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Efficient quantum state transmission via perfect quantum network coding
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作者 Zhen-Zhen LI Gang XU +3 位作者 Xiu-Bo CHEN Zhiguo QU Xin-Xin NIU Yi-Xian YANG 《中国科学:信息科学(英文版)》 SCIE EI CSCD 2019年第1期187-200,共14页
Quantum network coding with the assistance of auxiliary resources can achieve perfect transmission of the quantum state.This paper suggests a novel perfect network coding scheme to efficiently solve the quantum k-pair... Quantum network coding with the assistance of auxiliary resources can achieve perfect transmission of the quantum state.This paper suggests a novel perfect network coding scheme to efficiently solve the quantum k-pair problem,in which only a few assisting resources are introduced.Specifically,only one pair of maximally entangled state needs to be pre-shared between two intermediate nodes,and only O(k)of classical information is transmitted though the network.Moreover,the classical communication used in our protocol does not cause transmission congestion,providing better adaptability to large-scale quantum k-pair networks.Through relevant analyses and comparisons,we demonstrate that our proposed scheme saves resources and has good application value,thereby showing its high efficiency.Furthermore,the proposed scheme achieves 1-max flow quantum communication,and the achievable rate region result is extended from its counterpart over the butterfly network. 展开更多
关键词 PERFECT QUANTUM network CODING QUANTUM k-pair problem EFFICIENT QUANTUM state transmission communication efficiency achievable rate region
LED量子效率仪的研究
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作者 朱小峰 王广才 +11 位作者 胡鹏飞 王静 欧琳 池梓榕 李波光 冯九龙 江鹤 李跃龙 赵二刚 马林川 张晓丹 赵颖 《自动化与仪器仪表》 2019年第7期1-5,17共6页
LED量子效率仪由LED阵列、直流可调稳压电源、PLC、光导管、I-V放大器、数据采集卡、计算机与测试软件组成。与传统量子效率仪相比,利用LED代替氙灯或卤素灯,提供准单色光;利用光导管汇聚光;I-V放大器与数据采集卡代替锁相放大器和斩波... LED量子效率仪由LED阵列、直流可调稳压电源、PLC、光导管、I-V放大器、数据采集卡、计算机与测试软件组成。与传统量子效率仪相比,利用LED代替氙灯或卤素灯,提供准单色光;利用光导管汇聚光;I-V放大器与数据采集卡代替锁相放大器和斩波器,将太阳电池产生的弱电流信号采集到计算机。未使用单色仪、锁相放大器、斩波器,成本降低;未使用单色仪,测试速度提高,测试时间小于40 s。LED量子效率仪测试结果的不准确度小于0.1%;稳定之后,不稳定度小于0.6%;连续工作9个小时,不重复度小于0.5%。 展开更多
关键词 量子效率 LED 太阳电池 LABVIEW
基于连续和脉冲激光泵浦的相关光子实验比对 预览
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作者 高冬阳 刘长明 +5 位作者 胡友勃 史学舜 夏茂鹏 李健军 郑小兵 王恒飞 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期100-107,共8页
为在相关光子定标技术工程化过程中选择合适的泵浦机制及相位匹配模式,开展了基于连续和脉冲激光的相关光子比对实验.采用355nm连续激光泵浦偏硼酸钡晶体产生相关光子对,对晶体吸收、透射损耗以及光学元件透过率进行测量和修正,同时使... 为在相关光子定标技术工程化过程中选择合适的泵浦机制及相位匹配模式,开展了基于连续和脉冲激光的相关光子比对实验.采用355nm连续激光泵浦偏硼酸钡晶体产生相关光子对,对晶体吸收、透射损耗以及光学元件透过率进行测量和修正,同时使用基于时间幅度转换的符合测量方法,得到单光子探测器量子效率为59.15%.利用518nm脉冲激光泵浦周期极化磷酸钛氧钾晶体,采用准相位匹配技术获取相同波段的相关光子,基于时间幅度转换的符合测量方法得到单光子探测器量子效率为59%.比对实验结果,两套定标装置方法的测量结果之差在0.25%以内,主要误差来源于单光子探测器的响应非线性、光路透过率修正误差和单光子探测量子效率面非均匀性.实验结果验证了相关光子定标技术可随时随地复现的优点,以及相关光子定标结果不受泵浦机制差异和实验装置差异的影响,可为相关光子技术工程化中的激光器工作模式和相位匹配方式的选择提供参考依据. 展开更多
关键词 辐射定标 自发参量下转换 相关光子 单光子探测器 量子效率
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基于HV-CMOS工艺集成PIN光敏元的CMOS传感器设计
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作者 杨成财 鞠国豪 陈永平 《半导体光电》 CAS 北大核心 2019年第3期333-337,363共6页
PIN光电二极管相对于pn结型光电二极管具有结电容小、量子效率高等优点,但采用标准低压CMOS(LV-CMOS)工艺研制的CMOS传感器只能实现基于n阱/p衬底的pn结光敏元与片上电路的集成,高压CMOS(HV-CMOS)工艺的发展为CMOS电路与PIN光敏元列阵... PIN光电二极管相对于pn结型光电二极管具有结电容小、量子效率高等优点,但采用标准低压CMOS(LV-CMOS)工艺研制的CMOS传感器只能实现基于n阱/p衬底的pn结光敏元与片上电路的集成,高压CMOS(HV-CMOS)工艺的发展为CMOS电路与PIN光敏元列阵的单片集成提供了可能。基于HV-CMOS工艺设计了一种集成PIN光敏元列阵的CMOS传感器,并对器件的光电响应进行了测试评估。结果表明,集成PIN光敏元的CMOS传感器具有更高的像素增益和量子效率,而暗电流、输出摆幅、线性度等特性保持良好。在500~900nm宽波段范围内,器件的量子效率均达到80%以上,在950nm附近的量子效率达到25%,优于采用其他工艺制作的CMOS传感器。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 HV-CMOS PIN光电二极管 3T像素结构 量子效率
碲镉汞红外探测器量子效率计算研究 预览
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作者 王亮 杨微 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第7期871-875,共5页
首先分析了量子效率计算的相关方法,然后分析红外碲镉汞探测器测试过程。对器件进行电学性能测试及光谱响应测试基础上,利用测试方法和测试数据计算出探测器产生的电子数。再将实际电子数与理论分析的光子数相比,计算出探测器对不同红... 首先分析了量子效率计算的相关方法,然后分析红外碲镉汞探测器测试过程。对器件进行电学性能测试及光谱响应测试基础上,利用测试方法和测试数据计算出探测器产生的电子数。再将实际电子数与理论分析的光子数相比,计算出探测器对不同红外波段量子效率,最高可达66%,达到了国外同类型器件响应的量子效率指标。本文的研究为评价碲镉汞探测器的光电转换性能提供了一种有效的方法。 展开更多
关键词 碲镉汞 量子效率 电性能测试 光谱响应
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Ho^3+-Yb^3+掺杂磷酸盐玻璃陶瓷的制备与发光性能 预览
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作者 赵梦洁 邹翔宇 +4 位作者 夏宇行 贾文韬 张洪波 邵晶 苏春辉 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第1期95-100,共6页
采用传统熔融法制备了Na2O-Y2O3-P2O5-SiO2前驱体玻璃,并对前驱体玻璃样品进行热处理,成功合成透明磷酸盐玻璃陶瓷。对玻璃陶瓷样品进行XRD分析确定玻璃基质中有Na3.6Y1.8(PO4)3晶体析出。讨论了热处理时间对玻璃陶瓷结晶度和晶粒尺寸... 采用传统熔融法制备了Na2O-Y2O3-P2O5-SiO2前驱体玻璃,并对前驱体玻璃样品进行热处理,成功合成透明磷酸盐玻璃陶瓷。对玻璃陶瓷样品进行XRD分析确定玻璃基质中有Na3.6Y1.8(PO4)3晶体析出。讨论了热处理时间对玻璃陶瓷结晶度和晶粒尺寸的影响,确定热处理温度为655 ℃,热处理时间为2 h。比较Ho3+单掺和Ho^3+-Yb^3+共掺玻璃陶瓷上转换发光强度,确定Ho^3+与Yb^3+的最佳掺杂物质的量之比为1∶2。同时讨论了Ho^3+-Yb^3+之间的能量转移。使用积分球测得样品的上转换发光量子效率。 展开更多
关键词 玻璃陶瓷 磷酸盐 Ho^3+-Yb^3+掺杂 发光 量子效率
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相关光子定标的符合测量精度分析 预览
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作者 胡友勃 李健军 +2 位作者 高冬阳 汤琪 郑小兵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期161-170,共10页
采用355nm连续激光泵浦BBO晶体产生参量下转换效应,搭建了相关光子辐射定标实验装置,使用时间数字转换和时间幅度转换两种符合测量方法进行比对测量,定标了不同光子速率下雪崩光电二极管在737nm波段的探测效率,分析了在高光子计数率下... 采用355nm连续激光泵浦BBO晶体产生参量下转换效应,搭建了相关光子辐射定标实验装置,使用时间数字转换和时间幅度转换两种符合测量方法进行比对测量,定标了不同光子速率下雪崩光电二极管在737nm波段的探测效率,分析了在高光子计数率下死时间和后脉冲等因素对符合测量选取符合门宽和意外符合的影响,比较了不同光子计数速率的测量结果并分析符合测量的修正因素,修正后两种测量结果的相对偏差优于0.25%.采用时间间隔技术测量了不同光子计数率的后脉冲概率,为提高单光子探测器的计数精度和相关光子定标的精度提供依据. 展开更多
关键词 符合测量 参量下转换 比对 量子效率 光子速率
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InGaAs短波红外探测器的光电机理 预览
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作者 邵海洋 邢怀中 《东华大学学报:自然科学版》 CAS 北大核心 2019年第1期158-162,共5页
利用ISE TCAD仿真软件,建立了铟镓砷(InGaAs)短波红外探测器表面漏电的二维模型。在背面照射方式下,模拟研究了InGaAs短波红外探测器的表面漏电对器件暗电流、总电流、量子效率和响应率的影响。研究结果表明,表面漏电会导致器件的暗电... 利用ISE TCAD仿真软件,建立了铟镓砷(InGaAs)短波红外探测器表面漏电的二维模型。在背面照射方式下,模拟研究了InGaAs短波红外探测器的表面漏电对器件暗电流、总电流、量子效率和响应率的影响。研究结果表明,表面漏电会导致器件的暗电流和总电流增大,但响应率和量子效率会降低。由此可知,表面漏电是制约InGaAs短波红外探测器性能的重要影响因素,该研究结果为器件的设计与优化提供了理论依据。 展开更多
关键词 表面漏电 InGaAs短波红外探测器 暗电流 响应率 量子效率
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可见/近红外超光谱碲镉汞焦平面研究 预览
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作者 张姗 沈益铭 +7 位作者 刘丹 钟艳红 魏彦锋 廖清君 陈洪雷 林春 丁瑞军 何力 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期429-434,共6页
为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方... 为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方法,使焦平面的响应波段拓展至400 nm~2 600 nm。采用信号定量化焦平面测试评价手段对可见/近红外碲镉汞焦平面的性能进行评估,640×512 25 μm中心距碲镉汞焦平面的波段量子效率可达到88.4%,信噪比达到287,有效像元率大于98%,能够获得清晰的可见和近红外波段图像。 展开更多
关键词 超光谱探测 可见/近红外成像 碲镉汞 衬底去除 量子效率
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Total ionizing dose effects in pinned photodiode complementary metal-oxide-semiconductor transistor active pixel sensor
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作者 马林东 李豫东 +6 位作者 文林 冯婕 张翔 王田珲 蔡毓龙 王志铭 郭旗 《中国物理B:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第10期352-356,共5页
关键词 互补金属氧化物半导体晶体管 光电二极管 剂量率 传感器 电离 象素 应用程序 RAD
界面陷阱对InSb光伏型红外探测器稳态特性的影响 预览
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作者 陈晓冬 杨翠 +3 位作者 刘鹏 邵晓鹏 张小雷 吕衍秋 《红外与毫米波学报》 CSCD 北大核心 2018年第2期192-199,共8页
基于Silvaco二维数值仿真研究了界面陷阱对背照式p-on-n台面型InSb光伏红外探测器串音和量子效率的影响,通过分析探测器中复合率分布、空穴电流密度分布、电场分布等与界面陷阱的空间分布及浓度的相关性,揭示了界面陷阱影响探测器的稳... 基于Silvaco二维数值仿真研究了界面陷阱对背照式p-on-n台面型InSb光伏红外探测器串音和量子效率的影响,通过分析探测器中复合率分布、空穴电流密度分布、电场分布等与界面陷阱的空间分布及浓度的相关性,揭示了界面陷阱影响探测器的稳态性能的内在物理机制.研究结果表明,N-型InSb有源区与钝化层界面处的陷阱和像元台面间的界面陷阱都会在提高串音性能的同时降低量子效率,但由于两者作用区域不同,所以对两种性能的影响程度不同. 展开更多
关键词 界面态 陷阱 InSb光伏型红外探测器 量子效率 串音
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基于PPLN晶体的单光子探测器定标研究 预览
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作者 张洋洋 李健亮 +1 位作者 冯志勇 冯瑜 《井冈山大学学报:自然科学版》 2018年第6期14-20,共7页
从光学二次谐波入手分析影响转换效率的主要因素,引出相位匹配条件,从而提出基于周期极化晶体的准相位匹配,研究周期调谐、温度调谐等多种调谐方式来调控输出光的波长,有利于纠缠源在更宽光谱范围内得以应用。通过532nm的连续激光器泵... 从光学二次谐波入手分析影响转换效率的主要因素,引出相位匹配条件,从而提出基于周期极化晶体的准相位匹配,研究周期调谐、温度调谐等多种调谐方式来调控输出光的波长,有利于纠缠源在更宽光谱范围内得以应用。通过532nm的连续激光器泵浦周期性极化的掺镁铌酸锂晶体,采用e→e+e相位匹配,利用了介质的最大非线性系数d33,通过周期调谐方式,在满足准相位匹配的模式下制备出高质量的纠缠光源,叙述了探测器量子效率的定标原理,提出了一种基于高亮度纠缠源的单光子探测器量子效率定标系统,为高精度量子效率定标奠定了良好的基础。 展开更多
关键词 纠缠源 准相位匹配 量子效率 铌酸锂晶体
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高效插指背接触太阳电池质子辐照效应研究 预览
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作者 邱岚 胡莉 《高技术通讯》 北大核心 2018年第8期754-761,共8页
利用TCAD半导体器件仿真软件对低轨道卫星用高效插指背接触(IBC)单晶硅太阳电池的质子辐照效应进行研究。首先分析了质子辐照剂量和辐照能量对太阳电池外量子效率、转换效率的影响。然后在不同质子辐照剂量情况下,详细地分析了原材料... 利用TCAD半导体器件仿真软件对低轨道卫星用高效插指背接触(IBC)单晶硅太阳电池的质子辐照效应进行研究。首先分析了质子辐照剂量和辐照能量对太阳电池外量子效率、转换效率的影响。然后在不同质子辐照剂量情况下,详细地分析了原材料衬底电阻率和衬底厚度对太阳电池电学性能的影响。仿真结果表明:存在质子辐照剂量阈值(约为1×10~9P/cm~2),当质子辐照剂量低于该阈值时,电池转换效率及其变化率均较小。当质子辐照剂量一定时,随着衬底厚度的增大,太阳电池转换效率随之先增大后减小。随着质子辐照剂量的增大,峰值转换效率对应的衬底厚度减小。在较高的质子辐照剂量的情况下,薄衬底不仅有利于提高太阳电池的转换效率,而且也有利于降低转换效率变化率。当质子辐照剂量较高(1×10~(10)P/cm~2和1×10~(11)P/cm~2)时,随着衬底电阻率增大,转换效率随之增大。当质子辐照剂量一定时,随着衬底电阻率增大,转换效率变化率的绝对值随之降低。 展开更多
关键词 太阳电池 质子辐照 量子效率 转换效率 衬底结构 优化
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硅光电探测器阵列 被引量:1
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作者 胡海帆 李元景 +1 位作者 赵自然 马旭明 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2018年第1期36-41,共6页
以获得高量子效率的pin硅光电探测器阵列为目标,对影响pin硅光电探测器阵列量子效率和暗电流的重要因素展开了分析,此外针对探测器入射面的抗反射层结构进行了理论分析与模拟的仿真研究。流片测试结果表明,实验样品LPD型硅光电探测器阵... 以获得高量子效率的pin硅光电探测器阵列为目标,对影响pin硅光电探测器阵列量子效率和暗电流的重要因素展开了分析,此外针对探测器入射面的抗反射层结构进行了理论分析与模拟的仿真研究。流片测试结果表明,实验样品LPD型硅光电探测器阵列的单像素暗电流为2-7 pA,低于滨松S11212型商用光电探测器;结电容为45-46 pF,光响应值为0.37-0.39 A/W(仅比S11212型器件低约0.25%)。LPD硅光电探测器阵列通过耦合碘化铯晶体并封装之后,放置在物品安检机上进行扫描成像,测试结果表明:LPD硅光电探测器阵列可以在X光机165 kV,0.8 m A时穿透40 mm厚的铅饼清晰成像。LPD硅光电探测器阵列的整体灵敏度和商用S11212型光电探测器性能相当,没有明显区别。 展开更多
关键词 硅光电探测器 线阵 量子效率 光响应 抗反射层
K2SbCs光电阴极光谱响应特性模拟 预览
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作者 赵敏 孙建宁 +4 位作者 钱芸生 司曙光 金睦淳 刘健 侯巍 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第3期289-293,共5页
为了探索高性能K2SbCs光电阴极的特征结构,对光电阴极量子效率公式进行了推导,并利用推导出的公式对K2SbCs光电阴极量子效率(≈30%)曲线进行拟合,得到拟合相对误差较小结构参数。另外,根据拟合结果分析了对光谱响应造成影响的因素,包括... 为了探索高性能K2SbCs光电阴极的特征结构,对光电阴极量子效率公式进行了推导,并利用推导出的公式对K2SbCs光电阴极量子效率(≈30%)曲线进行拟合,得到拟合相对误差较小结构参数。另外,根据拟合结果分析了对光谱响应造成影响的因素,包括阴极厚度、光电逸出深度、阴极结构参量、光谱响应截止波长等。探索了该光电阴极结构参数范围,据此分析并设计高性能透射式K2CsSb光电阴极。 展开更多
关键词 K2SbCs光电阴极 量子效率 积分灵敏度 光学性能
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LED中荧光材料量子效率测量系统的设计 预览
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作者 张朝阳 宁平凡 《光学仪器》 2018年第2期6-10,共5页
LED作为新兴光源,与传统的白炽灯光源相比,具有很大的优势。衡量其荧光材料发光性能的一个重要参数就是量子效率。为了准确地测量荧光材料的量子效率,提出了一种基于半积分球装置的量子效率测量系统。该系统采用了中心波长为465nm的蓝光... LED作为新兴光源,与传统的白炽灯光源相比,具有很大的优势。衡量其荧光材料发光性能的一个重要参数就是量子效率。为了准确地测量荧光材料的量子效率,提出了一种基于半积分球装置的量子效率测量系统。该系统采用了中心波长为465nm的蓝光LED芯片作为激发光源,与直径为150mm的半积分球和直径为150mm、中心孔直径为8mm的平面反射镜搭配使用,运用光纤和线阵CCD光谱仪采集光谱数据,并进一步计算出量子效率。为了验证系统的有效性,分别采用两种不同的荧光材料对测量系统进行测试,测量结果与厂商所给的数值基本一致。实验结果表明,该测量系统能有效地评估LED中荧光材料的发光性能。 展开更多
关键词 荧光材料 量子效率 LED 测量系统
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有机光电倍增探测器研究进展 被引量:1
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作者 高秀云 张叶 +4 位作者 崔艳霞 刘艳珍 李国辉 石林林 郝玉英 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第7期1-19,共19页
外量子效率远远超过100%的有机光电倍增探测器近年来受到了研究者们的广泛关注。首先介绍有机光电倍增探测器的基本结构及其光电倍增机理。有机光电倍增探测器由于其活性层的材料特性不同,可分为小分子基及聚合物基两种类型。针对这两... 外量子效率远远超过100%的有机光电倍增探测器近年来受到了研究者们的广泛关注。首先介绍有机光电倍增探测器的基本结构及其光电倍增机理。有机光电倍增探测器由于其活性层的材料特性不同,可分为小分子基及聚合物基两种类型。针对这两种不同类型的有机光电倍增探测器的研究进展进行综述,详细说明研究者们在改善有机光电倍增探测器量子效率、暗电流、响应速度、光谱性能等方面取得的重要进展。简单介绍了研究者们针对有机光电倍增探测器的工作机理提出的一些不同解释。总结全文并展望了有机光电倍增探测器的发展前景。 展开更多
关键词 光学器件 有机光电探测器 光电倍增 量子效率 隧穿
纳米半导体中多重激子效应研究进展 预览
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作者 刘长菊 卢敏 +2 位作者 苏未安 董太源 沈文忠 《物理学报》 CSCD 北大核心 2018年第2期12-28,共17页
多重激子效应是指纳米半导体吸收一个高能光子后产生两个甚至多个电子-空穴对的物理过程,不仅具有重要的基础研究意义,而且在新型太阳电池及高性能光电子器件领域具有潜在应用价值.综述了多重激子效应的发展历程;总结了纳米半导体的材... 多重激子效应是指纳米半导体吸收一个高能光子后产生两个甚至多个电子-空穴对的物理过程,不仅具有重要的基础研究意义,而且在新型太阳电池及高性能光电子器件领域具有潜在应用价值.综述了多重激子效应的发展历程;总结了纳米半导体的材料组分、体系结构甚至表面质量对多重激子效应的影响;介绍了多重激子效应的实验测试分析方法以及解释多重激子效应的理论方法;概括了目前多重激子效应在器件中的应用并对其应用前景进行展望. 展开更多
关键词 多重激子效应 量子效率 阈值能量 纳米半导体
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多碱光电阴极饱和机理研究 预览
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作者 谢运涛 孙晓泉 +1 位作者 王玺 张玉钧 《国防科技大学学报》 CSCD 北大核心 2018年第4期28-34,共7页
多碱光电阴极饱和机理的研究对于提高阴极电子发射能力具有重要意义。依据光电阴极三步电子发射理论,采用蒙特卡洛法研究了多碱光电阴极的电子发射过程。研究结果与相关文献中的实验数据进行了对比分析,光子能量临近光电阴极响应阈值附... 多碱光电阴极饱和机理的研究对于提高阴极电子发射能力具有重要意义。依据光电阴极三步电子发射理论,采用蒙特卡洛法研究了多碱光电阴极的电子发射过程。研究结果与相关文献中的实验数据进行了对比分析,光子能量临近光电阴极响应阈值附近时,得到的量子效率曲线以及电子能量分布曲线与实验数据吻合良好。基于上述模型,研究了光压效应和空间电荷效应对多碱光电阴极电子发射特性的影响。结果表明,多碱光电阴极在光压效应限制下的阈值饱和激光能量密度约为8μJ/cm2,在空间电荷效应限制下的阈值饱和激光能量密度约为2.23μJ/cm2。开展了266 nm激光辐照多碱光电阴极实验,经测量,多碱光电阴极的阈值饱和激光能量密度约为2μJ/cm2,这表明空间电荷效应是限制其光电子发射能力的主要因素。 展开更多
关键词 多碱光电阴极 蒙特卡洛法 量子效率 能量分布 饱和
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中心距10μm截止波长2.6μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器 预览
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作者 何玮 李平 +8 位作者 邵秀梅 曹高奇 于一榛 张亚光 邓双燕 杨波 李雪 李淘 龚海梅 《红外与毫米波学报》 CSCD 北大核心 2018年第6期649-652,共4页
采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2.6μm的p-i-n型10×10元延伸波长InGaAs探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗电流... 采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2.6μm的p-i-n型10×10元延伸波长InGaAs探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗电流特性.在室温下,-10 mV偏压时器件的暗电流和优质因子R0A分别为0.45 nA和14.7Ω·cm 2,量子效率可达到63%.为了证实像元中心距减小并未影响器件性能,与同种材料中心距30μm的InGaAs焦平面阵列进行了对比分析.相似的实验结果进一步证明了工艺的可行性,对今后实现高密度、大面阵延伸波长InGaAs探测器具有重要的指导意义. 展开更多
关键词 延伸波长 INGAAS探测器 小像元 暗电流密度 量子效率
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