的准确性。 展开更多
关键词 蒙特卡罗方法 能谱仪 低加速电压 纳米尺度 薄膜
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MERAK-CEMX射线荧光分析仪在水泥工业中的应用
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作者 滕云 田世玉 +1 位作者 白友兆 王瑞海 《水泥》 CAS 2017年第8期59-62,共4页
0引言 传统的X荧光能谱仪(简称能谱仪),由于对轻元素的激发效率低和样品散射的连续谱背景过高等原因,对轻元素的分析灵敏度和检测精度低。因此水泥工业分析中大型X荧光波谱分析仪(简称大型波谱仪)一直占主导地位。
关键词 X射线荧光分析仪 水泥工业 应用 激发效率 检测精度 工业分析 能谱仪 X荧光
秦皇岛33-1WHP平台水相滤网堵塞物成分分析 预览 被引量:2
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作者 方培林 蒋维军 +1 位作者 高怡明 任强 《油气田地面工程》 2017年第6期8-11,共4页
秦皇岛33-1-A2h井注弱凝胶调驱后,33-1WHP平台水相滤网频繁堵塞,堵塞物为黏稠胶状污油泥,其对采出液处理设备的影响问题亟待解决。该平台通过溶剂抽提对水相滤网污油泥进行了油、泥、垢、聚合物的分离,联合运用紫外分光光度计、红外光... 秦皇岛33-1-A2h井注弱凝胶调驱后,33-1WHP平台水相滤网频繁堵塞,堵塞物为黏稠胶状污油泥,其对采出液处理设备的影响问题亟待解决。该平台通过溶剂抽提对水相滤网污油泥进行了油、泥、垢、聚合物的分离,联合运用紫外分光光度计、红外光谱仪、扫描电子显微镜(SEM)等对其组成进行了分析,其油质量分数为27.74%-32.88%,水质量分数为54%,碳酸钙等无机固相质量分数为6.59%-10.68%,聚丙烯酰胺类聚合物质量分数为6.53%-7.58%。无机固相主要成分为碳酸钙,聚合物主要成分为聚丙烯酰胺,油泥中的聚合物主要来自于QHD33-1-A2h注水井中的弱凝胶调剖剂,其分析结果对调剖井聚合物检测具有一定指导意义。 展开更多
关键词 污油泥 聚合物 紫外分光光度法 红外光谱 能谱仪 成分分析
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影响铝板带表面C元素EDS分析准确度的因素 预览
12
作者 王旭升 郑李媛 +2 位作者 董江 王生刚 杨贵荣 《有色金属加工》 CAS 2017年第2期24-27,共4页
扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的联用可以便捷地实现铝板材的显微组织观察和成分分析,但是EDS会测试出板材表面大量的C元素从而影响了分析的准确性。从板材加工及试样制备、加速电压选择、和峰处理以及定量标准化4方面进行试验及讨论... 扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的联用可以便捷地实现铝板材的显微组织观察和成分分析,但是EDS会测试出板材表面大量的C元素从而影响了分析的准确性。从板材加工及试样制备、加速电压选择、和峰处理以及定量标准化4方面进行试验及讨论,提出了提高铝板带表面C元素EDS分析准确度的方法。 展开更多
关键词 铝合金 C元素 能谱仪 成分分析
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小型氡室模拟210Po自然沉降及其测量方法研究 预览
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作者 宋刚 龙俊 +2 位作者 黄文暖 巫汶峰 陈迪云 《广州大学学报:自然科学版》 CAS 2017年第5期72-75,95共5页
利用放化分离提纯技术和a谱仪测量技术,建立针对可吸入颗粒物中210Po的活度测量方法.通过自制 小型氡室开展模拟实验,将聚四氟乙烯( PTFE)滤膜放入小型氡室密封60d后 ,测量氡浓度变化情况,滤膜经过 酸浸湿法消解处理后,利用210Po在银... 利用放化分离提纯技术和a谱仪测量技术,建立针对可吸入颗粒物中210Po的活度测量方法.通过自制 小型氡室开展模拟实验,将聚四氟乙烯( PTFE)滤膜放入小型氡室密封60d后 ,测量氡浓度变化情况,滤膜经过 酸浸湿法消解处理后,利用210Po在银片上的自沉积,通过低本底a谱仪对镀有210Po的银片进行测量.结果表 明,氡室内氡浓度维持在2×10^5Bq·m^一3左右,氡衰变子体210Po通 过 自 沉 降 ,能够在滤纸上检出较高210Po活 度,平行性好,适合开展氡及其子体模拟实验. 展开更多
关键词 氡室 210Po 分析方法 a能谱仪
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微束分析仪器在金属材料研究中的应用 预览 被引量:2
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作者 贾彦彦 赵同新 李哲夫 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第3期293-299,共7页
简述了微束分析仪器电子探针(EPMA)和扫描电镜(SEM)的原理和功能,对比了波谱仪(WDS)和能谱仪(EDS)的差异。使用这两类仪器对稀土镁合金、铝合金焊接区域及镍合金渗碲实验样品进行了测试和分析。结果表明镁合金中稀土的分布主要... 简述了微束分析仪器电子探针(EPMA)和扫描电镜(SEM)的原理和功能,对比了波谱仪(WDS)和能谱仪(EDS)的差异。使用这两类仪器对稀土镁合金、铝合金焊接区域及镍合金渗碲实验样品进行了测试和分析。结果表明镁合金中稀土的分布主要富集于晶界但不连续;铝合金焊接区域的元素存在局部偏聚现象;碲在镍基合金晶界富集,并沿着晶界向基体扩散。这些不同类金属的元素分布特征都可以在EPMA的面分析结果上直观体现出来。同时对比了EDS和WDS的性能,在微区分析中WDS的分辨率和灵敏度均较EDS更有优势。 展开更多
关键词 微束分析 电子探针 能谱仪 谱仪
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影响铝板带表面碳元素能谱仪分析准确度的因素 预览
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作者 王旭升 郑李媛 +2 位作者 董江 王生刚 杨贵荣 《有色冶金节能》 2017年第2期21-23,36共4页
扫描电镜和能谱仪的联用可以便捷地实现铝板材的显微组织观察和成分分析,但是能谱仪会检测出板材表面大量的碳元素,从而影响了分析的准确性。本文分别从板材加工及试样制备、加速电压选择、和峰处理以及定量标准化方面讨论了其对碳元素... 扫描电镜和能谱仪的联用可以便捷地实现铝板材的显微组织观察和成分分析,但是能谱仪会检测出板材表面大量的碳元素,从而影响了分析的准确性。本文分别从板材加工及试样制备、加速电压选择、和峰处理以及定量标准化方面讨论了其对碳元素EDS分析准性的影响,提出了提高铝板带表面碳元素能谱分析准确度的方法。 展开更多
关键词 铝合金 碳元素 能谱仪 成分分析
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电子束持续辐照下无机气溶胶颗粒PM1.0污染特征研究
16
作者 周蕊 王震威 +2 位作者 于冰 王帅 徐剑坤 《煤炭技术》 北大核心 2017年第8期174-176,共3页
利用场发射透射电子显微镜TEM及能谱仪EDS,对2014年元月徐州市区强霾污染天气下采集的PM1.0进行了单颗粒EDS分析。通过电子束平行辐照模式下的持续辐照/分段采谱方式,分析了不同来源无机气溶胶颗粒PM1.0的颗粒混合模态和污染特征。基于... 利用场发射透射电子显微镜TEM及能谱仪EDS,对2014年元月徐州市区强霾污染天气下采集的PM1.0进行了单颗粒EDS分析。通过电子束平行辐照模式下的持续辐照/分段采谱方式,分析了不同来源无机气溶胶颗粒PM1.0的颗粒混合模态和污染特征。基于透射电子显微镜结合能谱仪对颗粒形态特征及化学组分变化的动态监测为单颗粒污染特征表征及颗粒物表面非均相反应过程研究提供了重要分析手段。 展开更多
关键词 能谱仪 颗粒混合态 污染特征
基于电子束辐照的无机气溶胶颗粒PM1.0污染特征及S元素分布变化 预览
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作者 周蕊 于冰 +2 位作者 王震威 王帅 徐剑坤 《科学技术与工程》 北大核心 2017年第29期153-161,共9页
为了更好地了解不同来源无机气溶胶颗粒PM1.0的颗粒模态和颗粒相中化学相的组构状态,探讨颗粒表面污染的吸附-转化特点以及与非均相反应过程的对应关系,利用场发射透射电子显微镜TEM结合能谱仪EDS,基于电子束平行辐照模式下的持续辐... 为了更好地了解不同来源无机气溶胶颗粒PM1.0的颗粒模态和颗粒相中化学相的组构状态,探讨颗粒表面污染的吸附-转化特点以及与非均相反应过程的对应关系,利用场发射透射电子显微镜TEM结合能谱仪EDS,基于电子束平行辐照模式下的持续辐照/分段采谱的方法,以单颗粒分析的方式统计分析了不同来源无机气溶胶颗粒PM1.0的颗粒混合态和污染特征,并对电子束持续辐照下颗粒模态的转化过程进行了探讨。同时,通过电子束持续辐照下S/Si相对含量变化规律,近似评估PM1.0不同来源颗粒物颗粒中S的含量与分布变化。 展开更多
关键词 PM1.0 透射电子显微镜 能谱仪 颗粒混合态 非均相反应
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带能谱分析的扫描电子显微镜对材料中微量物分析的应用 预览 被引量:1
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作者 夏江南 高建辉 +1 位作者 姜宁 韩明星 《信息记录材料》 2017年第3期1-3,共3页
近年来,随着材料学科的发展,配备可检测x射线能谱仪的扫描电子显微镜(SEM/EDS)越来越引起重视。此方法较为简便,可对样品的表面形貌以及微区成分进行决速的定性和定量分析。本文介绍了扫描电子显微镜和可检测x射线能谱仪的工作原... 近年来,随着材料学科的发展,配备可检测x射线能谱仪的扫描电子显微镜(SEM/EDS)越来越引起重视。此方法较为简便,可对样品的表面形貌以及微区成分进行决速的定性和定量分析。本文介绍了扫描电子显微镜和可检测x射线能谱仪的工作原理以及特点。以微量物为实例,进行多次定点分析、线分析以及面分析,说明在对微量物的分析中EDS/SEM法是最有效的方法之一。 展开更多
关键词 扫描电手显微镜 能谱仪 分析
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热浸镀铝硅合金镀层的锈蚀过程 预览 被引量:1
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作者 窦志刚 王磊 +1 位作者 赵玉凯 刘丽愉 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2016年第9期764-766,770共4页
研究了热浸镀铝硅合金钢板在动态接触湿热试验过程中不同阶段的锈蚀行为,采用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)分析了铝硅合金镀层锈蚀过程中的表面形貌、成分及组织结构变化。结果表明:热浸镀铝硅合金镀层的锈蚀过程是一个整体有序的... 研究了热浸镀铝硅合金钢板在动态接触湿热试验过程中不同阶段的锈蚀行为,采用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)分析了铝硅合金镀层锈蚀过程中的表面形貌、成分及组织结构变化。结果表明:热浸镀铝硅合金镀层的锈蚀过程是一个整体有序的演变过程,钢板锈蚀过程的表面形貌随暴露时间增长呈坑蚀-环蚀-面蚀变化规律;暴露时间越长,锈蚀程度越强,锈蚀产物中的氧含量越高;热浸镀铝硅合金镀层的初始锈蚀发生在富硅相(硅含量15%以上)和晶粒间的交界处(多为富铝相硅含量5%以下)。 展开更多
关键词 扫描电镜 能谱仪 热浸镀铝硅 腐蚀
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蒙特卡罗方法在亚微米尺度金镀层厚度分析中的应用 预览 被引量:1
20
作者 周莹 杨静 +2 位作者 张丽琪 厉艳君 郝萍 《上海计量测试》 2016年第3期14-17,共4页
利用能谱仪(energy dispersive spectrometer, EDS)及蒙特卡罗方法(Monte Carlo method)确定金(Au)镀层厚度.使用不同加速电压对试样表面进行EDS 成分分析,选取镀层元素含量在80% - 99% 的加速电压进行蒙特卡罗模拟计算,可以快速... 利用能谱仪(energy dispersive spectrometer, EDS)及蒙特卡罗方法(Monte Carlo method)确定金(Au)镀层厚度.使用不同加速电压对试样表面进行EDS 成分分析,选取镀层元素含量在80% - 99% 的加速电压进行蒙特卡罗模拟计算,可以快速获得镀膜厚度.同时,为了验证蒙特卡罗方法的可靠性,对样品进行FIB 制样和SEM 厚度测试.两者结果基本-致.该方法适用于20-1000 nm 金(Au)镀层厚度的测量. 展开更多
关键词 蒙特卡罗方法 能谱仪 镀层厚度 特征X射线
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