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一种简单的单频无源LC传感器读取系统设计 预览
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作者 王铮 《电子器件》 CAS 北大核心 2019年第1期178-183,共6页
为了实现无源LC传感器信号的高灵敏度检测,提出了一种简单、高效的单频无源LC传感器读取系统。该系统通过磁耦合读取线圈和传感器线圈,利用固定电容与电容传感器并联降低谐振频率以便进行测量。首先,通过读取线圈将传感器的电容转换成... 为了实现无源LC传感器信号的高灵敏度检测,提出了一种简单、高效的单频无源LC传感器读取系统。该系统通过磁耦合读取线圈和传感器线圈,利用固定电容与电容传感器并联降低谐振频率以便进行测量。首先,通过读取线圈将传感器的电容转换成励磁电压和电流之间的相角(Ф)。然后使用相敏检测器获得由tanФ给出的最终输出结果。其中,相敏检测器的输入为电压和与信号成比例的电流。理论分析和实验结果显示,提出系统能够实现传感器变化信号的高灵敏度检测。在±5pF的范围内测试得到的灵敏度为5.5(°)/pF且平均误差约为0.38%。 展开更多
关键词 无源LC传感器 电感耦合 读取系统 高灵敏度
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新型高灵敏赭曲霉毒素A间接竞争化学发光免疫分析法
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作者 张景 潘姝历 +2 位作者 马良 郭婷 张宇昊 《食品与发酵工业》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期223-230,共8页
建立了一种测定赭曲霉毒素A的新型高灵敏化学发光间接竞争酶联免疫分析方法。以酶标赭曲霉毒素A二抗上的辣根过氧化物酶催化过氧化脲氧化3-(4-羟苯基)丙酸,生成具有荧光的3-(4-羟苯基)丙酸二聚体。并利用乙腈介质中双[2,4,6-三氯苯基]... 建立了一种测定赭曲霉毒素A的新型高灵敏化学发光间接竞争酶联免疫分析方法。以酶标赭曲霉毒素A二抗上的辣根过氧化物酶催化过氧化脲氧化3-(4-羟苯基)丙酸,生成具有荧光的3-(4-羟苯基)丙酸二聚体。并利用乙腈介质中双[2,4,6-三氯苯基]草酸酯和过氧化脲在增强剂咪唑的作用下反应产生强化学发光,以发光强度确定待检物中赭曲霉毒素A含量。结果表明,在最佳条件下IC50为0.55ng/mL,在0.05~6.08ng/mL范围内有良好的线性关系,最低检出限为0.01ng/mL。样品加标回收实验显示葡萄干和葡萄汁样品的平均回收率分别为84.55%~91.36%和73.32%~87.64%,批内与批间变异系数均小于10%,精密度良好。该新型化学发光方法检测赭曲霉毒素A时发光强度更大、发光时间更长,可用于食品中赭曲霉毒素A的高灵敏度痕量检测。 展开更多
关键词 赭曲霉毒素A 化学发光 草酸酯 免疫分析 高灵敏度
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现代钢琴调律法与传统调律法的区别(下)
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作者 陈惠庆 《乐器》 2019年第3期16-19,共4页
(接上期)三、现代调律法的练习科学技术的突飞猛进,电子技术飞速发展,为人类制造了许多不可想象的奇迹,利用音准仪进行调律是可以的,但绝对不要为纯粹使用而过分依赖音准仪。我们毕竟是钢琴的调律师,要体现出调律师的高超技艺和素质,要... (接上期)三、现代调律法的练习科学技术的突飞猛进,电子技术飞速发展,为人类制造了许多不可想象的奇迹,利用音准仪进行调律是可以的,但绝对不要为纯粹使用而过分依赖音准仪。我们毕竟是钢琴的调律师,要体现出调律师的高超技艺和素质,要使我们高灵敏度和精确率的听觉和手技得到高度发挥和利用。 展开更多
关键词 调律师 钢琴 科学技术 电子技术 高灵敏度 音准仪
高灵敏度、高精度膀胱压力监测技术的研究 预览
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作者 吴中毅 刘德森 +3 位作者 李钰 杨晓冬 刘兆邦 袁刚 《实用临床医药杂志》 CAS 2019年第1期8-11,17共5页
目的探讨高灵敏度、高精度的膀胱压力监测技术。方法设计具有微弱信号检测的高灵敏度调理电路,并通过高频滤波实现噪声过滤,进而通过高性能ARM芯片完成数据处理。基于蓝牙芯片实现高速无线数据传输,同时开发接收终端APP,最终完成患者膀... 目的探讨高灵敏度、高精度的膀胱压力监测技术。方法设计具有微弱信号检测的高灵敏度调理电路,并通过高频滤波实现噪声过滤,进而通过高性能ARM芯片完成数据处理。基于蓝牙芯片实现高速无线数据传输,同时开发接收终端APP,最终完成患者膀胱功能的维护和管理。结果根据所设计的实验结果(精度1mmHg,灵敏度0.3mmHg),该系统的灵敏度和精度能够满足临床需求。结论本研究实验设计能够实现动态的膀胱内压监测和自动排放,减少护理工作量,维护患者膀胱功能。 展开更多
关键词 精度 高灵敏度 动态监测 无线传输 护理 膀胱功能
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宽带阵列超低副瓣实现技术 预览
5
作者 黄华 于勇 《舰船电子对抗》 2019年第1期29-33,共5页
现代战争朝着全方位、立体式、纵深式发展,致使装备的电磁环境越发复杂。对于高灵敏度侦察设备而言,如何在如此恶劣的环境中获得一席之地显得特别突出。若能解决复杂电磁环境的适应问题,将占据先敌发现、先敌打击的先机。从系统的角度出... 现代战争朝着全方位、立体式、纵深式发展,致使装备的电磁环境越发复杂。对于高灵敏度侦察设备而言,如何在如此恶劣的环境中获得一席之地显得特别突出。若能解决复杂电磁环境的适应问题,将占据先敌发现、先敌打击的先机。从系统的角度出发,综合考虑模拟前端、数字后端的设计、测试等因素,详述了宽带阵列超低副瓣的实现技术。 展开更多
关键词 有源相控阵 宽带阵列 高灵敏度 超低副瓣
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一种基于室温工作的量子点光电探测器的微光读出和应用研究 预览
6
作者 茅丰 王明甲 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期877-881,共5页
针对量子点光电探测器线列进行微光检测研究,量子点探测器采用AlAs/GaAs/AlAs双势垒结构,GaAs宽阱中分别有一个InAs量子点(QDs)和In0.15Ga0.85As量子阱(QW),建立一个简单的器件模型进行分析。常温下,在632.8nm He-Ne激光照射下,当光功率... 针对量子点光电探测器线列进行微光检测研究,量子点探测器采用AlAs/GaAs/AlAs双势垒结构,GaAs宽阱中分别有一个InAs量子点(QDs)和In0.15Ga0.85As量子阱(QW),建立一个简单的器件模型进行分析。常温下,在632.8nm He-Ne激光照射下,当光功率为0.01pW时,器件偏压-0.5V,积分时间80.2μs,电压响应率达到7.0×10^11V·W^-1,具有非常高的灵敏度,这种光电探测器在300K温度下可以探测光功率小于10-14W极弱光。以这种量子点光电探测器为核心研制的高灵敏度光谱仪和分子超光谱系统结合对生物组织样本进行检测,研制了一种图谱相互验证,互为校正的生物组织光谱测量系统。 展开更多
关键词 光电子学 微光检测 显微光谱 高灵敏度
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采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计 预览
7
作者 王呈祥 韩晓东 +3 位作者 李得天 成永军 孙雯君 李刚 《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第1期88-93,共6页
感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力... 感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力分布情况。分析认为,同心圆结构的感压薄膜具有最优异的性能,同等感测面积情况下真空规的压力-电容线性输出测量上限能从圆片结构的1.1×10^3Pa延伸到同心圆结构的1.2×10^4Pa,圆片结构感压薄膜的真空规在1~800Pa区间内的压力-电容输出非线性度为3.9%,灵敏度为10.1fF·Pa^–1;同心圆结构感压薄膜的真空规结构在1~8000Pa区间内的非线性度为3.6%,灵敏度为1.3fF·Pa^–1。 展开更多
关键词 MEMS 电容薄膜真空规 高灵敏度 宽测量范围
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高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真 预览
8
作者 李阳 曹民 胡秀娟 《数据通信》 2018年第1期28-30,33共4页
针对人工智能领域,研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求,设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器,微机电压力传感器尺寸更小,灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路,电桥的输出电压与应力... 针对人工智能领域,研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求,设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器,微机电压力传感器尺寸更小,灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路,电桥的输出电压与应力大小呈线性关系,输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件建模仿真来研究压敏薄膜的尺寸,材料与结构,找出薄膜参数与传感器灵敏度的数据关系,借助数据分析得出最优的设计选择。 展开更多
关键词 MEMS传感器 人工智能 数据分析 高灵敏度
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基于面阵CCD的高灵敏度微型光谱仪的设计与实现 预览
9
作者 徐丹阳 杜春年 《光电工程》 CSCD 北大核心 2018年第11期30-40,共11页
面阵CCD具有灵敏度高、动态范围大的优点,适用于荧光测量、DNA测序、拉曼光谱分析和低光度检测,因此,研制基于面阵CCD的高灵敏度微型光纤光谱仪具有重要的实际价值。光学系统采用了优化后的交叉非对称型Czerny-Turner结构,并获得了1 nm... 面阵CCD具有灵敏度高、动态范围大的优点,适用于荧光测量、DNA测序、拉曼光谱分析和低光度检测,因此,研制基于面阵CCD的高灵敏度微型光纤光谱仪具有重要的实际价值。光学系统采用了优化后的交叉非对称型Czerny-Turner结构,并获得了1 nm的光学分辨率。结合DC-DC和LDO的设计方法,通过USB供电实现了6路电压输出的复杂电源系统设计;通过Verilog HDL完成了CCD驱动时序设计;采用Altera公司的EPM7064芯片实现了驱动信号输出。CCD输出的视频信号经双相关采样的高速16位AD芯片AD9826转换后存储在独立的静态RAM中,使得数据的采集和读取分离。所设计与实现的微型高灵敏度光纤光谱仪的灵敏度是通常基于线阵CCD的微型光谱仪的11倍左右,动态范围20000:1,信噪比达到500:1,很大程度地提高了微型光纤光谱仪的性能。 展开更多
关键词 光谱仪 面阵CCD 高灵敏度 CPLD 双相关采样
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基于石墨烯材料的太赫兹波探测器研究进展 预览
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作者 仝文浩 刘北云 +5 位作者 杨炎翰 游聪娅 王保柱 睢丙东 袁瑞玚 张永哲 《太赫兹科学与电子信息学报》 北大核心 2018年第4期588-594,共7页
太赫兹波具有瞬态性、宽带性、穿透性和低能性等一系列独特性质,使其在材料研究、信息传递、环境检测、国防安全、医疗服务等方面展现了非常广阔的应用前景。作为该领域应用的关键,太赫兹探测器得到科研人员极大的重视。一般来讲,探测... 太赫兹波具有瞬态性、宽带性、穿透性和低能性等一系列独特性质,使其在材料研究、信息传递、环境检测、国防安全、医疗服务等方面展现了非常广阔的应用前景。作为该领域应用的关键,太赫兹探测器得到科研人员极大的重视。一般来讲,探测器的性能很大程度上依赖于基质材料的特性。石墨烯具有2个非常重要的优势,一是石墨烯具有线性能带结构,使得能够吸收太赫兹波;二是石墨烯具有超高载流子迁移率,能够进行超快探测。因此,石墨烯基有望成为太赫兹频段新一代高性能探测器的基质材料。详细综述了近几年关于石墨烯基太赫兹探测器的发展状况。 展开更多
关键词 石墨烯 太赫兹波 探测器 室温 高灵敏度
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基于55 nm CMOS工艺的2.5 Gbit/s高灵敏度跨阻放大器
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作者 余得水 何进 +4 位作者 陈伟 王豪 常胜 黄启俊 童志强 《微电子学》 CSCD 北大核心 2018年第3期289-294,共6页
基于55nm CMOS工艺,设计了一种工作速率为2.5Gbit/s的高灵敏度跨阻放大器(TIA)。TIA输入级电路采用三级反相器级联结构。为了提高动态范围,采用了双自动控制增益(AGC)电路来调节反馈电阻阻值。输入级电路后级的三级差分放大器进一... 基于55nm CMOS工艺,设计了一种工作速率为2.5Gbit/s的高灵敏度跨阻放大器(TIA)。TIA输入级电路采用三级反相器级联结构。为了提高动态范围,采用了双自动控制增益(AGC)电路来调节反馈电阻阻值。输入级电路后级的三级差分放大器进一步放大电压信号,并运用有源电感峰化技术来提高带宽,最后进行缓冲器输出。为了降低跨阻放大器的噪声,设计了基准带隙电路和电压偏置电路,采用温度补偿技术来保证芯片的温度稳定性。电路仿真结果表明,在误码率BER=1×10^-12情况下,TIA的后仿真灵敏度为-30.2dBm,跨阻增益为87.5dBΩ,带宽为1.8GHz。在3.3V电压的条件下,功耗为119.4mW。 展开更多
关键词 高灵敏度 跨阻放大器 双AGC电路 有源电感峰化 温度补偿
一种高灵敏度荧光定量微流控芯片用于细菌感染的早期检测 预览
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作者 李亚楠 张辉 《山西医科大学学报》 CAS 2018年第9期1082-1088,共7页
目的制备一种基于免疫荧光技术的微流控芯片,用于降钙素原(PCT)的高灵敏度定量检测,评价其临床应用价值。方法按照检测需求绘制图纸,注塑模具,选择高透光率聚苯乙烯(PS)加工芯片上板,PS均匀掺杂钛白粉后加工芯片下板;捕获抗体(PCT1... 目的制备一种基于免疫荧光技术的微流控芯片,用于降钙素原(PCT)的高灵敏度定量检测,评价其临床应用价值。方法按照检测需求绘制图纸,注塑模具,选择高透光率聚苯乙烯(PS)加工芯片上板,PS均匀掺杂钛白粉后加工芯片下板;捕获抗体(PCT1#)标记荧光微球后固定在微球区,检测抗体(PCT2#)和质控抗体(羊抗鼠Ig G)分别包被在检测区(T区)和质控区(C区);超声键合后在荧光定量分析仪上用标准芯片绘制标准曲线,测试血清样本。结果可实现芯片批量加工,荧光微球粒径为1.75μm,激发和发射波长为Ex/Em:640/660 nm,标记抗体后有0.497μm的抗体层,C区和T区抗体牢固包被,200μl血清样本在芯片中总流动时间为10 min,其中反应7 min,洗涤3 min,C区质控均匀,T区有明显的浓度梯度相关性荧光强度变化。结论基于免疫荧光技术的微流控芯片可实现PCT的高灵敏度定量检测,具有重要的临床意义和指导价值。 展开更多
关键词 降钙素原 微流控芯片 免疫荧光 高灵敏度 定量检测
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香豆素-苯并噻唑荧光探针的合成及性质研究 预览
13
作者 彭梦姣 尚华 杨建民 《应用科技》 CAS 2018年第3期96-102,共7页
为了快速、便捷地检测铁离子,设计并合成了一种新型香豆素-苯并噻唑荧光探针(BC-1)并将其应用于Fe(Ⅲ)检测。探针BC-1以香豆素为荧光团并引入硫原子和氧原子作为识别基团以达到良好的检测效果。Fe(Ⅲ)与识别基团络合后,探针BC-1... 为了快速、便捷地检测铁离子,设计并合成了一种新型香豆素-苯并噻唑荧光探针(BC-1)并将其应用于Fe(Ⅲ)检测。探针BC-1以香豆素为荧光团并引入硫原子和氧原子作为识别基团以达到良好的检测效果。Fe(Ⅲ)与识别基团络合后,探针BC-1表现出猝灭型的检测效果,并能在短时间内对Fe(Ⅲ)表现出高选择性和高灵敏度地识别。另外探针BC-1合成路线简便、成本低、产率高,因此探针BC-1除了可以在自然水系、工业废水和生物体内很好的检测Fe(Ⅲ)外,还有很好的市场化前景、便于向大众推广。 展开更多
关键词 香豆素-苯并噻唑衍生物 荧光探针 检测 Fe(Ⅲ) 猝灭型 选择性 高灵敏度 低成本
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科学启示录·未来 预览
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《科学家》 2018年第4期114-117,共4页
暗物质探索的未来展望 虽然经过几十年的探索,科学家们始终没有真正侦测到暗物质,但各国科学家们并没有灰心气馁,更没有停下探索的脚步,继续向着更大规模、更大范围、更多方法和更高灵敏度的探寻方向努力。
关键词 科学家 高灵敏度 暗物质
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小型高灵敏度水下拉曼光谱系统 预览
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作者 刘庆省 郭金家 +2 位作者 杨德旺 司赶上 郑荣儿 《光学精密工程》 CSCD 北大核心 2018年第1期8-13,共6页
为了使水下拉曼光谱系统更加易于搭载和布放,并进一步提高其探测能力,研制了一套探头式的小型高灵敏度水下拉曼光谱系统并对其探测能力进行了评估。通过优化结构设计和严格的器件选型,系统的体积和重量得到了有效的控制,其主体舱尺寸为... 为了使水下拉曼光谱系统更加易于搭载和布放,并进一步提高其探测能力,研制了一套探头式的小型高灵敏度水下拉曼光谱系统并对其探测能力进行了评估。通过优化结构设计和严格的器件选型,系统的体积和重量得到了有效的控制,其主体舱尺寸为Φ260mm×L795mm,重量为548N,仅为国际上报道的首台深海拉曼光谱系统(DORISS)质量的三分之一。将激光器从主体舱移至探头舱,有效避免了传统光学探头中激发光耦合进入光纤时产生的耦合损失以及激光在传输过程中引起的杂散光干扰。系统采用了300mW能量可调激光器配合高衍射效率的体相位全息光栅和半导体制冷CCD,有效提高了探测灵敏度。实验结果表明,系统对于硫酸根的检测限在0.4mmol·L-1以下,是DORISS探测能力的4倍,同时能够实现对水下矿石种类的原位鉴定。该深海拉曼光谱系统在海洋原位探测方面展现出了良好的应用前景。 展开更多
关键词 拉曼光谱 水下原位探测 小型化 高灵敏度
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基于TMR元件的电流传感器的研制 预览
16
作者 王海宝 郭海平 +2 位作者 王于波 王峥 郭彦 《电测与仪表》 北大核心 2018年第9期103-107,共5页
以50A的电流传感器为目标,建立了通电导线的磁场模型,利用有限元仿真软件计算出通电导线周围的磁场。基于在通电导线上方的两个位置磁场大小相等、方向相反的特点,设计了全桥拓扑结构的TMR元件。采用IrMn/CoFeB/Ru/CoFeB/MgO/CoFeB/NiFe... 以50A的电流传感器为目标,建立了通电导线的磁场模型,利用有限元仿真软件计算出通电导线周围的磁场。基于在通电导线上方的两个位置磁场大小相等、方向相反的特点,设计了全桥拓扑结构的TMR元件。采用IrMn/CoFeB/Ru/CoFeB/MgO/CoFeB/NiFe/Ta的磁隧道结膜层结构,制备得到的TMR元件灵敏度为4.4mV/V/Oe,线性范围达到15Gs,offset仅为1%Vcc。利用该TMR元件构建的开环电流传感器,精度达到了1%,证明了TMR元件能够被用于电流传感器中。 展开更多
关键词 TMR 电流传感器 有限元分析 高灵敏度
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基于光声效应的激光超声裂纹检测技术 预览
17
作者 胡国星 冯曼 《中国科技信息》 2018年第3期108-110,共3页
无损检测在机械探伤领域越来越受到重视,激光超声检测技术由于其高分辨率、高灵敏度、宽频带的特点,在无损检测领域占有重要的地位.本文结合激光超声的特点,在其技术基础上设计了一种光声放大的能量转换装置,在不损伤被检测材料表面的... 无损检测在机械探伤领域越来越受到重视,激光超声检测技术由于其高分辨率、高灵敏度、宽频带的特点,在无损检测领域占有重要的地位.本文结合激光超声的特点,在其技术基础上设计了一种光声放大的能量转换装置,在不损伤被检测材料表面的前提上, 展开更多
关键词 激光超声检测技术 光声效应 裂纹 能量转换装置 无损检测 分辨率 高灵敏度 材料表面
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有蔡司即正义Nokia X7轻体验 预览
18
《新潮电子》 2018年第12期59-61,共3页
坚持特色蔡司才是我的"菜"自从今年年初诺基亚发布价格亲民并搭载蔡司双摄的诺基亚7 Plus之后,销量表现还算不错,所以大众对于下一款"蔡司机"的期待就变得更加急迫了。所以,Nokia X7这次继续着力于此,也在情理之中... 坚持特色蔡司才是我的"菜"自从今年年初诺基亚发布价格亲民并搭载蔡司双摄的诺基亚7 Plus之后,销量表现还算不错,所以大众对于下一款"蔡司机"的期待就变得更加急迫了。所以,Nokia X7这次继续着力于此,也在情理之中。毕竟,蔡司真的是很多人的"菜"。Nokia X7拥有蔡司认证的设摄像头,主镜头为IMX363感光元件,单位像素面积大至1.4μm,支持双核全像素对焦;副摄像头为1300万像素(高灵敏度空间侦测摄像头,在"背景虚化"模式下负责测量被拍物体的空间距离),配备双高显色指数闪光灯,并且支持OIS光学防抖。从官方的宣传来看,是要把Nokia X7打造成用户手中最为易用的"相机",所以甚至提出了以"拍暗·叫绝"之名赢得市场的口号。 展开更多
关键词 NOKIA 正义 空间距离 摄像头 感光元件 高灵敏度 背景虚化 显色指数
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困难气道管理研究的新进展 预览
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作者 樊国平 陈骏萍 《现代实用医学》 2018年第2期146-147,241共3页
困难气道是导致麻醉相关死亡或永久性脑损伤的主要原因之一,为降低气道相关严重并发症,除依赖于新型气道管理设备与高灵敏度监测仪的研发,更依靠于困难气道管理方法与策略的更新与改进。目前各气道管理相关指南提供的一些应对措施仍不... 困难气道是导致麻醉相关死亡或永久性脑损伤的主要原因之一,为降低气道相关严重并发症,除依赖于新型气道管理设备与高灵敏度监测仪的研发,更依靠于困难气道管理方法与策略的更新与改进。目前各气道管理相关指南提供的一些应对措施仍不甚理想,笔者对近年气道管理相关研究进行汇总,以期为临床应对困难气道提供新的理论支持。 展开更多
关键词 气道管理 困难气道 严重并发症 高灵敏度 脑损伤 永久性 监测仪
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基于柔性微电极的高灵敏度MEMS电化学地震检波器 预览
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作者 孙振源 李光磊 +3 位作者 陈连宏 陈健 陈德勇 王军波 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第5期10-12,共3页
为了进一步降低微机电系统(MEMS)电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器。与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制... 为了进一步降低微机电系统(MEMS)电化学地震检波器敏感电极的加工成本,提升传感器的灵敏度,推动其在地球物理勘探等领域的发展,提出了一种基于柔性微电极结构的新型MEMS电化学地震检波器。与基于硅衬底制作敏感电极相比,敏感电极的制作方法可以通过有效减小电极间距,大幅度提升传感器的灵敏度,大幅降低工艺成本。介绍了柔性微电极的加工工艺流程,并对传感器的性能进行了测试。结果表明:提出的地震检波器较基于硅衬底微电极器件灵敏度提高了一个数量级。 展开更多
关键词 电化学地震检波器 微机电系统 柔性电极 高灵敏度
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