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基于主成分分析法的离轴三反系统装调及其应用
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作者 郭继锴 王治乐 陆敏 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期341-347,共7页
提出一种基于主成分分析法的装调方案;对理想的离轴三反系统的灵敏度矩阵进行处理,以获得系统失调量对残余像差敏感度的权重值,通过去除敏感度低的调整量来制定合理的装调方案;基于逆向优化法的计算机辅助装调技术原理,进行模拟装调及... 提出一种基于主成分分析法的装调方案;对理想的离轴三反系统的灵敏度矩阵进行处理,以获得系统失调量对残余像差敏感度的权重值,通过去除敏感度低的调整量来制定合理的装调方案;基于逆向优化法的计算机辅助装调技术原理,进行模拟装调及装调方案的验证。结果表明:采用所制定的装调方案可使装调精度达到10-7量级,调整量从11个减少到6个,装调难度降低,光机结构的稳定性得到提高。 展开更多
关键词 光学设计 计算机辅助 主成分分析法 离轴三反系统 逆向优化法
新型离轴反射变焦距光学系统的多视场检测方法 预览
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作者 周继德 常军 +2 位作者 牛亚军 谢桂娟 王希 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期186-192,共7页
基于对离轴反射变焦距光学系统进行计算机辅助装调研究,需要检测离轴反射变焦距系统各个视场的波像差,除零度视场外,获得包括其他视场的波像差有助于提高计算机辅助装调的准确性,但是目前已有的波像差检测方法往往只能获得系统零度视场... 基于对离轴反射变焦距光学系统进行计算机辅助装调研究,需要检测离轴反射变焦距系统各个视场的波像差,除零度视场外,获得包括其他视场的波像差有助于提高计算机辅助装调的准确性,但是目前已有的波像差检测方法往往只能获得系统零度视场的波像差.本文针对这个难题提出了一种检测离轴反射变焦距光学系统各个视场波像差的方法,并应用于离轴三反变焦距光学系统的各视场波像差仿真检测.该方法在传统自准直干涉法的基础上进行改进,关键在于采用变形镜代替扫描的平面镜,并采用夏克-哈特曼波前传感器代替干涉仪,配合精确标定的激光器光源阵列,可以实现对离轴三反变焦距光学系统的多视场波像差同时检测.由理论分析和仿真模拟得出,该系统在视场(0°,3°),(0°,4.2°),(0°,5.5°),(0°,7°),(0°,9.8°),(0°,14°)处经过变形镜补偿后的剩余波像差的RMS值分别为0.00039λ,0.00075λ,0.0024λ,0.00017λ,0.00053λ,0.0057λ,分析仿真结果表明此检测方案是可行的,且适用于离轴反射变焦距系统的计算机辅助装调技术的研究. 展开更多
关键词 光学系统波像差检测 计算机辅助 夏克-哈特曼波前传感器 离轴反射变焦距系统
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R-C光学系统的计算机辅助装调 预览 被引量:1
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作者 刘波 丁亚林 +2 位作者 贾继强 苏东风 张雷 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第3期173-178,共6页
R-C光学系统是现代光学工程中常用的光学系统,以某一R-C光学系统为例,对其计算机辅助装调技术进行了研究。分析了R-C系统装调理论,确定以主镜为装调基准,调整次镜五个自由度的装调方法,建立起次镜失调量与系统Zernike系数的关系,以此指... R-C光学系统是现代光学工程中常用的光学系统,以某一R-C光学系统为例,对其计算机辅助装调技术进行了研究。分析了R-C系统装调理论,确定以主镜为装调基准,调整次镜五个自由度的装调方法,建立起次镜失调量与系统Zernike系数的关系,以此指导装调工作,达到明确装调方向、缩短装调周期的目的。整机光学系统的波像差RMS值优于1/10波长,达到了成像质量的要求。对相机进行实验室和地面外场成像,获得的图像图像清晰,层次丰富,验证了装调工作的正确性。 展开更多
关键词 R-C光学系统 计算机辅助 Zernike系数 波像差
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离轴三反系统计算机辅助装调 预览 被引量:3
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作者 王彬 伍凡 叶玉堂 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第11期243-249,共7页
为实现对离轴三反系统快速、有效的装调,提出了一种离轴三反系统计算机辅助装调(CAA)方法。该方法在理论分析失调后离轴三反系统像差特性的基础上,结合CAA技术及光学装调的实际情况,选择出最少且最合理的调整量;根据检测数据及CAA数... 为实现对离轴三反系统快速、有效的装调,提出了一种离轴三反系统计算机辅助装调(CAA)方法。该方法在理论分析失调后离轴三反系统像差特性的基础上,结合CAA技术及光学装调的实际情况,选择出最少且最合理的调整量;根据检测数据及CAA数学模型直接计算出调整量的大小及方向。采用该方法对一离轴三反系统进行实际装调,将调整量从11个减少到7个,利用波前传感器被动式检测方法对离轴三反系统0及±1视场像质进行检测,通过一次计算调整快速使该系统全视场波像差从RMS≤0.32λ减少至RMS≤0.067λ(λ=632.8 nm),结果表明该装调方法简单、有效。 展开更多
关键词 计算机辅助 离轴三反系统 特性 ZERNIKE多项式
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无焦压缩光路系统的计算机辅助装调方法 预览 被引量:3
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作者 岳鹏远 赵希婷 +1 位作者 赵振 万玉曦 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期607-611,共5页
为了解决随机成分多、调节灵敏度高的离轴反射式系统的精确装调问题,介绍了干涉测量与计算机优化技术相结合的方法,建立了各元件失调量与初级像差之间的关系,以及元件间的像差相互补偿关系,通过干涉测量采集系统全视场的波前差,反向优... 为了解决随机成分多、调节灵敏度高的离轴反射式系统的精确装调问题,介绍了干涉测量与计算机优化技术相结合的方法,建立了各元件失调量与初级像差之间的关系,以及元件间的像差相互补偿关系,通过干涉测量采集系统全视场的波前差,反向优化得到各元件的失调量,在波长为632.8nm时,无焦压缩光路系统全视场平均出射波前优于RMS0.055λ,压缩比误差小于5‰,实现了无焦压缩光路系统高精度、高效率的装调。 展开更多
关键词 遥感 计算机辅助 无焦压缩光路系统 灵敏度矩阵
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离轴三反系统的无应力装调 预览 被引量:1
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作者 梅贵 翟岩 +1 位作者 曲贺盟 浦前帅 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3414-3421,共8页
为了解决离轴三反光学系统装调过程中由于连接、紧固、温度变化等产生的应力导致反射镜面形和系统像质恶化的问题,提出了无应力结构设计和装调方法。采用内外框结合的方法设计反射镜组件,同时设置柔性变形环节,增加应力源与镜面间传递... 为了解决离轴三反光学系统装调过程中由于连接、紧固、温度变化等产生的应力导致反射镜面形和系统像质恶化的问题,提出了无应力结构设计和装调方法。采用内外框结合的方法设计反射镜组件,同时设置柔性变形环节,增加应力源与镜面间传递距离来削弱应力对反射镜面形的影响。系统框架采用非固定的定位方式,使用3个高精度钢球和相应的锥形孔、V型槽和平面底座约束框架的六自由度,通过两个基准立方镜和莱卡经纬仪监视框架的微位移,数显千分表监视反射镜六维调整架的移动和复位。经初装调和计算机辅助精装调后,系统全视场平均波像差均方根(RMS)值达到0.068λ;修垫、连接后为0.070λ,在奈奎斯特频率处的全视场平均调制传递函数(MTF)为0.720,均满足设计指标,得到的结果证明了装调方法的可行性。 展开更多
关键词 离轴三反系统 无应力 计算机辅助 波像差
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卡塞格林系统光学装调技术研究 预览 被引量:7
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作者 张向明 姜峰 +6 位作者 孔龙阳 李玉喜 刘奕辰 张锦亮 赵红军 王智超 钟丽萍 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期526-530,共5页
介绍卡塞格林系统非球面主镜使用三坐标测量仪进行定心装调的方案。系统的主镜口径为300mm,需要使用结构胶进行胶结固定,选用微应力粘接方法,将胶层粘接应力与热应力变形控制在极小的范围内。利用ZYGO干涉仪获得光学系统的波前信息,将... 介绍卡塞格林系统非球面主镜使用三坐标测量仪进行定心装调的方案。系统的主镜口径为300mm,需要使用结构胶进行胶结固定,选用微应力粘接方法,将胶层粘接应力与热应力变形控制在极小的范围内。利用ZYGO干涉仪获得光学系统的波前信息,将测得的波相差转化为初级像差,根据光学系统失调量与像差的关系对卡塞格林系统进行计算机辅助装调。调试后,系统的RMS值达到0.10λ,分辨率达到1″以内,检测结果表明:该系统的成像质量接近理论衍射分辨率,该方案可以实现快速定心,并且能够满足计算机辅助装调对定心精度的要求。 展开更多
关键词 卡塞格林系统 主镜 计算机辅助
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改进的灵敏度矩阵法在离轴望远镜装调中的应用 预览 被引量:1
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作者 顾志远 颜昌翔 +2 位作者 李晓冰 胡春晖 王洋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2595-2604,共10页
为了在较大失调范围内准确求解离轴梅逊式无焦卡塞格林望远镜元件的失调量,提出了基于改进的灵敏度矩阵模型的计算机辅助装调方法。分析了传统灵敏度矩阵法的原理及局限性,并在传统方法的数学模型中加入二次修正项,对传统计算机辅助装... 为了在较大失调范围内准确求解离轴梅逊式无焦卡塞格林望远镜元件的失调量,提出了基于改进的灵敏度矩阵模型的计算机辅助装调方法。分析了传统灵敏度矩阵法的原理及局限性,并在传统方法的数学模型中加入二次修正项,对传统计算机辅助装调技术进行了改进。针对离轴望远镜系统,分析了次镜失调状态下系统的像差特性,分别采用改进模型和传统模型对系统失调量与像差间的映射关系进行近似,并对失调望远镜系统进行仿真装调。仿真装调结果表明:在次镜偏心为±8mm、倾斜为±1.5°的失调范围内,传统方法计算得到的次镜x、y、z偏心量和α、β倾斜量均方根误差分别是:2.689mm、2.494mm、0.194mm和0.500°、0.525°;而改进方法对应的计算结果为:0.404mm、0.323mm、0.047mm和0.064°、0.065°,显示改进后的灵敏度矩阵方法的失调量求解准确度大幅优于传统方法。最终,采用改进方法对望远镜进行装调,得到了轴上视场波像差(均方根值RMS)为0.056λ(λ=632.8nm),边缘视场波像差RMS均优于0.1λ的良好装调结果。得到的结果满足设计要求。 展开更多
关键词 离轴望远镜 计算机辅助 灵敏度矩阵 Zernike系数
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多光谱相机计算机辅助装调方法 被引量:3
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作者 张超 魏学敏 +2 位作者 赵希婷 焦文春 廖志波 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期152-158,共7页
应用于航天遥感领域的光学相机光学元件多,分离变量多,结构复杂,成像质量要求接近衍射极限,对光学装调有着苛刻的要求。结合装调数学模型,将CODE V光学设计软件与各视场干涉图的Zernike系数整合为装调变量,优化求取失调量;根据离轴三反... 应用于航天遥感领域的光学相机光学元件多,分离变量多,结构复杂,成像质量要求接近衍射极限,对光学装调有着苛刻的要求。结合装调数学模型,将CODE V光学设计软件与各视场干涉图的Zernike系数整合为装调变量,优化求取失调量;根据离轴三反系统理想光学模型求取装调灵敏度矩阵及确定多标量修正次序,有效克服装调变量相关性。在波长λ为632.8 nm时,成功将多光谱相机装调结果均方根(RMS)由0.563λ提升至0.064λ,实现了多光谱相机高精度、高效率的装调。 展开更多
关键词 遥感 计算机辅助 反向优化 多光谱相机
方形孔径自由曲面反射式系统装调技术研究 预览 被引量:1
10
作者 王超 张新 +1 位作者 王灵杰 王钰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第5期1518-1525,共8页
针对方形孔径自由曲面反射系统,构造方形域上正交多项式用于波前解析,得到方形孔径系统波像差系数。在计算机辅助装调阶段,为确保装调结果准确,用方形域上正交多项式和光学设计软件来建立系统的灵敏度矩阵,结合自准直干涉法得到的多个... 针对方形孔径自由曲面反射系统,构造方形域上正交多项式用于波前解析,得到方形孔径系统波像差系数。在计算机辅助装调阶段,为确保装调结果准确,用方形域上正交多项式和光学设计软件来建立系统的灵敏度矩阵,结合自准直干涉法得到的多个视场得波像差来求解系统失调量;在多次迭代后得到系统平均RMS为0.164 1(632.8 nm)实测系统平均传递函数达到0.453 4的理想结果;证明该装调方法正确性,并适用于其他形状孔径自由曲面离轴反射系统式系统装调。 展开更多
关键词 方形域正交多项式 方形孔径 离轴自由曲面 计算机辅助 灵敏度矩阵
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光学系统计算机辅助装调的坐标基准过渡方法 被引量:3
11
作者 顾志远 颜昌翔 +3 位作者 胡春晖 王洋 高志良 刘伟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期227-232,共6页
为实现光学系统计算机辅助装调工程化应用,达到根据失调量的计算值对光学元件进行空间位置误差校正的目的,提出了失调量的计算值和调整机构调整量之间的过渡方法,利用坐标变换和最小二乘优化算法建立了失调量一调整量的关系模型,完... 为实现光学系统计算机辅助装调工程化应用,达到根据失调量的计算值对光学元件进行空间位置误差校正的目的,提出了失调量的计算值和调整机构调整量之间的过渡方法,利用坐标变换和最小二乘优化算法建立了失调量一调整量的关系模型,完成了两者坐标基准过渡。仿真结果表明,根据此方法自编程序计算出的平移调整量精度可达10^-6mm量级,角度调整量精度可达0.02”量级,计算精度远高于光学系统的装调要求。在模拟装调过程中,与直接采用失调量计算值对元件调整的结果相比,此方法的调整结果明显好于前者。对于不同的光学元件装卡方式和调整机构,可对此算法的相关参量进行赋值,灵活运用于不同的工况,为计算机辅助装调的实际工程化应用提供理论依据。 展开更多
关键词 光学设计 光学系统 计算机辅助 坐标基准过渡 最小二乘法
微缩投影系统的计算机辅助装调 预览 被引量:2
12
作者 谢耀 于杰 +2 位作者 王丽萍 王辉 周烽 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2103-2108,共6页
为了解决主次镜结构的微缩投影系统在计算机辅助装调过程中的补偿器耦合问题,实现补偿器的合理筛选,介绍了一种基于光学系统敏感矩阵奇异值分解的计算机辅助装调算法.建立了微缩投影系统装调模型,针对算法和模型开展了计算机辅助装调实... 为了解决主次镜结构的微缩投影系统在计算机辅助装调过程中的补偿器耦合问题,实现补偿器的合理筛选,介绍了一种基于光学系统敏感矩阵奇异值分解的计算机辅助装调算法.建立了微缩投影系统装调模型,针对算法和模型开展了计算机辅助装调实验.用光学软件CODE V建立了光学系统模型,采用零位补偿器检测获得了非球面元件面形;基于灵敏度矩阵的分析结果指导微缩投影系统优化,并将优化后的结构参数作为系统光机结构机械装配和定位的基准.新建立的系统装调模型更接近实际装调过程,能更有效地指导装调,解决了补偿器间的耦合问题,加快了装调过程的收敛.最后,基于自行研发的高精度干涉仪完成了计算机辅助装调实验.实验显示系统波像差由46.39 nmRMS收敛至20.73 nmRMS,验证了装调算法和模型的准确性. 展开更多
关键词 微缩投影系统 集成 计算机辅助 敏感度矩阵 奇异值分解
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投影光刻物镜的计算机辅助装调 被引量:8
13
作者 赵菲菲 唐剑宇 +1 位作者 黄玮 许伟才 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期198-203,共6页
针对投影光刻物镜苛刻的像质要求,将计算机辅助装调(CAA)技术引人投影光刻物镜的装调过程中,建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4~37项,以及畸变作为校正对象,并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODE... 针对投影光刻物镜苛刻的像质要求,将计算机辅助装调(CAA)技术引人投影光刻物镜的装调过程中,建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4~37项,以及畸变作为校正对象,并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODEV的宏功能和Matlab结合,采集灵敏度矩阵和像质数据。提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量,通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进。将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比,发现相比于设计镜头,装调后镜头的平均波前均方根(RMS)大约差0.004λ,平均畸变大约差1nm,该方法可以将系统波像差和畸变恢复到接近设计水平。 展开更多
关键词 光学设计 计算机辅助 投影光刻物镜 奇异值分解 畸变
离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术
14
作者 王超 张新 +2 位作者 王灵杰 张建萍 张继真 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期68-74,共7页
针对离轴自由曲面三镜反射系统,采用了基准传递技术和计算机辅助装调技术相结合的装调方法。基准传递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量;在此基础上,计算机辅助装调过程中采用自准干涉检验法获得多... 针对离轴自由曲面三镜反射系统,采用了基准传递技术和计算机辅助装调技术相结合的装调方法。基准传递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量;在此基础上,计算机辅助装调过程中采用自准干涉检验法获得多个视场干涉图,像差用方形域上正交修正泽尼克多项式系数表征,利用Zemax软件和方形域上正交修正泽尼克多项式得到系统的灵敏度矩阵,求解失调量;在多次迭代后得到系统平均波像差均方根值为0.1641λ(λ=632.8 nm),调制传递函数平均值为0.4534。 展开更多
关键词 光学设计 离轴自由曲面 基准 计算全息 计算机辅助 修正泽尼克多项式
计算机辅助装调的代理模型方法 预览 被引量:5
15
作者 张东阁 傅雨田 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期680-685,共6页
用代理模型实现了一个新的失调量求解方法,可在较大失调范围内进行更为准确的求解。首先分析了基于灵敏度矩阵方法求解失调量的原理和局限性,提出了使用代理模型求解失调量的设想。在代理模型方法中,设定光学元件各个自由度对应的失... 用代理模型实现了一个新的失调量求解方法,可在较大失调范围内进行更为准确的求解。首先分析了基于灵敏度矩阵方法求解失调量的原理和局限性,提出了使用代理模型求解失调量的设想。在代理模型方法中,设定光学元件各个自由度对应的失调范围,对各自由度失调量进行大量的蒙特卡洛仿真得到充足的样本模型。然后从样本模型中提取失调量和残余像差数据,其中残余像差数据用Zernike系数表示。对比三种不同的代理模型,选择用人工神经网络表示失调量与残余像差之间的非线性映射关系或统计关系。最后用一个离轴三反射系统模拟装调的例子,说明了如何建立代理模型,并根据当前系统的状态进行调整,表明了使用代理模型进行辅助装调的实用性和可靠性。 展开更多
关键词 计算机辅助 代理模型 人工神经网络 离轴三反射
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离轴反射式光学系统的研究进展与技术探讨 预览 被引量:6
16
作者 李荣刚 张兴德 +3 位作者 孙昌锋 刘琳 李江勇 王诚 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期128-131,共4页
离轴反射式光学系统具有大口径、宽光谱,高分辨率等特点,在空间与远程探测技术领域具有良好的应用前景。离轴反射式光学系统的复杂性加大了其设计与工程化的难度。本文在分析其特点的基础上,结合国内外的研究情况,对其设计方法、波... 离轴反射式光学系统具有大口径、宽光谱,高分辨率等特点,在空间与远程探测技术领域具有良好的应用前景。离轴反射式光学系统的复杂性加大了其设计与工程化的难度。本文在分析其特点的基础上,结合国内外的研究情况,对其设计方法、波前探测、计算机辅助装调、光学零件加工检测、轻量化等技术进行探讨。 展开更多
关键词 离轴反射式光学系统 波前探测 计算机辅助 轻量化
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基于人工神经网络方法的自由曲面光学系统装调 被引量:2
17
作者 王钰 张新 +1 位作者 王灵杰 王超 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期81-86,共6页
自由曲面光学表面越来越广泛地应用于光学工程领域,传统的计算机辅助装调方法已难以指导含自由曲面的复杂光学系统装调。提出了一种新型人工神经网络计算方法,用以辅助光学系统装调。介绍了神经网络方法的数学模型,并提供了两个模拟... 自由曲面光学表面越来越广泛地应用于光学工程领域,传统的计算机辅助装调方法已难以指导含自由曲面的复杂光学系统装调。提出了一种新型人工神经网络计算方法,用以辅助光学系统装调。介绍了神经网络方法的数学模型,并提供了两个模拟装调实例以验证此方法的实用性。模拟装调结果表明,以系统出瞳波前的光程差分布和泽尼克多项式拟合系数作为像质指示参量,经由神经网络方法计算得到的失调量均方根误差小于7.04%;神经网络方法可用于指导自由曲面光学系统的精确装调。 展开更多
关键词 成像系统 计算机辅助 人工神经网络 自由曲面
透射式光学系统计算机辅助装校技术初步研究 预览 被引量:6
18
作者 廖志波 王春雨 +1 位作者 栗孟娟 伏瑞敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第9期2453-2456,共4页
应用于航天遥感领域的透射式光学镜头光学元件多,分离变量多,结构复杂,成像质量要求接近衍射极限,对光学装调有着苛刻的要求。传统的透射式系统装调一般采用直装定心的方法,通过机床定心和实验室定心结合依次将各个元件的偏心和倾... 应用于航天遥感领域的透射式光学镜头光学元件多,分离变量多,结构复杂,成像质量要求接近衍射极限,对光学装调有着苛刻的要求。传统的透射式系统装调一般采用直装定心的方法,通过机床定心和实验室定心结合依次将各个元件的偏心和倾斜调整到预设置公差范围之内。这种方法增加了过程控制的难度,影响了装调一次成功率。在透射式系统装调中引入计算机辅助装调技术是突破传统装调方法,提高系统装调质量和效率行之有效的手段。借助计算机辅助装调技术,通过设置补偿环节的方法针对某一透射式光学镜头的初级像差进行调整,成功将系统装调结果RMS从0.084λ(λ=632.8nm)提高到0.046λ,实现了高精度、高效率的装调。 展开更多
关键词 透射式光学镜头 计算机辅助 补偿
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基于波像差检测的大口径RC光学系统装调分析 预览 被引量:2
19
作者 段学霆 周仁魁 +2 位作者 陈建军 付兴 李华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期共3页
通过对520 mm口径rc系统进行面形波像差检测,并将其主、次镜各光学零件实际面形的干涉检测结果输入code v软件进行了系统成像质量的波像差分析.分析结果与实际系统装调完成后的系统成像质量波像差检测结果对比,具有高度的一致性,说明在... 通过对520 mm口径rc系统进行面形波像差检测,并将其主、次镜各光学零件实际面形的干涉检测结果输入code v软件进行了系统成像质量的波像差分析.分析结果与实际系统装调完成后的系统成像质量波像差检测结果对比,具有高度的一致性,说明在计算机辅助装调工艺中应用该仿真工具仿真度高,可以用于实际光学装调的仿真分析、指导光学装调. 展开更多
关键词 光学 计算机辅助 CODE v软件 波像差检测
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光学系统辅助装调技术研究 被引量:2
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作者 易亨瑜 齐予 +3 位作者 陈门雪 黄吉金 黄珊 王丹丹 《光学与光电技术》 2012年第3期 55-60,共6页
光学系统装调技术是高功率激光工程中的关键支撑技术之一。对光学系统装调中影响系统光束质量的误差来源进行了分析,并根据像差的装调方式进行了分类。对这两类像差的辅助装调方式进行了比较和仿真模拟。针对第一类像差,在装调模型中... 光学系统装调技术是高功率激光工程中的关键支撑技术之一。对光学系统装调中影响系统光束质量的误差来源进行了分析,并根据像差的装调方式进行了分类。对这两类像差的辅助装调方式进行了比较和仿真模拟。针对第一类像差,在装调模型中代入失调系统检测得到干涉图,利用计算机辅助装调模型计算出失调量的大小和方向,确定出系统的装调方案。仿真结果显示,对系统调整工作有较好指导作用。针对第二类像差,利用元件加工面形之间波像差的互补性,优化调整光学元件的装校姿态。仿真结果显示,系统的光束质量口由预期的4.916优化为1.187,提高了多元件光学系统的光束质量。 展开更多
关键词 几何光学 卡塞格林系统 计算机辅助 校姿态 光束质量
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