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2kW射频板条CO2激光器电极表面膜特性研究
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作者 杨卫红 张雪 李建东 《应用激光》 CSCD 北大核心 2019年第1期136-142,共7页
国内高功率射频板条CO2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率。针对以上问题,课题组研制了Al+Al2O3混合波导介质膜,对该电极膜层进行了成分分析,测... 国内高功率射频板条CO2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率。针对以上问题,课题组研制了Al+Al2O3混合波导介质膜,对该电极膜层进行了成分分析,测试了抗电子溅射能力,检测了膜层表面对CO2光波反常色散特性。结果表明,镀膜层主要成分为Al和O,原子数Al∶O远大于2∶3,膜层结构为Al+Al2O3,满足电极镀膜层结构设计。测试了不同角度下的反射率,在掠入射角为10°~170°时,Al2O3膜层对波长10.6μm CO2光波的最高反射率为85%。Al2O3镀膜电极2 kW射频板条CO2激光器,电光转换效率平均为10.4%;裸铜电极2 kW射频板条CO2激光器,平均电光转换效率为6.5%。 展开更多
关键词 射频板条CO2激光器 Al+Al2O3波导介质膜 受激光电子溅射 激光损伤 波导损耗
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