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6H-SiC单晶紫外光催化抛光中光照方式和磨料的影响 预览
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作者 路家斌 熊强 +2 位作者 阎秋生 王鑫 宾水明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第3期29-37,共9页
研究紫外光辅助催化抛光6H-SiC单晶。用分光光度法定性检测不同光催化反应时间下甲基橙颜色变化和羟基自由基(·OH)浓度,研究无光照、光照抛光盘、光照抛光液3种光照方式及金刚石、碳化硅、二氧化硅、二氧化钛、硅溶胶5种磨料对6H-... 研究紫外光辅助催化抛光6H-SiC单晶。用分光光度法定性检测不同光催化反应时间下甲基橙颜色变化和羟基自由基(·OH)浓度,研究无光照、光照抛光盘、光照抛光液3种光照方式及金刚石、碳化硅、二氧化硅、二氧化钛、硅溶胶5种磨料对6H-SiC单晶抛光的影响。结果表明:随着光照时间增加,·OH浓度增加;在3种光照方式下,不同磨料的材料去除率(MRR)均呈现光照抛光液>光照抛光盘>无光照的规律,且光照抛光液时的MRR比无光照时的MRR提升了18%~58%。随磨料硬度降低,光催化辅助作用对MRR的提高幅度升高,即紫外光催化辅助作用越明显;金刚石、碳化硅、二氧化硅、硅溶胶4种磨料抛光后的表面粗糙度都随MRR的增大而减小,但二氧化钛磨料的则相反,原因是二氧化钛磨料同时兼作光催化剂,增强了SiC表面的化学反应速率,使其化学反应速率大于机械去除速率。 展开更多
关键词 紫外光催化辅助抛光 6H-SiC单晶 羟基自由基 光照方式 磨料
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Optimization of Input Parameters of AWJM: Using Three Different Abrasives on MS2062 预览
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作者 Kusnurkar S.V J.S.Sidhu 《非金属材料科学(英文)》 2019年第1期28-38,共11页
The objective of this work is to optimize input parameters of AWJM (Abrasive Water Jet Machining) such as Nozzle Transverse Speed (NTS), Abrasive Flow Rate (AFR) and Stand-off Distance (SOD) using three different abra... The objective of this work is to optimize input parameters of AWJM (Abrasive Water Jet Machining) such as Nozzle Transverse Speed (NTS), Abrasive Flow Rate (AFR) and Stand-off Distance (SOD) using three different abrasives Garnet, Brown Fused Alumina and White Aluminum Oxide on MS2062 and to compare their performance with surface finish, MRR and kerf angle. Experiments were conducted according to Taguchi’s design of experiments. Analysis of variance is conducted to investigate the influence of each parameter on responses Three controllable parameters of three levels are applied for determining the optimal responses The results revealed that NTS is a most significant factor for MRR among three abrasives followed by AFR and SOD, with regards to surface finish and MRR White Aluminum Oxide has emerged as a most strong abrasive followed by Brown Fused Alumina and Garnet. It is recommended, to achieve the better surface finish, less kerf angle and good MRR White Aluminum Oxide be used in place of Garnet which is mostly used by the industry today. 展开更多
关键词 GARNET White aluminum oxide Brown FUSED alumina NOZZLE transverse speed Abrasive flow Rate Standoff distance KERF angle MRR Taguchi ANOVA
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Manufacture and characteristics of Al2O3 composite coating on steel substrate by SHS process
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作者 Hai-Dong Gao Ze-Hua Wang Jia Shao 《稀有金属:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第7期704-712,共9页
Many steel components are needed to be reinforced on their surface to have a high abrasive resistance and corrosion resistance. Based on self-propagating hightemperature synthesis, a process to making Al2O3 composite ... Many steel components are needed to be reinforced on their surface to have a high abrasive resistance and corrosion resistance. Based on self-propagating hightemperature synthesis, a process to making Al2O3 composite coatings on mild steel substrate in atmospheric environment with the help of simple auxiliary facilities was developed successfully. A pre-coated bilayer coating was employed. The effects of Fe content in pre-coated transition layer on phase composition, porosity and interfacial bon ding were studied using scanning electron microscopy (SEM), energy-dispersive spectrum (EDS) and X-ray diffraction (XRD). The thermal shock resistance and abrasive resistance were investigated. When Fe content changes from 0 wt% to 50 wt%, the bond quality at first becomes better and then worse gradually. When Fe content is less 20 wt%, there is a small gap between the transition layer and the substrate;when Fe contents are 30 wt% and 40 wt%, working layer, the transition layer and the substrate bond together well. The working layer is mainly composed of Al2O3, Fe-Cr and Al(Cr)2O3 phases and has a dense structure with porosity of less than 1 %. The coating has a good thermal shock resistance and abrasive resistance. The abrasive resistance of the working layer is about ten times that of the substrate. 展开更多
关键词 AL2O3 composite coating Self-propagating high-temperature synthesis INTERFACIAL BONDING Thermal shock RESISTANCE ABRASIVE RESISTANCE
一种用于磨料载体纺织品的新型水性胶乳分散体 预览
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作者 Michael Karnop S.Butz +1 位作者 周美会(译) 罗艳(校) 《国际纺织导报》 2019年第5期34-36,共3页
水性胶乳分散体在研磨过程中赋予工业研磨剂纺织品基材重要的性能,如柔韧性、耐热性和耐久性。得益于其组成中更高的乳胶固含量及优化的粒径分布,三元共聚物(如Acralen SNX)可为由金属、木材和石材等制成的材料的机械研磨提供更好的性能。
关键词 磨料 水性胶乳分散体 力学性能
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磁性磨料研磨技术专利分析 预览
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作者 刘娇 吕文权 《科技创新与应用》 2019年第26期16-17,共2页
文章基于CNABS和DWPI专利数据库,对全球范围内的磁性磨料研磨(MAF,Magnetic Abrasive Finishing)技术专利文献进行检索和分析,针对专利申请量年度分布、申请区域分布及技术发展演进路线进行统计和分析.
关键词 磁性 磨料 研磨 专利 分析
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溶胶-凝胶抛光膜中磨料-基体界面结合强度分析 预览
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作者 俞能跃 陆静 《华侨大学学报:自然科学版》 CAS 北大核心 2019年第4期510-514,共5页
对粒径分别为40,3μm的金刚石磨料进行不同的表面处理,通过测量拉伸强度,以及扫描电子显微镜、红外光谱等方法分析表面处理对界面结合强度的影响.研究表明:在粒径为40μm的金刚石表面镀钛并氧化处理后,界面结合强度提升20%;在粒径为3μ... 对粒径分别为40,3μm的金刚石磨料进行不同的表面处理,通过测量拉伸强度,以及扫描电子显微镜、红外光谱等方法分析表面处理对界面结合强度的影响.研究表明:在粒径为40μm的金刚石表面镀钛并氧化处理后,界面结合强度提升20%;在粒径为3μm的金刚石表面涂覆FeOOH,界面结合强度不会出现明显的变化. 展开更多
关键词 磨料 界面结合 拉伸强度 表面处理
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微米γ-Al2O3高压相变制备亚微米α-Al2O3 预览
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作者 仝斐斐 王海阔 +3 位作者 董丙舜 侯志强 杨亚楠 谌云鹏 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2019年第2期32-36,共5页
采用微米γ-Al2O3为原料,利用国产铰链式六面顶压机,在5GPa压强下,经不同的温度和保温时间,实现了由γ-Al2O3向α-Al2O3的相转变。X射线衍射分析结果表明,得到的粉体和块体材料中均仅含α-Al2O3单相;扫描电镜结果显示合成的α-Al2O3最... 采用微米γ-Al2O3为原料,利用国产铰链式六面顶压机,在5GPa压强下,经不同的温度和保温时间,实现了由γ-Al2O3向α-Al2O3的相转变。X射线衍射分析结果表明,得到的粉体和块体材料中均仅含α-Al2O3单相;扫描电镜结果显示合成的α-Al2O3最小晶粒尺寸为80nm。在5GPa压强、800℃条件下合成的样品平均晶粒尺寸为340nm,实现了用微米γ-Al2O3高压相变制备亚微米α-Al2O3。与常压烧结方法相比,采用高温高压烧结,可在600℃实现γ-Al2O3向α-Al2O3的转变,显著降低α-Al2O3材料的合成温度。 展开更多
关键词 高温高压 Γ-AL2O3 Α-AL2O3 磨料
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高温磨粒条件下氟橡胶圈摩擦特性研究 预览
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作者 冯颖亮 周琴 +2 位作者 张凯 秦坤 李帅帅 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2019年第8期13-22,共10页
为研究井下高温与磨粒环境对氟橡胶(FKM)密封性能的影响,对氟橡胶圈进行100~200℃的高温处理,同时以304不锈钢和氟橡胶为摩擦副,在高温及无磨粒和有磨粒条件下开展氟橡胶摩擦特性研究,并使用扫描电镜(SEM)观察橡胶表面的磨痕,使用光镜... 为研究井下高温与磨粒环境对氟橡胶(FKM)密封性能的影响,对氟橡胶圈进行100~200℃的高温处理,同时以304不锈钢和氟橡胶为摩擦副,在高温及无磨粒和有磨粒条件下开展氟橡胶摩擦特性研究,并使用扫描电镜(SEM)观察橡胶表面的磨痕,使用光镜观测不锈钢表面的磨痕。结果表明:随着氟橡胶试件处理温度的增加,其摩擦因数变化范围随之减小;在有磨粒条件下,随着氟橡胶处理温度的增加,橡胶表面的磨痕由划痕为主转变为凹坑为主,304不锈钢表面的磨痕由以犁沟为主转变为凹坑为主,这是因为,氟橡胶处理温度增加,橡胶表面硬度等性能发生了不同变化,摩擦过程中使磨粒发生不同程度的破裂,且使磨粒的主要运动形式发生改变,因而在氟橡胶和304不锈钢表面产生了不同的磨痕。 展开更多
关键词 氟橡胶圈 高温 磨粒 摩擦机制
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Crystalline texture evolution,control of the tribocorrosion behavior,and significant enhancement of the abrasion properties of a Ni-P nanocomposite coating enhanced by zirconia nanoparticles 预览
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作者 Masoud Sabzi Saeid Mersagh Dezfuli Zohre Balak 《矿物冶金与材料学报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第8期1020-1030,共11页
This paper describes an investigation of the effect of ZrO2 nanoparticles on the abrasive properties,crystalline texture developments,and tribocorrosion behavior of Ni-P nanostructured coatings.In the investigation,Ni... This paper describes an investigation of the effect of ZrO2 nanoparticles on the abrasive properties,crystalline texture developments,and tribocorrosion behavior of Ni-P nanostructured coatings.In the investigation,Ni-P and Ni-P-ZrO2 nanostructured coatings are deposited on St52 steel via the electroless method.Transmission electron microscopy(TEM),field emission scanning electron microscopy(FE-SEM),X-ray diffraction(XRD),energy dispersive spectroscopy(EDS),cyclic-static polarization tests in 3.5wt%NaCl solution,the tribocorrosion test(by back-and-forth wear in electrochemical cell),and the microhardness test using the Vickers method were performed to characterize and analyze the deposited coatings.The results of this study showed that the addition of ZrO2 nanoparticles to the Ni-P electroless bath produced the following:a sharp increase in wear and hardness resistance,the change of the wear mechanism from sheet to adhesive mode,the reduction of pitting corrosion resistance,significant reduction in the tribocorrosion protective properties,change in the preferred orientation of the crystalline texture coating from(111)to(200),increase in the sedimentation rate during the deposit process,and a sharp increase in the thickness of the Ni-P nanostructured coatings. 展开更多
关键词 NI-P nanocomposite coatings ZrO2 nanoparticles CRYSTALLINE texture corrosion resistance abrasive properties TRIBOCORROSION BEHAVIOR
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WC添加对热压铁基预合金粉末胎体性能的影响 预览
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作者 孙吉伟 沈立娜 《探矿工程:岩土钻掘工程》 2019年第3期81-85,共5页
针对孕镶金刚石钻头在强研磨性地层中磨损快、寿命短的问题,利用WC硬度高、润湿性好、耐磨性好的特点,向铁基预合金粉末中添加WC颗粒作为胎体骨架金属。通过测试不同WC含量的胎体试样的硬度、抗冲击韧性以及抗弯强度,寻找骨架金属WC对... 针对孕镶金刚石钻头在强研磨性地层中磨损快、寿命短的问题,利用WC硬度高、润湿性好、耐磨性好的特点,向铁基预合金粉末中添加WC颗粒作为胎体骨架金属。通过测试不同WC含量的胎体试样的硬度、抗冲击韧性以及抗弯强度,寻找骨架金属WC对胎体性能的影响规律。试验结果发现,随着WC含量的逐渐增加,胎体的硬度、抗冲击韧性、抗弯强度均呈现先增大后减小的变化趋势。从微观和能量的角度出发,分析了出现这种规律的原因。最后得出烧结温度为830℃、WC含量为5%时,胎体的性能达到最优,此时胎体的强度和研磨性最大。 展开更多
关键词 WC颗粒 胎体硬度 抗冲击性能 抗弯强度 研磨性 金刚石钻头
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翡翠弧形戒面的抛光工艺 预览
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作者 邹汝用 黄伟志 裴景成 《宝石和宝石学杂志》 CAS 2019年第4期63-70,共8页
翡翠是一种深受人们喜爱的玉石,其戒面的市场需求量很大。但市场上翡翠戒面的抛光质量参差不齐,且与翡翠戒面抛光工艺相关的资料十分有限。通过分别控制细豆种翡翠的粗抛方式(砂纸、油石的选择)、精抛方式(抛光盘、抛光剂的选择),对翡... 翡翠是一种深受人们喜爱的玉石,其戒面的市场需求量很大。但市场上翡翠戒面的抛光质量参差不齐,且与翡翠戒面抛光工艺相关的资料十分有限。通过分别控制细豆种翡翠的粗抛方式(砂纸、油石的选择)、精抛方式(抛光盘、抛光剂的选择),对翡翠戒面抛光工艺进行了研究,运用得到的最佳抛光工艺参数对各种质地翡翠进行抛光验证。结果表明:对翡翠弧形戒面进行粗抛时,选用600、1000、1500目砂纸盘的组合抛光效果最好;精抛时抛光粉选用W2.5、W1.5抛光盘,钻石粉、牛皮盘(或羊毛毡盘)的组合抛光效果最好;各种质地的翡翠戒面经此法粗抛光、精抛光后均能得到良好的抛光效果。 展开更多
关键词 翡翠戒面 抛光工艺 抛光剂 抛光盘 质地
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磨料特性对InP晶片集群磁流变抛光效果的影响 被引量:1
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作者 路家斌 孙世孔 +1 位作者 阎秋生 廖博涛 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第1期32-37,50共7页
对InP晶片进行了集群磁流变抛光实验,研究了抛光过程中磨料参数(类型、质量分数和粒径)对InP材料去除速率和表面粗糙度的影响。实验结果表明,InP晶片的去除速率随磨料硬度的增加而变大,表面粗糙度受磨料硬度和密度的综合影响;在选取的... 对InP晶片进行了集群磁流变抛光实验,研究了抛光过程中磨料参数(类型、质量分数和粒径)对InP材料去除速率和表面粗糙度的影响。实验结果表明,InP晶片的去除速率随磨料硬度的增加而变大,表面粗糙度受磨料硬度和密度的综合影响;在选取的金刚石、SiC、Al2O3和SiO2等4种磨料中,使用金刚石磨料的InP去除速率最高,使用SiC磨料的InP抛光后的表面质量最好。随着SiC质量分数的增加,InP去除速率逐渐增加,但表面粗糙度先减小后增大。当使用质量分数4%、粒径3μm的SiC磨料对InP晶片进行抛光时,InP去除速率达到2.38μm/h,表面粗糙度从原始的33 nm降低到0.84 nm。 展开更多
关键词 INP 磁流变抛光 磨料 表面质量 材料去除速率
Recent Advances in Hole Making of FRP/Metal Stacks:A Review 预览
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作者 CHEN Yan YANG Haojun +2 位作者 XU Jiuhua FU Yucan YAN Chaoren 《南京航空航天大学学报:英文版》 EI CSCD 2019年第3期361-375,共15页
Weight reduction is a key driving force for materials development in aerospace industry,which leads to extensive usage of lightweight structural materials such as fiber reinforced polymer(FRP),titanium alloy,aluminum ... Weight reduction is a key driving force for materials development in aerospace industry,which leads to extensive usage of lightweight structural materials such as fiber reinforced polymer(FRP),titanium alloy,aluminum alloy,etc.Hole making is indispensable to assembling these lightweight components by riveted or bolted joints.However,hole making of FRP / metal stacks is always the most challenging task due to differences of material properties between FRP and metals.A comprehensive literature review on hole making of FRP/metal stacks in the last decade is given with a focus on four main aspects including drilling operation,drilling damages and machining parameter optimization,tool performance and wear,and developments in hole making technology.Finally,in order to ensure the precise and efficient hole making of FRP/metal stacks,an idea of low frequency vibration assisted drilling(LFVAD)FRP/metal stacks based on material removal characteristics is put forward by fully exploiting the unique advantages of LFVAD technology. 展开更多
关键词 fiber reinforced polymer (FRP)/metal STACKS DRILLING MACHINING quality tool wear helical MILLING vibration assisted DRILLING abrasive water jet MACHINING
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Effects of temperature on the tribological behavior of Al0.25CoCrFeNi high-entropy alloy
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作者 L.M.Du L.W.Lan +4 位作者 S.Zhu H.J.Yang X.H.Shi P.K.Liaw J.W.Qiao 《材料科学技术学报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第5期917-925,共9页
The tribological behavior of Al0.25 CoCrFeNi high-entropy alloy(HEA) sliding against Si3N4 ball was investigated from room temperature to 600°. The microstructure of the alloys was characterized by simple FCC pha... The tribological behavior of Al0.25 CoCrFeNi high-entropy alloy(HEA) sliding against Si3N4 ball was investigated from room temperature to 600°. The microstructure of the alloys was characterized by simple FCC phase with 260 HV. Below 300°, with increasing temperature, the wear rate increased due to high temperature softening. The wear rate remained stabilized above 300°due to the anti-wear effect of the oxidation film on the contact interface. The dominant wear mechanism of HEA changed from abrasive wear at room temperature to delamination wear at 200°, then delamination wear and oxidative wear at 300°and became oxidative above 300°. Moreover, the adhesive wear existed concomitantly below 300°. 展开更多
关键词 ABRASIVE WEAR FRICTION and WEAR characteristics Hardness High TEMPERATURE Microstructure Oxidation Rapid SOLIDIFICATION SLIDING WEAR mechanism
虚拟砂轮磨削有限元仿真以及试验对比分析 预览
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作者 王建军 黄景山 《装备制造技术》 2018年第9期90-93,102共5页
磨削加工是众多磨粒参与共同作用的结果。基于金刚石砂轮表面形貌和磨粒分布情况,利用虚拟仿真技术建立虚拟砂轮模型。实现对磨削机理更加深入的研究是很有必要的。通过仿真磨削与试验给出了对比分析,提出了机床工艺交互作用下磨削机理... 磨削加工是众多磨粒参与共同作用的结果。基于金刚石砂轮表面形貌和磨粒分布情况,利用虚拟仿真技术建立虚拟砂轮模型。实现对磨削机理更加深入的研究是很有必要的。通过仿真磨削与试验给出了对比分析,提出了机床工艺交互作用下磨削机理研究的意义。 展开更多
关键词 金刚石砂轮 磨粒 表面形貌 仿真 磨削
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高压水射流切割技术发展及应用现状 预览
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作者 刘海青 王志文 +4 位作者 成明 胥薇 刘和剑 于希辰 职山杰 《机床与液压》 北大核心 2018年第21期173-179,共7页
作为一种高能束流加工技术,高压水射流切割因其独特的切割模式,被广泛应用于机械加工、食品医疗、海洋工程等领域。介绍了高压水射流切割技术的切割机制及磨料混合机制,并就其研究进展和应用现状做了相关总结和概括,为今后水射流技术的... 作为一种高能束流加工技术,高压水射流切割因其独特的切割模式,被广泛应用于机械加工、食品医疗、海洋工程等领域。介绍了高压水射流切割技术的切割机制及磨料混合机制,并就其研究进展和应用现状做了相关总结和概括,为今后水射流技术的研究和发展提供了参考。 展开更多
关键词 高压水射流 切割 磨料 高效射流
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主轴式滚磨光整加工中滚筒转速对滚抛磨块群上界面的影响 预览
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作者 余将 杨胜强 +2 位作者 李文辉 王娜 王琦 《中国科技论文》 北大核心 2018年第10期1153-1157,共5页
针对主轴式滚磨光整加工中高转速下滚抛磨块会甩出滚筒的问题,为确定滚筒在一定转速下的最大填料高度,利用离散元法模拟主轴式滚磨光整加工过程,采用拟合曲线表征滚抛磨块群上界面的几何形状,借助正交模拟试验分析几何形状的主要影响因... 针对主轴式滚磨光整加工中高转速下滚抛磨块会甩出滚筒的问题,为确定滚筒在一定转速下的最大填料高度,利用离散元法模拟主轴式滚磨光整加工过程,采用拟合曲线表征滚抛磨块群上界面的几何形状,借助正交模拟试验分析几何形状的主要影响因素,通过单因素模拟试验探究滚筒转速的影响规律并进行实验验证。滚抛磨块群上界面为抛物面,滚筒转速、滚抛磨块形状对抛物面几何形状有决定性影响;当其他条件一定时,不同滚筒转速下的抛物面在填料高度处近似交于一圆,圆半径为滚筒半径的5/7,基于此推导出了一定转速下筒内最大填料高度计算公式。 展开更多
关键词 滚磨光整加工 主轴式 离散元法 滚筒转速 滚抛磨块 上界面
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磨料对硒化锌雾化施液化学机械抛光的影响
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作者 李庆忠 施卫彬 夏明光 《半导体光电》 北大核心 2018年第6期815-818,共4页
采用雾化施液化学机械抛光(CMP)的方法,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,选取最适合硒化锌抛光的磨料,通过单因素实验对比CeO2、SiO2和Al2O3三种磨料的抛光效果。结果显示:采用Al2O3抛光液可以获得最高的材料去除率,为615.19nm/m... 采用雾化施液化学机械抛光(CMP)的方法,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,选取最适合硒化锌抛光的磨料,通过单因素实验对比CeO2、SiO2和Al2O3三种磨料的抛光效果。结果显示:采用Al2O3抛光液可以获得最高的材料去除率,为615.19nm/min,而CeO2和SiO2磨料的材料去除率分别只有184.92和78.56nm/min。进一步分析磨料粒径对实验结果的影响规律,表明100nm Al2O3抛光后的表面质量最佳,粗糙度Ra仅为2.51nm,300nm Al2O3的去除速率最大,达到1 256.5nm/min,但表面存在严重缺陷,出现明显划痕和蚀坑。在相同工况条件下,与传统化学机械抛光相比,精细雾化抛光的去除速率和表面粗糙度与传统抛光相近,但所用抛光液量约为传统抛光的1/8,大大提高了抛光液的利用率。 展开更多
关键词 硒化锌 雾化施液 化学机械抛光 磨料 去除速率 表面粗糙度
Optimization of cleaning process parameters to remove abrasive particles in post-Cu CMP cleaning
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作者 Liu Yang Baimei Tan +2 位作者 Yuling Liu Baohong Gao Chunyu Han 《半导体学报:英文版》 EI CAS CSCD 2018年第12期212-217,共6页
The cleaning of copper interconnect chemical mechanical polishing(CMP) is a key process in integrated circuits(ICs) fabrication. Colloidal silica, which is used as the abrasive material in copper CMP slurry, is consid... The cleaning of copper interconnect chemical mechanical polishing(CMP) is a key process in integrated circuits(ICs) fabrication. Colloidal silica, which is used as the abrasive material in copper CMP slurry, is considered as the main particle contamination. Abrasive particle residuals can cause device failure which need to be removed efficiently. In this paper, a type of CMP cleaner was used for particle removal using a cleaning solution consisting of FA/O Ⅱ chelating agent and FA/O Ⅰ surfactant. By varying the parameters of brush rotation speed, brush gap,and de-ionized water(DIW) flow rate,a series of experiments were performed to determine the best cleaning results. Atomic force microscope(AFM) measurement was used to characterise the surface morphology of the copper surface and the removal of abrasive particles. A scanning electron microscope(SEM) with EDX was used to observe and analyze the particles shape and elements. The optima parameters of CMP cleaner were obtained. Under those conditions, the abrasive silica particles were removed effectively. 展开更多
关键词 CMP CLEANING ABRASIVE particles process PARAMETER surface ROUGHNESS
磨料性质对柴油机滚磨光整加工影响的研究 预览
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作者 王钊 《机械制造》 2018年第10期75-78,共4页
介绍了滚磨光整加工,并就磨料性质对柴油机滚磨光整加工的影响进行了研究。应用滚磨光整技术对柴油机凸轮轴进行加工,通过试验分析了磨料各种性质对滚磨光整加工效果的影响,所做研究可以促进滚磨光整加工的发展。
关键词 柴油机 滚磨光整加工 磨料
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