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应用ANSYS分析蚀坑形状对钢筋应力集中影响 预览
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作者 王智益 吴冲 蒋超 《吉林建筑大学学报》 2019年第1期23-28,42共7页
本文采用ANSYS分析软件,建立了大量不同尺寸比例钢筋蚀坑的模型,分析研究了在钢筋轴向受压情况下,钢筋表面蚀坑长宽比变化对应力集中系数的影响.通过分析曲线变化趋势,得出了应力集中系数随蚀坑长宽比的变化规律,并建立了半椭球体宽度... 本文采用ANSYS分析软件,建立了大量不同尺寸比例钢筋蚀坑的模型,分析研究了在钢筋轴向受压情况下,钢筋表面蚀坑长宽比变化对应力集中系数的影响.通过分析曲线变化趋势,得出了应力集中系数随蚀坑长宽比的变化规律,并建立了半椭球体宽度或长度发生变化时应力集中系数Kt近似计算公式. 展开更多
关键词 数值分析 钢筋锈 应力集中
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利用薄片穿透法确定铝合金最大蚀坑深度 预览
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作者 骆晨 孙志华 +1 位作者 汤智慧 陆峰 《装备环境工程》 CAS 2019年第3期17-21,共5页
目的研究铝合金最大蚀坑深度与环境试验时间的对应关系,为新型合金服役前的耐蚀性评级和结构件服役过程中的剩余寿命预测提供技术基础。方法利用光学显微镜、扫描电镜分析海洋大气环境中新型铝合金的腐蚀类型,并利用薄片穿透法研究铝合... 目的研究铝合金最大蚀坑深度与环境试验时间的对应关系,为新型合金服役前的耐蚀性评级和结构件服役过程中的剩余寿命预测提供技术基础。方法利用光学显微镜、扫描电镜分析海洋大气环境中新型铝合金的腐蚀类型,并利用薄片穿透法研究铝合金薄片最大蚀坑深度与试验时间的对应关系。结果经过海洋大气环境暴露试验后,2A97铝合金发生了深入合金内部的严重点蚀,检测薄片试样背面电解液的出现时间,可以确定环境试验中蚀坑穿透薄片试样的时间。通过测量不同厚度薄片试样的穿透时间,可以确定最快生长局部腐蚀点的深度和时间的关系。结论中性盐雾试验环境下,达到相同的最大蚀坑深度,2A97铝合金与AA2024铝合金用时基本相当。 展开更多
关键词 铝合金 薄片穿透法 环境试验
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FA/O阻挡层抛光液在铜布线平坦化中的应用
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作者 胡轶 何彦刚 刘玉岭 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2018年第10期766-770,776共6页
研发了一种FA/O阻挡层抛光液,主要成分包含硅溶胶、螯合剂和FA/O非离子型表面活性剂。使用该阻挡层抛光液进行了铜、阻挡层(Ta)和介质层(TEOS-SiO2)的去除速率选择性实验,实验表明,FA/O阻挡层抛光液对Cu的去除速率较低,对Ta和SiO2... 研发了一种FA/O阻挡层抛光液,主要成分包含硅溶胶、螯合剂和FA/O非离子型表面活性剂。使用该阻挡层抛光液进行了铜、阻挡层(Ta)和介质层(TEOS-SiO2)的去除速率选择性实验,实验表明,FA/O阻挡层抛光液对Cu的去除速率较低,对Ta和SiO2的去除速率较高,分别为4. 7,23. 5和45 nm/min。该FA/O阻挡层抛光液可有效抑制铜的去除速率,提高介质层的去除速率,可有效修正精抛过程中产生的正碟形坑和蚀坑。300 mm铜布线片抛光实验结果表明,其碟形坑深度不大于40 nm,蚀坑深度不大于30 nm。抛光后测试了介质层的电学特性,结果显示,电阻值为1. 49 kΩ,漏电流为pA级,满足300 mm铜布线工业化生产的要求。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) FA/O阻挡层抛光液 介质层电学性能 碟形
阻挡层抛光液中助溶剂和H2O2对铜残留缺陷的影响
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作者 胡轶 张凯 +1 位作者 何彦刚 刘玉岭 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2018年第11期852-857,共6页
针对化学机械抛光(CMP)过程中的铜残留缺陷问题,研究了一种在FA/O阻挡层抛光液中添加助溶剂和H2O2的新型阻挡层抛光液。分别考察助溶剂和H2O2对SiO2介质和铜去除速率的影响以及对碟形坑和蚀坑的修正能力,通过扫描电子显微镜(SEM)观... 针对化学机械抛光(CMP)过程中的铜残留缺陷问题,研究了一种在FA/O阻挡层抛光液中添加助溶剂和H2O2的新型阻挡层抛光液。分别考察助溶剂和H2O2对SiO2介质和铜去除速率的影响以及对碟形坑和蚀坑的修正能力,通过扫描电子显微镜(SEM)观察铜残留缺陷的情况。结果显示,在FA/O阻挡层抛光液中加入1. 5 g/L助溶剂和体积分数0. 05%H2O2对SiO2和铜的去除速率选择比最优,为1. 96。同时,添加了助溶剂和H2O2的FA/O阻挡层抛光液对碟形坑修正的能力为48. 2 nm,对蚀坑修正的能力为38. 9 nm,修正能力非常强。铜布线片阻挡层抛光后,碟形坑深度为4. 7 nm,蚀坑深度为19. 9 nm,将碟形坑和蚀坑的深度降到较小的范围。SEM检测结果表明,铜残留较少,表面形貌较好。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 铜残留 缺陷 碟形
钢筋蚀坑对其疲劳断裂特性的影响 预览
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作者 卫军 刘康 +1 位作者 张依如 梁家熙 《建筑材料学报》 CSCD 北大核心 2018年第5期749-753,760共6页
基于降载勾线法,对人工钻孔模拟蚀坑的3根HPB300钢筋试件开展了疲劳裂纹扩展试验,并结合FRANC3D软件对钢筋疲劳裂纹扩展规律进行了数值分析.在此基础上,以不同应力幅值对12种尺寸的半椭圆形蚀坑钢筋模型的裂纹扩展过程进行了数值分析.... 基于降载勾线法,对人工钻孔模拟蚀坑的3根HPB300钢筋试件开展了疲劳裂纹扩展试验,并结合FRANC3D软件对钢筋疲劳裂纹扩展规律进行了数值分析.在此基础上,以不同应力幅值对12种尺寸的半椭圆形蚀坑钢筋模型的裂纹扩展过程进行了数值分析.结果表明:钢筋裂纹扩展速率前期缓慢增长,后期迅速增大;初始裂纹深度较大的钢筋疲劳寿命明显缩短;初始裂纹深宽比越大的钢筋疲劳寿命越短;应力幅值增大会使缺陷钢筋疲劳寿命缩短,并且初始裂纹深宽比越大的钢筋,其后期裂纹扩展速率增长越快,疲劳寿命缩短越明显. 展开更多
关键词 降载勾线法 疲劳裂纹扩展 FRANC3D 数值分析 疲劳寿命
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超越离合器分离环窗孔电火花加工表面电蚀坑问题研究 预览
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作者 张作超 宗晓明 权超健 《金属加工:冷加工》 2017年第21期23-24,共2页
针对某型号超越离合器分离环窗孔电火花加工存在的表面质量差、电蚀坑严重问题进行分析,从加工方案、参数选取以及设计新加工轨迹等方面进行改进,成功解决了问题,并在生产中推广应用,效果良好。
关键词 超越离合器 电火花加工 加工表面 分离环 窗孔 表面质量 加工轨迹
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锈蚀预应力筋蚀坑几何尺寸分布规律研究 预览 被引量:2
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作者 马亚飞 薛成洋 +2 位作者 王磊 佘强 张建仁 《交通科学与工程》 2016年第2期49-55,共7页
为建立较精确的预应力筋力学性能退化模型,通过人工气候箱快速锈蚀试验,获取17根锈蚀预应力钢绞线。结合蚀坑几何形状的观测结果和钢丝蚀坑深度、宽度及深宽比等参数,探讨锈蚀预应力筋蚀坑几何尺寸的分布规律。将钢丝锈蚀最严重部位的... 为建立较精确的预应力筋力学性能退化模型,通过人工气候箱快速锈蚀试验,获取17根锈蚀预应力钢绞线。结合蚀坑几何形状的观测结果和钢丝蚀坑深度、宽度及深宽比等参数,探讨锈蚀预应力筋蚀坑几何尺寸的分布规律。将钢丝锈蚀最严重部位的蚀坑作为研究对象,对蚀坑几何尺寸的概率分布特征进行了研究。研究结果表明:蚀坑的最大深度和深宽比均随着锈蚀率的增加而增加;钢丝蚀坑几何形状可分为棱锥形、椭球形和类圆锥形3种,其中:类圆锥形蚀坑最为普遍;蚀坑的最大深度服从极值Ⅰ型分布,深宽比服从对数正态分布。 展开更多
关键词 钢绞线 几何尺寸 分布规律
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斜拉索单根钢丝锈蚀机理及有限元分析 预览
8
作者 周健鸿 杨清梅 《低温建筑技术》 2016年第5期69-72,共4页
由于锈蚀程度的加深,斜拉桥拉索钢丝强度、延伸率等随之下降。基于单根钢丝的锈蚀机理及锈蚀类型,利用张角和蚀坑中心距离为参数分别描述环向和纵向蚀坑间位置关系,建立了两个蚀坑环向及纵向分布有限元模型,得到应力集中系数随蚀坑位置... 由于锈蚀程度的加深,斜拉桥拉索钢丝强度、延伸率等随之下降。基于单根钢丝的锈蚀机理及锈蚀类型,利用张角和蚀坑中心距离为参数分别描述环向和纵向蚀坑间位置关系,建立了两个蚀坑环向及纵向分布有限元模型,得到应力集中系数随蚀坑位置的变化规律。结果表明,环向两个蚀坑接近相切时应力集中系数可达单个蚀坑的3倍以上,而对于纵向两个蚀坑分布情形,应力集中系数变化则较平缓,且均小于单个蚀坑情形。 展开更多
关键词 钢丝 有限元
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择优蚀坑表征立方晶系冷轧电工硅钢取向性 预览
9
作者 李岩 董秀文 +1 位作者 于志伟 孔平 《材料科学与工艺》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期25-32,共8页
为确定电工硅钢的晶粒取向性,应用蚀坑技术研究了冷轧无取向硅钢、取向硅钢因择优腐蚀所形成的蚀坑与晶粒取向的关系,分析了{100}面系蚀坑形貌的演变过程,从晶体学角度建立了蚀坑形貌与晶面指数的对应关系.结果发现:无取向硅钢形成不... 为确定电工硅钢的晶粒取向性,应用蚀坑技术研究了冷轧无取向硅钢、取向硅钢因择优腐蚀所形成的蚀坑与晶粒取向的关系,分析了{100}面系蚀坑形貌的演变过程,从晶体学角度建立了蚀坑形貌与晶面指数的对应关系.结果发现:无取向硅钢形成不同形貌的蚀坑,其晶面指数为(001)、(011)和(111),或是由它们演变形成的其他晶面指数;取向硅钢形成的蚀坑为同一类型,晶面指数为(011)或由其演变形成的其他晶面指数;晶界也会形成蚀坑,其形貌与相邻晶粒间的取向差有关,取向差大,形成{100}、{110}和{111}面系的蚀坑,取向差小,形成{110}面系的蚀坑.取向硅钢的蚀坑分布具有连续性,晶界的存在并不改变蚀坑的基本特征;取向硅钢蚀坑的底棱相互平行,相差不超过5°,底棱延伸方向与硅钢的轧制方向即[001]方向一致,偏离角度不超过5°. 展开更多
关键词 电工硅钢 晶体学分析 形貌演变 底棱延伸方向 偏离角度
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飞机蒙皮点蚀的数值模拟 预览
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作者 范玥铭 王宇君 +3 位作者 杨梦雅 张驰 聂锋锟 管婷 《科技创新与应用》 2016年第31期95-96,共2页
文章利用数值模拟方法对飞机蒙皮的点蚀现象进行模拟,根据瞬态图的变化规律,得出以下模拟结果:在瞬态图中模拟的飞机蒙皮点蚀形貌近似为半圆形,但也有其他的不规则图形出现;在模拟条件相同的情况下,随着时间的增加,蚀坑深度逐渐增加,... 文章利用数值模拟方法对飞机蒙皮的点蚀现象进行模拟,根据瞬态图的变化规律,得出以下模拟结果:在瞬态图中模拟的飞机蒙皮点蚀形貌近似为半圆形,但也有其他的不规则图形出现;在模拟条件相同的情况下,随着时间的增加,蚀坑深度逐渐增加,蚀坑面积逐渐增大,腐蚀越来越严重;通过腐蚀瞬态图可以观察到飞机蒙皮表面蚀坑的面积和蚀坑的深度变化规律有相似之处,随时间的增长二者均有增加的趋势。腐蚀概率越大腐蚀越严重,但不同的是腐蚀浓度的影响自始至终都比较明显。 展开更多
关键词 元胞自动机 数值模拟
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阻挡层CMP中螯合剂FA/OII对抛光效果的影响(英文) 被引量:3
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作者 荣颖佳 王胜利 +3 位作者 刘玉岭 王辰伟 高娇娇 张文倩 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第9期603-610,共8页
主要研究了螯合剂FA/O II在阻挡层抛光中对去除速率和表面形貌的影响。通过对开路电压和塔菲尔曲线的检测,研究了Cu在螯合剂溶液中的溶解过程,结果表明FA/O II对Cu有很强的螯合能力,能够提高Cu的去除速率。此外,研究了螯合剂对12英寸(... 主要研究了螯合剂FA/O II在阻挡层抛光中对去除速率和表面形貌的影响。通过对开路电压和塔菲尔曲线的检测,研究了Cu在螯合剂溶液中的溶解过程,结果表明FA/O II对Cu有很强的螯合能力,能够提高Cu的去除速率。此外,研究了螯合剂对12英寸(1英寸=2.54 cm)Cu,Ta和TEOS光片去除速率的影响,结果表明当抛光液由体积分数为50%的硅溶胶、体积分数为0.07%的螯合剂和体积分数为3%的活性剂组成时,Cu的去除速率被提高到31 nm/min,并且满足Cu,Ta和TEOS的速率选择比,这种情况非常有利于碟形坑/蚀坑的修正,而且抛光后的表面粗糙度较低。此外,在不同浓度的螯合剂下,对12英寸布线片电阻差值进行了检测,发现体积分数为0.1%的FA/O II对细线条处Cu的钝化作用最强,FA/O II的体积分数为0.05%时,细线条处Cu的去除速率达到最大。上述结果对阻挡层抛光的进一步研究有重要参考价值。 展开更多
关键词 阻挡层化学机械抛光(CMP) 去除速率 电化学 表面粗糙度 螯合剂FA/O II 碟形
600MW机组低压转子叶片裂纹分析 预览 被引量:1
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作者 常庆东 王强 +1 位作者 夏明松 李治发 《电力科技与环保》 2015年第1期60-62,共3页
针对某台600 MW亚临界参数汽轮机低压转子的末三级叶片(2Cr12Ni Mo1W1V钢)出汽侧裂纹进行了宏观形貌观察、化学成分分析、金相组织分析、室温冲击韧性试验、硬度试验,并对断口进行了扫描电镜及能谱分析。结果表明:此次开裂的低压转... 针对某台600 MW亚临界参数汽轮机低压转子的末三级叶片(2Cr12Ni Mo1W1V钢)出汽侧裂纹进行了宏观形貌观察、化学成分分析、金相组织分析、室温冲击韧性试验、硬度试验,并对断口进行了扫描电镜及能谱分析。结果表明:此次开裂的低压转子叶片,是由于其化学成分Mo元素含量低于标准要求,导致材料的KISCC降低,以及硬度偏低造成裂纹扩展所需的外界启动应力降低,进而在运行过程中拉应力和湿蒸汽的氧化腐蚀共同作用下,发生了应力腐蚀开裂。 展开更多
关键词 叶片裂纹 应力腐 2Cr12NiMo1W1V KISCC
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锈蚀钢筋蚀坑特征分析及其对力学性能的影响 预览 被引量:1
13
作者 彭建新 阳逸鸣 +2 位作者 唐皇 张建仁 刘扬 《长沙理工大学学报:自然科学版》 CAS 2015年第3期50-55,共6页
通过对126根锈蚀钢筋进行拉伸试验,研究了蚀坑特征及其锈蚀后力学性能。研究发现,锈蚀钢筋最大名义屈服强度较标准试件提高了7.65%,伸长率下降最大可达52.94%;锈蚀钢筋拉伸试验后断口形态为锯齿式断口和劈裂式断口;蚀坑最大深度、宽... 通过对126根锈蚀钢筋进行拉伸试验,研究了蚀坑特征及其锈蚀后力学性能。研究发现,锈蚀钢筋最大名义屈服强度较标准试件提高了7.65%,伸长率下降最大可达52.94%;锈蚀钢筋拉伸试验后断口形态为锯齿式断口和劈裂式断口;蚀坑最大深度、宽度、长度分别不超过8,15,16 mm,并且三者的对数值与质量锈蚀率呈线性关系,深宽比与质量锈蚀率呈指数关系。还建立了与深宽比均值相关的名义屈服强度的退化模型和计算模型。 展开更多
关键词 钢筋 力学性能 断口特征 强度模型
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硫镓银晶体腐蚀剂研究 预览
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作者 吴小娟 赵欣 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期340-343,共4页
本文对硫镓银晶体的化学腐蚀剂配比进行了研究。在以H2O作为稀释剂的基础上通过大量实验对氧化剂和络合剂进行了选择,确定了HNO3溶液作为氧化剂和H2SO4溶液作为络合剂的腐蚀剂配方。采用体积比1:1的65%的HNO3与49%的H2SO4的腐蚀剂对(11... 本文对硫镓银晶体的化学腐蚀剂配比进行了研究。在以H2O作为稀释剂的基础上通过大量实验对氧化剂和络合剂进行了选择,确定了HNO3溶液作为氧化剂和H2SO4溶液作为络合剂的腐蚀剂配方。采用体积比1:1的65%的HNO3与49%的H2SO4的腐蚀剂对(112)面AgGaS2晶片进行择优腐蚀,8 min后,通过金相显微镜观察,获得了清晰的取向一致的三角形蚀坑。 展开更多
关键词 硫镓银晶体 (112)面
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锈蚀钢筋截面面积分析及强度概率模型 被引量:1
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作者 彭建新 阳逸鸣 张建仁 《中外公路》 北大核心 2015年第5期124-129,共6页
为了研究锈蚀钢筋截面面积和强度的均值与标准差分布规律,主要开展了以下工作:1结合246根直径分别为16、22、28mm的HRB335带肋锈蚀钢筋拉伸试验,通过对锈蚀钢筋实际蚀坑截面模拟,提出了一种新的锈蚀钢筋截面面积损失计算模型,实测结果... 为了研究锈蚀钢筋截面面积和强度的均值与标准差分布规律,主要开展了以下工作:1结合246根直径分别为16、22、28mm的HRB335带肋锈蚀钢筋拉伸试验,通过对锈蚀钢筋实际蚀坑截面模拟,提出了一种新的锈蚀钢筋截面面积损失计算模型,实测结果验证了模型的可靠性;2基于试验数据,对锈蚀钢筋面积损失分布参数进行了统计分析。研究了不同直径和锈蚀程度对钢筋截面面积分布的影响规律,研究发现:截面面积分布离散性较大,但在显著性水平为0.05时均服从正态分布,分布形态与直径无显著关系,与锈蚀程度有关;3建立了锈蚀率不大于25%时锈蚀钢筋截面面积和名义屈服强度均值与标准差计算模型,锈蚀钢筋截面面积和强度测试统计结果分析表明:截面面积和屈服强度的均值与标准差计算模型具有一定的可靠性,可用于实际桥梁工程预测结构抗力。 展开更多
关键词 钢筋 截面面积 强度 概率模型
桥梁缆索钢丝腐蚀特征 预览 被引量:1
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作者 冯兆祥 于杰 缪长青 《山西建筑》 2015年第24期152-153,共2页
结合某系杆拱桥换索工程,对桥梁缆索钢丝腐蚀分布情况进行了检测与量化分析,并对钢丝表面蚀坑形状进行了分类,讨论了蚀坑的发展演变规律,为桥梁病害的治理提供了依据。
关键词 缆索 钢丝 特征
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交变应力与环境耦合作用下拉索腐蚀疲劳损伤机理研究 被引量:1
17
作者 吴甜宇 李涛 《公路》 北大核心 2015年第4期104-109,共6页
通过开展室内盐雾加速腐蚀试验,研究分析了各种应力状态下腐蚀钢丝的腐蚀失重量及弹性模量、抗拉强度等力学性能的变化,得出腐蚀钢丝各种力学性能中断后伸长率对疲劳腐蚀最为敏感的结论。在试验开展的基础上,以细观损伤力学为研究手... 通过开展室内盐雾加速腐蚀试验,研究分析了各种应力状态下腐蚀钢丝的腐蚀失重量及弹性模量、抗拉强度等力学性能的变化,得出腐蚀钢丝各种力学性能中断后伸长率对疲劳腐蚀最为敏感的结论。在试验开展的基础上,以细观损伤力学为研究手段,并结合断裂力学强度准则,分析了环境腐蚀、应力腐蚀和疲劳腐蚀各自的特征、机理。腐蚀斜拉索的腐蚀疲劳损伤主要是由于腐蚀造成的钢丝表面的蚀坑,进而导致应力集中现象,加之氢致开裂,导致裂纹不断萌生、发展,研究分析了应用腐蚀疲劳裂纹扩展门槛值作为点蚀坑向腐蚀疲劳裂纹转化的判据的方法,并通过数值手段,分析了钢丝全面腐蚀、表面蚀坑深度、蚀坑形状和蚀坑纵向净间距对钢丝应力分布状态和疲劳寿命的影响。 展开更多
关键词 斜拉索 疲劳腐 损伤机理 裂纹
考虑局部锈蚀特征的钢筋性能退化试验研究 预览 被引量:4
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作者 孙晓燕 朱建科 +1 位作者 王海龙 张治成 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期804-810,共7页
采用电化学加速锈蚀和人工环境模拟方法制备侵蚀环境下混凝土构件中锈蚀钢筋样本,阐述了钢筋均匀锈蚀和不均匀锈蚀的发展机理,建立了更为合理的钢筋锈蚀程度分类方法和更为准确的评估指标.通过锈蚀钢筋力学性能测试,研究蚀坑参数对锈蚀... 采用电化学加速锈蚀和人工环境模拟方法制备侵蚀环境下混凝土构件中锈蚀钢筋样本,阐述了钢筋均匀锈蚀和不均匀锈蚀的发展机理,建立了更为合理的钢筋锈蚀程度分类方法和更为准确的评估指标.通过锈蚀钢筋力学性能测试,研究蚀坑参数对锈蚀钢筋力学性能的影响,建立了钢筋力学性能退化模型.考虑工程维护管理和结构性能评估实际情况,针对锈蚀率在5%~20%,蚀坑形状不规则的Ⅱ级钢筋,建立了蚀坑形状特征参数模型,为准确预测侵蚀环境下考虑锈蚀的钢筋混凝土结构长期承载力奠定了基础. 展开更多
关键词 性环境 机理 程度 拉伸试验 参数
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不同磨料质量分数对化学机械平坦化的影响 被引量:1
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作者 刘伟娟 刘玉岭 +3 位作者 王辰伟 袁浩博 陈国栋 蒋勐婷 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第6期399-403,共5页
采用自主研发的碱性铜抛光液,在E460E机台上研究了不同磨料质量分数对铜和钽抛光速率与膜厚一致性的影响;分析了磨料质量分数为2%,2.8%和3.6%时,膜厚一致性对平坦化的影响。抛光结果显示:当磨料质量分数高于2.8%时,抛光液开始对钽进行... 采用自主研发的碱性铜抛光液,在E460E机台上研究了不同磨料质量分数对铜和钽抛光速率与膜厚一致性的影响;分析了磨料质量分数为2%,2.8%和3.6%时,膜厚一致性对平坦化的影响。抛光结果显示:当磨料质量分数高于2.8%时,抛光液开始对钽进行有效的抛光;随着磨料浓度的增加,抛光液的膜厚一致性提高趋于平缓。磨料质量分数为2.8%和3.6%时,抛光后膜厚一致性变好,碟形坑满足工业生产要求;磨料质量分数为2%时,抛光后膜厚一致性比抛光前恶化,碟形坑相对较大。由此可见,当磨料质量分数为2.8%时,抛光液能有效去除残余铜,并且抛光后膜厚一致性好,有利于实现平坦化,尤其是对提高成品率和优品率有重要的作用。 展开更多
关键词 化学机械平坦化(CMP) 抛光速率 膜厚一致性 碟形
碱性阻挡层抛光液各成分对CMP的影响 被引量:3
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作者 刘桂林 刘玉岭 +2 位作者 王辰伟 栾晓东 李若津 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第6期394-398,共5页
为实现图形片的全局平坦化,通过研究碱性阻挡层抛光液各成分对铜和介质(TEOS)去除速率的影响,遴选出一种碱性阻挡层抛光液。在此抛光液基础上添加不同质量分数的盐酸胍,对钽光片进行抛光,选出满足要求的抛光液,并在中芯国际图形片上... 为实现图形片的全局平坦化,通过研究碱性阻挡层抛光液各成分对铜和介质(TEOS)去除速率的影响,遴选出一种碱性阻挡层抛光液。在此抛光液基础上添加不同质量分数的盐酸胍,对钽光片进行抛光,选出满足要求的抛光液,并在中芯国际图形片上验证此抛光液的修正能力。实验表明,当磨料质量分数为20%、盐酸胍质量分数为0.3%、I型螯合剂(FA/O I)体积分数为1%、非表面活性剂体积分数为3%时,钽和TEOS去除速率之和是铜去除速率的3.3倍,此种碱性阻挡层抛光液对钽的去除速率为42 nm/min,各项参数均满足工业要求。与商用酸性、碱性抛光液相比,该抛光液对碟形坑和蚀坑有更好的修正能力。 展开更多
关键词 碱性阻挡层抛光液 去除速率 选择性 碟形
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