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基于镜组准直的激光干涉仪快速对光方法研究 预览 被引量:1
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作者 宋嘎 叶佩青 《制造技术与机床》 北大核心 2019年第6期150-153,共4页
为了解决激光干涉仪使用时激光光路准直调整比较费时的问题,在对激光干涉仪位置测量原理和测量误差进行分析的基础上,通过反复比较验证,提出了一种基于镜组准直的快速对光方法。实践表明,该方法简单实用,能够有效指导操作人员高效准确... 为了解决激光干涉仪使用时激光光路准直调整比较费时的问题,在对激光干涉仪位置测量原理和测量误差进行分析的基础上,通过反复比较验证,提出了一种基于镜组准直的快速对光方法。实践表明,该方法简单实用,能够有效指导操作人员高效准确地完成对光,具有较强的指导作用。 展开更多
关键词 激光干涉仪 准直 测量误差 对光
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