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Patterning Defect Study for Process Integration Engineering Using Pattern Fidelity Monitoring with Review SEM Images 预览
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作者 Yu Zhang Abhishek Vikram +9 位作者 Ming Tian Tianpeng Guan Jianghua Leng Baojun Zhao Lei Yan Wei Hu Guojie Chen Hui Wang Gary Zhang Wenkui Liao 《微电子制造学报》 2019年第2期21-25,共5页
Normally the optical wafer inspection tools are used for advanced process control in high volume manufacturing of semiconductor devices. The SEM Review is done for limited sample of inspection defects to do defect bas... Normally the optical wafer inspection tools are used for advanced process control in high volume manufacturing of semiconductor devices. The SEM Review is done for limited sample of inspection defects to do defect based process characterization. The defect classes that are monitored normally indicate process and random defect issues. There is limited to no information of patterning related issues in real time defect monitor. Moreover, with the objective of process integration engineering of multiple processes it becomes harder to see the evolution of a defect in the line. The Die-to-Database Pattern Monitor (D2DB-PM) solution has addressed this problem. It uses the existing high resolution images from the Review and Metrology tools and compares the pattern shapes with the design reference. This way it captures patterning deviations in real time. Here we report the subtle defect problem encountered in process integration and the results from using the D2DB-PM solution. We found that this approach reduces the workload on CDSEM tools by analyzing SEM Review images instead and the automated reports improves the efficiency of all process teams. 展开更多
关键词 Die-to-database PATTERN MONITOR AFTER Develop INSPECTION (ADI) AFTER Etch INSPECTION (AEI) SEM REVIEW CDSEM PATTERN centric PATTERN MONITOR
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亚洲能源一体化“一带一路”能源互联互通的前景探析
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作者 唐新华 《开发性金融研究》 2017年第3期37-44,共8页
基础设施互联互通是'一带一路'建设的优先领域,其中能源基础设施互联互通是支柱之一。随着世界能源消费重心向亚洲转移,亚洲正进入'区域一体化'的发展大趋势,以区域能源一体化实现地区能源共同安全是适应世界发展趋势... 基础设施互联互通是'一带一路'建设的优先领域,其中能源基础设施互联互通是支柱之一。随着世界能源消费重心向亚洲转移,亚洲正进入'区域一体化'的发展大趋势,以区域能源一体化实现地区能源共同安全是适应世界发展趋势的道路。在'一带一路'的战略框架和规划愿景下,亚洲能源互联互通建设正在开启,构建地区能源一体化的条件也日趋成熟,亚洲能源一体化(Asian Energy Integration,AEI)将有利于推动不同国家和地区深入合作,从根基上夯实亚洲命运共同体。AEI成为'一路一带'战略实施的重要着力点,有望成为解决当前亚洲能源安全一条出路,还将为亚洲未来的可持续安全、包容合作和共同繁荣带来更多的正效应。本文系统提出了'亚洲能源一体化'的初步理论框架。 展开更多
关键词 “一带一路” 能源安全 区域一体化 AEI
美国企业研究所(AEI)《美国网络空间战略》(编译) 提升自由,安全和繁荣 预览
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作者 杰弗里·爱森纳赫 克劳德·巴菲尔德 +5 位作者 詹姆斯·格拉斯曼 马里奥·罗约拉 谢恩·特夫斯 吴雨霏 叶倩 谢佳灵 《汕头大学学报:人文社会科学版》 2017年第1期131-138,共8页
2016年,美国企业研究所(AEI)发表研究报告《美国网络空间战略:促进自由、安全与繁荣》,为第58届美国政府提出了一套网络空间新战略,以确保互联网继续为美国的国家利益服务,实现自由、安全、繁荣的美国梦。此报告首先认识到,美国虽然... 2016年,美国企业研究所(AEI)发表研究报告《美国网络空间战略:促进自由、安全与繁荣》,为第58届美国政府提出了一套网络空间新战略,以确保互联网继续为美国的国家利益服务,实现自由、安全、繁荣的美国梦。此报告首先认识到,美国虽然发明了互联网并在该领域处于领先地位,但是今天的网络空间确实是属于全世界的。全世界三十亿网络用户中,美国人不到十分之一,而将近四分之一生活在中国。网络自身全球化的本质决定了美国不能将自己从全球互联网中孤立出来,更不能企图单方面制定互联网政策和进行实践,控制其使用和发展。但是,美国可以,也必须利用自己的权力和影响力,确保全球互联网用于正义的地方。为了实现这个目的,美国需要一个全面的战略。网络空间包罗万象,涉及现代社会的方方面面,这决定了制定网络战略的工作是错综复杂的。为克服挑战,此报告主要确立了四大政策目标:互联网自由与人权,国际贸易与电子商务,网络犯罪与执法,重要基础设施与网络防御。为了应对这些挑战,此报告提出了一个基于网络空间实际情况的战略计划,将网络空间的飞速变化、规模经济和范围经济的重要性、网络与现代经济、文化和政治结构的交融程度等纳入考量。 展开更多
关键词 空间战略 网络战略 AEI 国家利益 现代经济 规模经济 政治结构 国家行为 国际制度 非国家行为体
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美国智库网络空间战略新倡议评述 预览
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作者 马芳 桂畅旎 《汕头大学学报:人文社会科学版》 2016年第8期49-54,共6页
2016年,美国企业研究所(AEI)发表研究报告《美国网络空间战略:促进自由、安全与繁荣》,为第58届美国政府提出了一套网络空间新战略。报告一方面暴露了美国在网络空间推行霸权主义的本质,另一方面也反映出当前全球网络空间治理的... 2016年,美国企业研究所(AEI)发表研究报告《美国网络空间战略:促进自由、安全与繁荣》,为第58届美国政府提出了一套网络空间新战略。报告一方面暴露了美国在网络空间推行霸权主义的本质,另一方面也反映出当前全球网络空间治理的难题,提出的解决方案和最佳实践对全球网络治理具有一定的借鉴意义,特别是报告立足于问题导向,不断进行阶段性的总结与评估,体现出国际一流智库的特点。 展开更多
关键词 美国企业研究所 智库 网络空间战略 互联网自由 数字贸易 网络威慑 关键基础设施
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货物列车中车辆车号未识别原因分析及改进措施 预览
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作者 商曙庆 《铁道车辆》 2015年第8期42-44,共3页
分析了铁路局交界口AEI设备对货物列车中车辆车号未识别的原因,提出了对货车标签不良故障进行联网预报和提高AEI设备对多轴车判辆能力等措施。
关键词 货车AEI 车号 识别 标签
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线阵高清技术在货车装载视频监视系统中的应用研究 预览 被引量:1
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作者 赵耀 《铁道通信信号》 2015年第9期51-54,共4页
针对铁路货安系统对运动列车装载状态的监视需求,对线阵高清技术在货车装载视频监视系统中的应用进行研究.分析线阵高清技术的原理,阐述了该系统的构成、主要设备及部署方式.通过对系统中关键技术进行研究,提出改善系统性能的方法.
关键词 线阵高清 货安系统 视频监视 车号识别
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企业铁路车号自动录入系统的设计与应用 预览 被引量:1
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作者 杨菊花 陈光武 石建强 《铁路计算机应用》 2014年第1期44-46,共3页
介绍车号自动录入系统的总体功能和结构,对系统整体设计和软件模块划分进行详细阐述.根据车号自动录入系统要实现的功能,设计相应的软件模块以及BM模式匹配算法和验证算法,结合相似度的概念,提高车号数据采集的准确性、一致性、智能化.... 介绍车号自动录入系统的总体功能和结构,对系统整体设计和软件模块划分进行详细阐述.根据车号自动录入系统要实现的功能,设计相应的软件模块以及BM模式匹配算法和验证算法,结合相似度的概念,提高车号数据采集的准确性、一致性、智能化.使得车号自动录入系统解析和校核更加准确、全面,对于车号有无重复、空车号所对应的车辆具体位置能及时给出准确提示.系统故障后能自动转换到人工录入模式,人工录入操作便捷、易懂. 展开更多
关键词 车号自动录入 AEI 模式匹配 校核
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AEI指数评价微博纯广告效果 预览 被引量:1
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作者 徐艟 《华中师范大学学报:人文社会科学版》 CSSCI 北大核心 2013年第S2期124-127,共4页
"微博"作为21世纪新的互联网互动平台的出现,广告迎来了"微博"时代。运用"微博"交流平台进行广告推广,极大地促进广告业务的发展。但如何有效地评价"微博"广告的效果是一个富有挑战性的问题... "微博"作为21世纪新的互联网互动平台的出现,广告迎来了"微博"时代。运用"微博"交流平台进行广告推广,极大地促进广告业务的发展。但如何有效地评价"微博"广告的效果是一个富有挑战性的问题。因此,引入广告效果指数AEI能够从消费者的视角出发,根据其广告心理认知特点,对"微博"广告效果进行评价。而且广告效果指数AEI能够对"微博"广告的效果进行更为全面具体的评价,从而更好地解决新兴"微博"广告理论与实践中存在的问题,让广告商和消费者对"微博"广告有更清楚的认知。 展开更多
关键词 传播学 微博广告 效果评价 AEI
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企业铁路车号自动录入系统的设计与应用
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作者 李晓斌 石建梅 《信息与电脑:理论版》 2013年第1期155-156,共2页
介绍了车号自动录入系统的总体功能和结构,对系统整体设计和软件模块划分做了详细的阐述。根据车号自动录入系统要实现的功能,设计相应的软件模块以及BM模式匹配算法和验证算法,结合相似度的概念,提高车号数据采集的准确性、一致性、智... 介绍了车号自动录入系统的总体功能和结构,对系统整体设计和软件模块划分做了详细的阐述。根据车号自动录入系统要实现的功能,设计相应的软件模块以及BM模式匹配算法和验证算法,结合相似度的概念,提高车号数据采集的准确性、一致性、智能化。使得车号自动录入系统解析和校核更加准确、全面,对于车号有无重复、空车号所对应的车辆具体位置能及时给出准确提示。系统故障后能自动转换到人工录入模式,人工录入操作便捷、易懂。 展开更多
关键词 车号自动录入 AEI 模式匹配
VFAs对好氧/延长静置系统除磷微生物的影响 预览 被引量:1
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作者 曾恬静 李小明 +2 位作者 王冬波 杨麒 曾光明 《广州化工》 CAS 2012年第20期5-7,共3页
在2个序批式反应器中,研究了废水中常见的两种挥发性脂肪酸乙酸、丙酸对于AEI强化生物除磷的影响。结果表明,短期的驯化中,R1的除磷效果优于R2,两者去除率为75.5%和61.8%。随着驯化的进行,R2的除磷效果提升。48~96 d,R1和R2的去除率为7... 在2个序批式反应器中,研究了废水中常见的两种挥发性脂肪酸乙酸、丙酸对于AEI强化生物除磷的影响。结果表明,短期的驯化中,R1的除磷效果优于R2,两者去除率为75.5%和61.8%。随着驯化的进行,R2的除磷效果提升。48~96 d,R1和R2的去除率为76.95%和92.1%。两者除磷效率的高低与微生物体内聚磷水平密切相关。静置期,R1和R2有明显释磷现象。 展开更多
关键词 AEI 生物除磷 乙酸 丙酸 聚磷
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铁路编组站车号识别系统 预览 被引量:1
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作者 方伯芃 崔炳谋 《物流科技》 2012年第4期 54-59,共6页
由于编组站车辆行驶的复杂性,当今AEI系统应用于编组站时存在着很多不足。通过对铁路编组站车号识别系统的研究,改进当今国内外AEI系统,并设计车号识别算法,实现在编组站中,列车在加速行驶、减速行驶、停车再开车、往复运动、折返等复... 由于编组站车辆行驶的复杂性,当今AEI系统应用于编组站时存在着很多不足。通过对铁路编组站车号识别系统的研究,改进当今国内外AEI系统,并设计车号识别算法,实现在编组站中,列车在加速行驶、减速行驶、停车再开车、往复运动、折返等复杂情况下,对车号顺序的准确识别。该系统原理清晰明了,应用于编组站中,使指挥、作业人员及时掌握机车和车辆位置和信息,增加作业的准确性,降低劳动强度,具有实践运用价值。 展开更多
关键词 编组站 综合自动化 自动识别设备
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城市旅游目的地电视广告的AEI分析——基于山东六市的实证研究 被引量:1
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作者 袁靖靖 魏卫 《青岛酒店管理职业技术学院学报》 2011年第2期9-12,49共5页
城市旅游目的地通过电视广告来树立良好形象成为时下的热门。文章以电视广告的经济效果为研究侧重点,以山东省内6个城市作为调查研究对象,采用广告效果指数分析方法来对其进行经济效果的测量。经过对测量结果的分析对比,得出城市进行电... 城市旅游目的地通过电视广告来树立良好形象成为时下的热门。文章以电视广告的经济效果为研究侧重点,以山东省内6个城市作为调查研究对象,采用广告效果指数分析方法来对其进行经济效果的测量。经过对测量结果的分析对比,得出城市进行电视广告宣传要把握好三个环节:城市定位、广告制作以及广告形式的整合宣传。 展开更多
关键词 城市旅游目的地 AEI 电视广告
关于提高局口车号自动识别系统识别率的改进方案 预览
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作者 邵泽宽 《西安铁路职业技术学院学报》 2011年第2期 14-16,共3页
局口车号AEI设备处于非常重要的地位,局口车号AEI设备必须保证对列车100%识别。目前局口车号AEI设备仍时有报文丢失现象发生。本文提出了在现有设备基础上的增加数据筛选计算机改进方案,来提高局口车号AEI设备的识别率,资金投入少... 局口车号AEI设备处于非常重要的地位,局口车号AEI设备必须保证对列车100%识别。目前局口车号AEI设备仍时有报文丢失现象发生。本文提出了在现有设备基础上的增加数据筛选计算机改进方案,来提高局口车号AEI设备的识别率,资金投入少,效果明显。 展开更多
关键词 局口车号 AEI 识别率 数据筛选
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新能源材料 预览
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《新材料产业》 2011年第3期 86-88,共3页
全球光伏模件材料需求激增 美国Linx—AEI咨询公司和国际半导体设备材料产业协会(SEMI)发布的最新报告显示,受全球经济逐步回暧、太阳能市场需求强劲增长的刺激,2015年全球多晶硅和薄膜光伏模件材料市场总值将达到169亿美元,比201... 全球光伏模件材料需求激增 美国Linx—AEI咨询公司和国际半导体设备材料产业协会(SEMI)发布的最新报告显示,受全球经济逐步回暧、太阳能市场需求强劲增长的刺激,2015年全球多晶硅和薄膜光伏模件材料市场总值将达到169亿美元,比2010年的65亿美元增长逾1倍。 展开更多
关键词 新能源材料 半导体设备 材料产业 咨询公司 全球经济 市场需求 材料市场 AEI
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基于CAN总线的铁路车号自动识别系统AEI与CPS的通信实现 预览
15
作者 李鸿喜 朱剑辉 《经济技术协作信息》 2010年第17期 218-219,共2页
以铁路车号自动识别系统中多个AEI的应用需求为背景,引入了一种具有通用性的通信连接方法,利用CAN总线实现CPS与多个AEI的实时通信。对CAN总线优点进行了说明,介绍了通信实现的硬件结构和通信中使用的协议格式及涵义。给出了通信的... 以铁路车号自动识别系统中多个AEI的应用需求为背景,引入了一种具有通用性的通信连接方法,利用CAN总线实现CPS与多个AEI的实时通信。对CAN总线优点进行了说明,介绍了通信实现的硬件结构和通信中使用的协议格式及涵义。给出了通信的总体流程图和程序实现的关键代码说明以及程序实现中应该注意的问题。 展开更多
关键词 CAN总线 AEI CPS
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AEI结构杂原子磷铝分子筛的合成、表征及MTO催化性能 预览 被引量:4
16
作者 龚绍峰 王永睿 慕旭宏 《石油学报(石油加工)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第A02期 14-18,共5页
采用水热法合成了杂原子Co、Mn、Mg、Si取代的AlPO4-18(AEI结构)分子筛。采用XRD、NH3-TPD、DTA方法对其进行表征,并以甲醇制烯烃(MTO)反应评价其催化活性。结果表明,杂原子Co、Mn、Mg、Si取代的AlPO4-18分子筛热稳定性较AlPO4-18稍... 采用水热法合成了杂原子Co、Mn、Mg、Si取代的AlPO4-18(AEI结构)分子筛。采用XRD、NH3-TPD、DTA方法对其进行表征,并以甲醇制烯烃(MTO)反应评价其催化活性。结果表明,杂原子Co、Mn、Mg、Si取代的AlPO4-18分子筛热稳定性较AlPO4-18稍差,但骨架破坏温度仍在1380 K以上。AlPO4-18分子筛的酸性会随着杂原子的取代而增强,其中Si的取代使分子筛酸性增强最多。在1033 K、100%水蒸气处理下,杂原子磷铝分子筛具有较好的水热稳定性,但随着水热处理时间延长,结晶度缓慢降低,骨架破坏并转变为无定形。CoAPO-18、MnAPO-18、MgAPO-18和SAPO-18分子筛都具有一定的MTO催化性能,其中CoAPO-18催化性能最好,甲醇转化率、丙烯收率和乙烯收率分别达到100%、49.79%、24.5%。 展开更多
关键词 AEI 杂原子 磷铝分子筛 MTO反应 表征 合成
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浅析车辆厂(段)出入口管理专用AEI设备 预览
17
作者 郭志远 刘为民 《哈尔滨铁道科技》 2009年第3期,共2页
介绍了车辆厂(段)出入口管理专用AEI设备的特点,重点解决了车辆厂(段)出入口驶入驶出车辆普遍存在的减速、停车、倒车以及在设备上反复调车作业等情况的判别,提高信息读取的准确性,结构上采用露天式设计,安装在轨边,减少了工程造价和施... 介绍了车辆厂(段)出入口管理专用AEI设备的特点,重点解决了车辆厂(段)出入口驶入驶出车辆普遍存在的减速、停车、倒车以及在设备上反复调车作业等情况的判别,提高信息读取的准确性,结构上采用露天式设计,安装在轨边,减少了工程造价和施工难度。 展开更多
关键词 AEI 厂段出入口 调车 自动识别 射频
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新一代编组站综合自动化机车和车辆实时跟踪技术的研究 预览 被引量:2
18
作者 王健 张书杰 +1 位作者 张朴 唐祯敏 《铁道通信信号》 2008年第4期 11-13,共3页
编组站机车和车辆实时跟踪技术是编组站作业的技术难题。以往的车辆跟踪主要靠人工判断核对,准确性和实时性不能令人满意,新一代编组站综合自动化实现了多种信息的实时共享,为机车和车辆实时跟踪提供了可能,极大地推动了车辆实时跟踪技... 编组站机车和车辆实时跟踪技术是编组站作业的技术难题。以往的车辆跟踪主要靠人工判断核对,准确性和实时性不能令人满意,新一代编组站综合自动化实现了多种信息的实时共享,为机车和车辆实时跟踪提供了可能,极大地推动了车辆实时跟踪技术的发展。 展开更多
关键词 编组站 机车和车辆跟踪 自动识别设备
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梅钢运输部车号自动识别系统的设计应用 预览
19
作者 吴荣 《梅山科技》 2007年第B09期 8-12,22,共6页
车号自动识别系统采用射频识别技术,实现铁路货车标签自动采集,准确记录相应的车号信息,同时与计算机技术相结合,可经过计算机软件查看、管理这些信息。梅钢运输部根据现状,将车号识别系统合理的设计应用,通过软硬件相地合的方式... 车号自动识别系统采用射频识别技术,实现铁路货车标签自动采集,准确记录相应的车号信息,同时与计算机技术相结合,可经过计算机软件查看、管理这些信息。梅钢运输部根据现状,将车号识别系统合理的设计应用,通过软硬件相地合的方式实现了对进出厂路车在企业内部的实时跟踪,避免了手工抄录产生的错误,并为其他信息系统提供了精确的数据源,更全面的完善了梅钢运输部的信息化系统。 展开更多
关键词 车号 射频识别 标签 天线 微波反射 AEI CPS
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聚集经济效应与城市经济增长比较分析——基于“长三角”的实证 预览 被引量:3
20
作者 曾光 《湖北经济学院学报》 2007年第5期 72-75,共4页
经济要素在地理空间上的聚集和区域经济增长之间具有强烈的正相关性,随着新经济地理学的兴起。对两者之间关系的实证研究重新成为热点。本文结合不同学派对聚集经济效应的产生原因和发展机理的认识,从聚集经济效应对城市经济增长影响... 经济要素在地理空间上的聚集和区域经济增长之间具有强烈的正相关性,随着新经济地理学的兴起。对两者之间关系的实证研究重新成为热点。本文结合不同学派对聚集经济效应的产生原因和发展机理的认识,从聚集经济效应对城市经济增长影响的角度,构建了聚集经济效应指数,并以长三角为研究对象,对地区内部三大区域的城市聚集经济效应对经济增长促进作用进行了比较研究。 展开更多
关键词 聚集经济效应 经济增长 AEI 比较研究 长三角
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