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MOCVD原位监测系统的设计与实现 预览
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作者 徐龙权 许冬 +1 位作者 刘新卫 方颂 《华侨大学学报:自然科学版》 北大核心 2018年第2期210-213,共4页
设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统,采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机,采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台,且具有良好的人机交互界面.应用... 设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统,采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机,采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台,且具有良好的人机交互界面.应用于自主研发的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)设备,测试结果表明:该设计具有采集数据准确、通信快速稳定、人机界面友好、程序运行流畅的特点,完全符合工程控制要求. 展开更多
关键词 原位监测 TSM320F28335 金属有机化合物化学气相沉积 数据采集 数据处理 人机界面
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