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利用体块PZT制备膜片式压电微泵 预览 被引量:5
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作者 李以贵 黄远 +2 位作者 颜平 王欢 杉山进 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1072-1079,共8页
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过... 利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出了微驱动器和单向微阀。最后,设计了驱动测试实验,检测了微泵的液体驱动性能。测试结果表明:所制备的膜片式压电微泵驱动的谐振频率约为70kHz,能驱动微米量级的液体位移或运动。当微泵驱动电压为30Vp-p、频率为600Hz时,液体的驱动流速约为65μL/min。该微泵具有体积小,线性度好等特点。 展开更多
关键词 微流控分析系统 膜片式压电微泵 锆钛酸铅(PZT) 单向微阀 逆压电效应 驱动仿真 微加工工艺
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提高芯片毛细管电泳系统检测信噪比的哈达玛变换法 预览 被引量:2
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作者 张涛 方群 方肇伦 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期 1775-1778,共4页
采用门控进样, 在简单的十字通道微流控玻璃芯片上实现了假随机多次进样, 研究了利用哈达玛变换提高微流控毛细管电泳分析系统信噪比的方法. 在实验中, 以7阶127步假随机二进制序列作为进样模板, 将缓冲液和Cy5衍生后的氨基酸试样交替... 采用门控进样, 在简单的十字通道微流控玻璃芯片上实现了假随机多次进样, 研究了利用哈达玛变换提高微流控毛细管电泳分析系统信噪比的方法. 在实验中, 以7阶127步假随机二进制序列作为进样模板, 将缓冲液和Cy5衍生后的氨基酸试样交替注入到分离通道中, 检测到的电泳信号经过哈达玛反变换还原使信噪比提高5倍(理论上5.6倍)的电泳谱, 各组分的出峰时间、峰高和峰形均完全还原, 毛细管电泳分离的采样频率不受影响. 展开更多
关键词 微流控分析系统 芯片毛细管电泳 哈达玛变换 信噪比 数字信号处理 仪器分析
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