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天光一号预放大器自动准直技术研究 预览
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作者 李静 王钊 +2 位作者 胡凤明 高智星 田宝贤 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1112-1116,共5页
天光一号高功率KrF准分子激光装置采用光学角多路实现了六束激光的主振荡功率放大,其光路复杂,人工调节繁琐,指向精度难以保证,且激光波长为248nm,属于深紫外波段,无法采用常用的光束自动准直方法。为了保障六束激光聚焦叠加并稳定精准... 天光一号高功率KrF准分子激光装置采用光学角多路实现了六束激光的主振荡功率放大,其光路复杂,人工调节繁琐,指向精度难以保证,且激光波长为248nm,属于深紫外波段,无法采用常用的光束自动准直方法。为了保障六束激光聚焦叠加并稳定精准地照射到靶面上,需开展适合天光一号装置激光参数及光路特性的自动准直技术研究。本文以预放大器三束输入、输出光路为研究对象,探索适合天光一号装置的自动准直方法,建立了预放大器光路自动准直系统,实现了快速、高精度光束的调节,验证了自动准直方案的可行性,为天光一号KrF准分子激光装置实现全光路自动准直奠定了技术基础。 展开更多
关键词 KRF准分子激光 自动准直 预放大器
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通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出(英文) 被引量:1
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作者 邱红松 游利兵 +2 位作者 王庆胜 尹广玥 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期296-300,共5页
分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与的三体碰撞过程... 分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系。当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F_2:He:Kr:Ne=0.315:5.985:19.5:305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64%. 展开更多
关键词 激光技术 KrF准分子激光器 气体分压优化 气体混合物 缓冲气体
准分子激光辐照K9玻璃的热力效应分析 预览 被引量:3
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作者 王玺 方晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期11-16,共6页
基于传热学理论,利用有限元法对KrF准分子激光辐照K9玻璃样品中的热力效应进行了数值分析,并比较了脉冲数目和重频对损伤效果的影响.研究表明,较低的准分子激光能量就能够使K9玻璃在表面和体内产生热应力损伤,热应力损伤在光斑区域内主... 基于传热学理论,利用有限元法对KrF准分子激光辐照K9玻璃样品中的热力效应进行了数值分析,并比较了脉冲数目和重频对损伤效果的影响.研究表明,较低的准分子激光能量就能够使K9玻璃在表面和体内产生热应力损伤,热应力损伤在光斑区域内主要由压缩热应力控制,在光斑边缘和材料内部则主要由拉伸热应力控制.在激光脉冲结束时刻,产生的温度和热应力最大,且热应力以热冲击波的形式在材料内传播,随时间变化而来回振荡,逐渐减弱.这种热应力的反复冲击会对材料产生持续的损伤增长效应,增加了材料的损伤时间,并使材料更容易断裂.脉冲数目和重复频率对损伤效果有着较大影响,在高重复频率下,损伤累积效应明显. 展开更多
关键词 激光损伤 数值分析 KRF准分子激光 K9玻璃
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KrF激光照射约束层靶驱动产生高速飞片研究 预览
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作者 殷倩 汤秀章 +3 位作者 李业军 王钊 田宝贤 张品亮 《航天器环境工程》 2016年第3期300-304,共5页
微小空间碎片的超高速撞击对航天器性能有重要影响.为了研究撞击损伤机制,在“天光一号”装置上开展了KrF 准分子激光照射约束层靶产生高速飞片的实验研究,利用成像速度干涉仪(Imaging一VISAR)对飞片自由面速度进行诊断.采用1.9 J 准... 微小空间碎片的超高速撞击对航天器性能有重要影响.为了研究撞击损伤机制,在“天光一号”装置上开展了KrF 准分子激光照射约束层靶产生高速飞片的实验研究,利用成像速度干涉仪(Imaging一VISAR)对飞片自由面速度进行诊断.采用1.9 J 准分子激光将10 μm 的Al 飞片加速至12 km/s,且整个过程为准等熵加载.研究结果表明准等熵加载下激光能量转化为飞片动能的效率(达39.4%)比冲击加载要高得多,飞片速度也高于后者. 展开更多
关键词 KRF准分子激光 空间碎片模拟 约束层靶 高速飞片 能量转化效率 试验研究
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激光均匀性对冲击波平面性的影响 预览
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作者 李业军 田宝贤 +3 位作者 王钊 梁晶 韩茂兰 汤秀章 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期691-695,共5页
利用两种方法研究了激光空间均匀性对冲击波平面性的影响。一种是根据冲击波在靶背卸载辐射可见光的平面性来判断冲击波平面性;另一种是基于成像型速度干涉仪测量的靶背自由面速度变化引起干涉条纹跃变间断面的平面性判断冲击波平面性,... 利用两种方法研究了激光空间均匀性对冲击波平面性的影响。一种是根据冲击波在靶背卸载辐射可见光的平面性来判断冲击波平面性;另一种是基于成像型速度干涉仪测量的靶背自由面速度变化引起干涉条纹跃变间断面的平面性判断冲击波平面性,同时由条纹移动后持续时间了解流体力学不稳定性演化情况。研究表明,不均匀性为2%的激光驱动的冲击波平面性较好,能发射高速飞片,且飞片具有很好的平面性与完整性;不均匀性为5%的激光产生的冲击波平面性很差,不能发射完整的高速飞片。说明激光均匀性对冲击波平面性具有决定性的影响。 展开更多
关键词 KRF准分子激光 激光均匀性 冲击波平面性 流体力学不稳定性
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氧化锌脱膜和激光刻蚀制备亚微米自支撑聚酰亚胺薄膜及其性能 预览
6
作者 刘仁臣 吴永刚 夏子奂 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1349-1353,共5页
探讨小于1μm自支撑聚酰亚胺薄膜的制备及其性能。以稀盐酸为腐蚀剂,对涂于氧化锌衬底上的聚酰胺酸薄膜进行剥离,经热亚胺转化为聚酰亚胺薄膜,再用准分子激光对其刻蚀减薄。采用原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪和分光光度计对薄... 探讨小于1μm自支撑聚酰亚胺薄膜的制备及其性能。以稀盐酸为腐蚀剂,对涂于氧化锌衬底上的聚酰胺酸薄膜进行剥离,经热亚胺转化为聚酰亚胺薄膜,再用准分子激光对其刻蚀减薄。采用原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪和分光光度计对薄膜的微观结构和光谱性能进行了表征。结果表明,以室温下溅射的氧化锌薄膜为脱膜剂,制备了厚度约950nm的白支撑薄膜,而激光刻蚀使聚酰亚胺薄膜厚度减薄至150nm2厚度分别为950和150nm薄膜的红外谱中均出现了聚酰亚胺特征吸收峰(1775、1720、1380和725cm2),且两者在400~2500nm范围的平均透过率分别为80.3%和83.5%。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 KRF准分子激光 热亚胺化 氧化锌 薄膜
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适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法 预览 被引量:1
7
作者 向益淮 汤秀章 +1 位作者 S.Szatmari B.Janos 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期 1381-1384,共4页
为了增加靶上的功率密度和耦合效率,基于饱和增益开关原理,发展了一种适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法。利用该方法,在赛格德大学的一台放电泵浦KrF准分子激光器上进行了实验,将该激光器输出的脉宽为14.5ns的放大自发辐射光... 为了增加靶上的功率密度和耦合效率,基于饱和增益开关原理,发展了一种适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法。利用该方法,在赛格德大学的一台放电泵浦KrF准分子激光器上进行了实验,将该激光器输出的脉宽为14.5ns的放大自发辐射光束压缩到了7.5ns,并且保持了光束原有的均匀性。 展开更多
关键词 KRF准分子激光 放大自发辐射 脉宽压缩 光束均匀性
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储存环自由电子激光器与KrF激光器激光谐振腔腔镜研制 被引量:1
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作者 高怀林 王乃彦 单玉生 《高能物理与核物理》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期99-103,共5页
惯性约束核聚变氟化氪激光驱动器与储存环自由电子激光器,虽然其激光产生机理完全不同,但是它们对于激光谐振腔光学膜系的要求却几乎完全相同.新研制的Al2O3/SiO2/MgF2'双氧化物+单氟化物'紫外光学膜系,在248nm中心波长处,它的... 惯性约束核聚变氟化氪激光驱动器与储存环自由电子激光器,虽然其激光产生机理完全不同,但是它们对于激光谐振腔光学膜系的要求却几乎完全相同.新研制的Al2O3/SiO2/MgF2'双氧化物+单氟化物'紫外光学膜系,在248nm中心波长处,它的光学透射率测量值为0.27%-0.71%,反射率的计算值为96.5%,其光谱带宽为22.6nm.在脉冲宽度为23ns的KrF激光照射下,它的抗激光损伤阈值达到(5.36±O.30)J/cm2,是可用于储存环紫外波长自由电子激光研究与数千焦耳数量级高能、高功率KrF激光驱动器研究的高破坏阈值紫外光学膜系. 展开更多
关键词 激光谐振腔 自由电子激光器 KRF激光 破坏阈值 膜系 氟化氪 中心波长 光学 高能 光谱带宽
锗掺杂二氧化硅膜的紫外光致折变 预览 被引量:1
9
作者 张乐天 王健 +4 位作者 郑杰 李爱武 钱颖 郑伟 张玉书 《吉林大学学报:工学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期 547-550,共4页
研究了用火焰水解法制备的掺锗二氧化硅膜在KrF紫外激光下曝光后的结构和光学性质的变化.经过10 min的照射后,在1550 nm处的折射率变化大约为3.41×10-3.采用原子力显微镜分析了曝光过程及膜的表面形貌.结果表明:随着曝光时间的延长... 研究了用火焰水解法制备的掺锗二氧化硅膜在KrF紫外激光下曝光后的结构和光学性质的变化.经过10 min的照射后,在1550 nm处的折射率变化大约为3.41×10-3.采用原子力显微镜分析了曝光过程及膜的表面形貌.结果表明:随着曝光时间的延长,膜的致密性增加,表面粗糙度下降,折射率增大. 展开更多
关键词 材料失效与保护 锗硅 火焰水解法 KRF激光 折射率
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248nm深紫外光刻胶 预览 被引量:4
10
作者 郑金红 黄志齐 侯宏森 《感光科学与光化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期 346-356,共11页
本文从化学增幅技术的产生,深紫外248 nm胶主体树脂及PAG发展历程、溶解抑制剂、存在的工艺问题及解决途径多个方面综述了深紫外248 nm胶的发展与进步.
关键词 化学增幅 KRF激光 深紫外光刻 248 nm光刻胶 主体树脂 酸催化 光致产酸剂
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KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究 预览 被引量:6
11
作者 江超 王又青 《电加工与模具》 2003年第2期 33-35,共3页
采用波长248nm的KrF准分子激光器对K9光学玻璃的精密微细加工进行了研究,探讨了准分子激光与玻璃的相互作用机理.进行了表面切割和打孔实验,研究了激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律,对加工后的工件表面形貌进行了分析.
关键词 准分子激光器 激光烧蚀 激光精密加工 激光切割 激光打孔 光学玻璃
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248nm KrF准分子激光精密加工Al2O3的实验研究 预览 被引量:3
12
作者 江超 王又青 +1 位作者 胡少六 李波 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期 59-61,共3页
本文采用波长248nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律.同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响,并且对加工后工件的表面形貌进行了分析.
关键词 KrF准分子激光器 精密加工 工艺研究 氧化铝陶瓷
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利用拉曼散射测量燃烧场的组分浓度及温度 被引量:9
13
作者 刘建胜 刘晶儒 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期1263-1267,共5页
介绍了利用拉曼散射测量燃烧流场温度及组分浓度的物理方法和实验测量结果。利用可调谐KrF准分子激光激发振动拉曼散射(VRS)测量了甲烷-空气燃烧火焰内不同空间的主要组分分子(CH4、N2、O2、H2O等)浓度及温度,测量误差小于10%;... 介绍了利用拉曼散射测量燃烧流场温度及组分浓度的物理方法和实验测量结果。利用可调谐KrF准分子激光激发振动拉曼散射(VRS)测量了甲烷-空气燃烧火焰内不同空间的主要组分分子(CH4、N2、O2、H2O等)浓度及温度,测量误差小于10%;另外用N2的拉曼谱拟合测量了火焰的温度,测量精度高于5%。在实验中采用了偏振技术及波长调谐提高了信噪比和测量精度。 展开更多
关键词 拉曼散射 燃烧场 温度 浓度
轴向绝缘大面积二极管的研制 预览 被引量:1
14
作者 马维义 周坤刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期 277-280,共4页
介绍了“天光一号”主放大器中的轴向绝缘大面积二极管的设计、机械结构及其特性的实验研究。结果表明,二极管能稳定的工作在峰值电压600kV以上,电流密度能够达到80A/cm2,脉宽(FWHM)220ns,电子束总束能超过... 介绍了“天光一号”主放大器中的轴向绝缘大面积二极管的设计、机械结构及其特性的实验研究。结果表明,二极管能稳定的工作在峰值电压600kV以上,电流密度能够达到80A/cm2,脉宽(FWHM)220ns,电子束总束能超过25kJ。 展开更多
关键词 KRF 准分子激光器 轴向绝缘 大面积 二极管
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KrF准分子激光激发掺锗光纤折射率扰动的非线性过程 预览
15
作者 江毅 陈伟民 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期 46-50,共5页
本文采用一种简单的功率监测法,观察了KrF准分子激光对掺锗光纤折射率影响的非线性过程,观察到子纤芯折射率扰动过程的非稳定现象,饱和现象和折射率扰动的非线性。
关键词 KRF激光 掺锗 光纤 折射率扰动
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用于光刻的小型KrF准分子激光器及光学系统 预览
16
作者 张兆平 马树森 《量子电子学报》 CAS CSCD 1997年第3期 236-239,共4页
本文报道了用于半导体光刻的一体化小型KrF准分子激光器及光学系统的性能。
关键词 准分子激光器 光斑均匀性 光刻
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“天光”一号MOPA系统光学元件加工与镀膜的进展
17
作者 高怀林 单玉生 《光学技术》 CAS CSCD 1997年第6期23-26,共4页
本文阐述了在中国原子能科学研究院“天光一号”KrF激光核聚变实验装置上,MOPA系统光学元件加工镀膜研究工作的进展。实验测量结果表明,加工后的基片表面均方根粗糙度对于K9光学玻璃与熔融石英玻璃来说分别为σrms=1.... 本文阐述了在中国原子能科学研究院“天光一号”KrF激光核聚变实验装置上,MOPA系统光学元件加工镀膜研究工作的进展。实验测量结果表明,加工后的基片表面均方根粗糙度对于K9光学玻璃与熔融石英玻璃来说分别为σrms=1.8±0.55nm,σrms=2.0±0.04nm。镀HfO2/SiO2高反射膜的光学元件的反射率与破坏阀值分别为R〉99.5%,Eth=1.30-1.33J/cm^2。镀Al2O3/M 展开更多
关键词 激光 光学镀膜 破坏阀值 光学元件加工 薄膜
百焦耳级KrF准分子激光实验 预览
18
作者 刘晶儒 袁孝 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1996年第3期 465-467,共3页
介绍闪光Ⅱ号加速器泵浦的百焦耳级氟化氢激光研制情况,给出了激光器的构造和主要性能。在二极管电压为840kV,电流为200KA条件下,获得了157J的最大激光能量,峰值功率为2.0GW。研究了激光输出能量随F2和Kf气... 介绍闪光Ⅱ号加速器泵浦的百焦耳级氟化氢激光研制情况,给出了激光器的构造和主要性能。在二极管电压为840kV,电流为200KA条件下,获得了157J的最大激光能量,峰值功率为2.0GW。研究了激光输出能量随F2和Kf气体浓度的变化规律. 展开更多
关键词 准分子激光 电子束泵浦 激光实验 氟化氪
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用于光刻的KrF准分子激光器 被引量:2
19
作者 谷怀民 赵震声 《应用激光》 CSCD 北大核心 1995年第1期 22-25,共4页
我们研制了一台用于光刻的KrF准分子激光器(248nm),单脉冲能量200mJ平均功率5 ̄9W,能量不稳定度〈±5%,脉宽35ns,线宽0.52nm,重复频率0.5 ̄100Hz,单次充气寿命〉5×10^5次脉... 我们研制了一台用于光刻的KrF准分子激光器(248nm),单脉冲能量200mJ平均功率5 ̄9W,能量不稳定度〈±5%,脉宽35ns,线宽0.52nm,重复频率0.5 ̄100Hz,单次充气寿命〉5×10^5次脉冲数,储气寿命约一个月,近场光斑尺寸8mm×20mm,性能指标和光束的均匀性满足了光刻的要求。 展开更多
关键词 KRF 激光器 准分子激光器 光刻 工艺
KrF激光在氢—惰性气体体系中的反斯托克斯拉曼转换
20
作者 霍芸生,丁爱臻 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期604-606,共3页
通过氢-惰性气体体系中惰性气体分子对氢拉曼能级的碰撞加宽所引起的对拉曼增益系数的控制,抑制了由一阶向二阶斯托克斯的受激光拉曼转换,提高了低阶反斯托克斯拉曼转换的效率。
关键词 KRF激光 受激拉曼转换 散射 氢气 惰性气体
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