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SiCp/Al复合材料超精密车削仿真与试验研究
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作者 项俊锋 解丽静 +3 位作者 胡鑫 霍石岩 庞思勤 王西彬 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1687-1696,共10页
针对SiCp/Al复合材料因脆性相SiC的加入而导致难以形成高质量加工表面等问题,采用分子动力学模拟和超精密车削试验的方法对SiCp/Al复合材料纳米尺度材料去除过程进行研究,重点分析了单晶金刚石超精密切削SiC_p/Al复合材料中的加工表面... 针对SiCp/Al复合材料因脆性相SiC的加入而导致难以形成高质量加工表面等问题,采用分子动力学模拟和超精密车削试验的方法对SiCp/Al复合材料纳米尺度材料去除过程进行研究,重点分析了单晶金刚石超精密切削SiC_p/Al复合材料中的加工表面形成机理、脆塑性转变以及刀具磨损机理。结果表明:高压相变是引起SiCp/Al复合材料中SiC脆性材料的脆塑性转变的主要原因。随着切削深度的增加,SiCp/Al复合材料中SiC颗粒加工方式由延性去除,到脆塑性混合方式去除,最后演变为纯脆性去除方式。SiCp/Al复合材料中SiC-Al界面和Al基体存在,影响了SiCp/Al复合材料中SiC颗粒去除的脆塑性转变机制。待加工表面上拉应力的存在会诱导微裂纹尖峰,是切削区域脆性SiC材料裂纹萌生的直接诱因。单晶金刚石刀具主要磨损机理为硬质SiC颗粒的磨粒磨损和切削诱导的石墨化。 展开更多
关键词 SICP/AL复合材料 超精密车削 分子动力学 单晶金刚石 脆塑性转变
CVD法制备单晶金刚石的现状及研究进展 预览
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作者 潘红星 范波 +1 位作者 闫建明 徐帅 《化工技术与开发》 CAS 2019年第9期27-31,共5页
单晶金刚石因其独特结构而具有优异的物理化学性能,在许多科学技术领域具有潜在的重要应用价值,被广泛应用于工业、科技、国防、医疗卫生等众多领域。用化学气相沉积法实现高沉积速率、高质量、大面积的金刚石单晶的制备是目前研究的热... 单晶金刚石因其独特结构而具有优异的物理化学性能,在许多科学技术领域具有潜在的重要应用价值,被广泛应用于工业、科技、国防、医疗卫生等众多领域。用化学气相沉积法实现高沉积速率、高质量、大面积的金刚石单晶的制备是目前研究的热点。本文对化学气相沉积法制备单晶金刚石的机理进行了分析,对比了化学气相沉积法合成金刚石的几种主要方法,总结了其优缺点,在已有研究工作和生产经验的基础上提出了合理化的建议,为单晶金刚石的产业化提供有价值的参考。 展开更多
关键词 单晶金刚石 化学气相沉积法 合理化 产业化
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飞秒激光加工单晶金刚石制备正前角磨削工具 预览
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作者 殷赳 陈根余 +4 位作者 熊彪 朱智超 王彦懿 金梦奇 胡搒 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期33-39,共7页
目的制造一种磨粒有序排布、具有正前角的无结合剂端面金刚石磨削工具。方法采用波长为1030nm、脉宽为250fs的钛蓝宝石飞秒激光对单晶金刚石(SCD)进行烧蚀加工,首先研究加工工艺参数(特别是烧蚀轨迹间距)对金刚石加工效率及表面质量的... 目的制造一种磨粒有序排布、具有正前角的无结合剂端面金刚石磨削工具。方法采用波长为1030nm、脉宽为250fs的钛蓝宝石飞秒激光对单晶金刚石(SCD)进行烧蚀加工,首先研究加工工艺参数(特别是烧蚀轨迹间距)对金刚石加工效率及表面质量的影响。采用预先设计的激光扫描路径,基于优化后的工艺参数在SCD表面加工出微磨粒阵列结构,各磨粒呈方锥台形结构,其顶部倾斜角约为100°。在此基础上,对微磨粒阵列进行烧蚀加工,将所有微磨粒顶部的倾斜角减小至小于90°。结果当激光烧蚀轨迹间距为10.0μm时,烧蚀加工表面RMS粗糙度最小。确定了一种微磨粒边缘倾斜角小于90°且磨粒有序排布的新型无结合剂金刚石端面磨削工具的激光制备方法和工艺,采用该工艺加工的磨削工具表面质量好,轮廓精度高,磨粒平均正前角约为9.80°。结论采用飞秒激光可以高质量、高效率地制备出磨粒有序排布的新型正前角无结合剂金刚石端面磨削工具,该工具有望在硬脆材料磨削中减小磨削力,提高材料表面完整性。 展开更多
关键词 飞秒激光 单晶金刚石 微磨粒阵列 磨削工具 正前角
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单晶金刚石飞秒激光加工的烧蚀阈值实验
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作者 陈根余 朱智超 +2 位作者 殷赳 熊彪 金梦奇 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期26-33,共8页
采用不同功率的飞秒激光对单晶金刚石分别进行了单脉冲分离烧蚀实验和多脉冲累积烧蚀实验,计算得到了单晶金刚石材料的单脉冲烧蚀阈值和多脉冲累积烧蚀阈值,并研究了多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化。结果表明:单晶金刚石的飞秒... 采用不同功率的飞秒激光对单晶金刚石分别进行了单脉冲分离烧蚀实验和多脉冲累积烧蚀实验,计算得到了单晶金刚石材料的单脉冲烧蚀阈值和多脉冲累积烧蚀阈值,并研究了多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化。结果表明:单晶金刚石的飞秒激光单脉冲烧蚀阈值为8.80 J/cm^2;随着有效脉冲数增加,烧蚀阈值逐渐减小;当有效脉冲数小于124时,烧蚀阈值随有效脉冲数的增加而急剧减小;当有效脉冲数增加到486后,烧蚀阈值减小的趋势趋于平缓。有效脉冲数486、激光平均功率10.7 W是最优的激光加工工艺参数。 展开更多
关键词 激光技术 激光器与激光光学 激光烧蚀 飞秒激光 单晶金刚石 烧蚀阈值
金属粉末增强机械抛光单晶金刚石 预览
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作者 刘浩 李佳君 +4 位作者 李震睿 徐锴 陈正佳 孙占峰 陈广超 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期321-326,共6页
目的研究具有催化活性的镍、钴金属粉末对单晶金刚石机械抛光的影响,以期获得低成本高效率的单晶金刚石抛光工艺。方法以高温高压法(HPHT)制备的Ⅱa型单晶金刚石为样品,采用机械抛光的方法沿单晶金刚石(100)晶面的[100]晶向进行抛光,抛... 目的研究具有催化活性的镍、钴金属粉末对单晶金刚石机械抛光的影响,以期获得低成本高效率的单晶金刚石抛光工艺。方法以高温高压法(HPHT)制备的Ⅱa型单晶金刚石为样品,采用机械抛光的方法沿单晶金刚石(100)晶面的[100]晶向进行抛光,抛光介质分别为金刚石研磨膏、金刚石微粉、金刚石微粉与镍粉混合粉末、金刚石微粉与钴粉混合粉末。样品表面粗糙度通过原子力显微镜(AFM)进行测定,通过扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS)对样品表面形貌及元素成分进行分析表征。结果金刚石微粉作研磨粉时,抛光速率最高,达到900μm/h,但表面粗糙度相对较差,为4.15nm;镍粉或钴粉与金刚石微粉的混合粉末作抛光介质时,可以实现单晶金刚石的高效抛光,其中以钴粉与金刚石微粉的混合粉末作为抛光介质时的抛光效果最佳,抛光速率为875μm/h时,表面粗糙度为1.52nm。结论镍、钴金属粉末与金刚石微粉混合作为抛光粉料,可以实现单晶金刚石的高效率、高质量抛光。 展开更多
关键词 单晶金刚石 热化学抛光 金属粉末 抛光速率 粗糙度 催化活性
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种晶类型对微波等离子体CVD法合成单晶体金刚石生长质量的影响 预览
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作者 吴改 陈美华 《新型炭材料》 CSCD 北大核心 2018年第1期88-96,共9页
采用辽宁瓦房店及山东蒙阴产天然金刚石、俄罗斯高温高压(HPHT)金刚石以及美国Element Six公司CVD金刚石作为种晶,进行红外光谱、激光拉曼光谱、光致发光光谱、XRD摇摆曲线以及原子力显微形貌测试,并选取三类样品各一颗,在相同条件下... 采用辽宁瓦房店及山东蒙阴产天然金刚石、俄罗斯高温高压(HPHT)金刚石以及美国Element Six公司CVD金刚石作为种晶,进行红外光谱、激光拉曼光谱、光致发光光谱、XRD摇摆曲线以及原子力显微形貌测试,并选取三类样品各一颗,在相同条件下进行生长实验。测试结果表明,天然金刚石种晶均为Ia AB型,定向性好,其内应力及结晶质量差异较大;而HPHT以及CVD金刚石种晶分别为Ib型和IIa型,其生长面与(100)晶向均存在1~2.5度偏差,但晶体结构较天然金刚石好,且内应力及结晶质量差异较小,更加适合作为MPCVD法合成金刚石单晶的种晶。对生长后样品进行了高分辨率激光拉曼光谱测试,并使用光学显微镜及原子力显微镜对样品表面形貌进行了观察。结果表明,在碳氢氮生长体系中,辽宁瓦房店或山东蒙阴产Ia AB型天然金刚石种晶由于晶格匹配性较差,容易沉积多晶金刚石,且伴随有微晶石墨和非晶质碳成分;而使用俄罗斯产Ib型HPHT种晶以及美国Element Six产IIa型CVD种晶均能得到优质的CVD金刚石生长层;与HPHT种晶相比,使用CVD种晶得到金刚石生长层的拉曼位移半高宽更窄,非金刚石碳杂质含量更低,结晶质量更好。 展开更多
关键词 种晶 金刚石单晶 微波等离子体CVD 生长质量
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温度对MPCVD法同质外延单晶金刚石缺陷的影响 预览
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作者 丁康俊 马志斌 +2 位作者 宋修曦 夏禹豪 耿传文 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2018年第2期8-11,19共5页
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在含有缺陷的单晶金刚石种晶上进行同质外延生长实验,在其他沉积参数保持相同的情况下,研究温度对生长的单晶金刚石缺陷的影响。通过发射光谱、拉曼光谱以及SEM对单晶金刚石进行表征。实验结果表... 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在含有缺陷的单晶金刚石种晶上进行同质外延生长实验,在其他沉积参数保持相同的情况下,研究温度对生长的单晶金刚石缺陷的影响。通过发射光谱、拉曼光谱以及SEM对单晶金刚石进行表征。实验结果表明:单晶金刚石温度越高,金刚石表面的等离子体发射光谱中的谱线强度比值I(C2)/I(Ha)也越高;而电子温度越低,等离子体中粒子间的碰撞更加剧烈。在740°C沉积时,单晶金刚石表面会在同质外延生长后出现从缺陷处贯穿的裂痕;在780和820°C沉积时,单晶金刚石表面缺陷有被抑制和覆盖的趋势,缺陷面积减小;而在860°C沉积时,缺陷面积扩大且凸起更为明显。因此,在适宜温度下生长的单晶金刚石质量较好,金刚石特征峰偏移小、应力较小;温度过高或不足,金刚石特征峰向低波数偏移程度较大,压应力较大。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 发射光谱 单晶金刚石 缺陷
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单晶金刚石边缘表面倾斜角度对同质外延生长的影响 预览
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作者 耿传文 夏禹豪 +2 位作者 赵洪阳 付秋明 马志斌 《物理学报》 CSCD 北大核心 2018年第24期245-251,共7页
利用微波等离子体化学气相沉积法,对单晶金刚石(100)晶面边缘进行精细切割抛光处理,形成偏离(100)晶面不同角度的倾斜面,在CH4/H2反应气体中进行同质外延生长,研究单晶金刚石边缘不同角度倾斜面对边缘金刚石外延生长的影响.实验结果表明... 利用微波等离子体化学气相沉积法,对单晶金刚石(100)晶面边缘进行精细切割抛光处理,形成偏离(100)晶面不同角度的倾斜面,在CH4/H2反应气体中进行同质外延生长,研究单晶金刚石边缘不同角度倾斜面对边缘金刚石外延生长的影响.实验结果表明,边缘倾斜面角度对边缘的单晶外延生长质量有影响,随着单晶金刚石边缘倾斜面角度的增大,边缘多晶金刚石数量先减少后增多,在倾斜角3.8°时边缘呈现完整的单晶外延生长特性.分析认为,边缘不同角度的倾斜面会改变周围电场强度和等离子体密度,导致到达衬底表面的含碳前驱物发生改变,倾斜面台阶表面的含碳前驱物浓度低于能形成层状台阶生长的临界浓度是减弱单晶金刚石生长过程中边缘效应的主要原因. 展开更多
关键词 单晶金刚石 倾斜面 化学气相沉积 边缘台阶
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飞秒激光加工单晶金刚石锥形阵列的试验研究 被引量:2
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作者 熊彪 陈根余 +2 位作者 殷赳 周聪 胡搒 《应用激光》 CSCD 北大核心 2018年第2期270-277,共8页
针对单晶金刚石加工难的问题,采用脉宽为250fs的飞秒激光器,开展了不同工艺参数下的单晶金刚石晶体飞秒激光烧蚀试验研究,同时采用超景深显微镜检测单晶金刚石烧蚀的宽度、深度及表面质量,研究了激光平均功率、光斑重叠率和扫描次... 针对单晶金刚石加工难的问题,采用脉宽为250fs的飞秒激光器,开展了不同工艺参数下的单晶金刚石晶体飞秒激光烧蚀试验研究,同时采用超景深显微镜检测单晶金刚石烧蚀的宽度、深度及表面质量,研究了激光平均功率、光斑重叠率和扫描次数对单晶金刚石烧蚀深度、宽度及表面质量的影响。结果表明,飞秒激光成型烧蚀加工单晶金刚石时,当采用激光平均功率为11.1w,光斑重叠率为61.9%,循环扫描次数为100次作为最佳工艺参数组合时,能够获得具有较高表面质量的最大烧蚀效率,通过激光分层成型烧蚀,在单晶金刚石片上加工出大小、突出高度和排布方式可以精确控制的锥形阵列,制造出无需结合剂的高品质端面金刚石砂轮。 展开更多
关键词 激光烧蚀 飞秒激光 单晶金刚石 锥形阵列
MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展 被引量:1
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作者 易剑 江南 +2 位作者 庄须叶 郭述文 张军安 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第10期738-745,共8页
提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐振子的结构以外,最重要... 提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐振子的结构以外,最重要的还是提高谐振子材料本身的Q值。与现有的谐振子材料相比,单晶金刚石(scD)具有更高的优质因数(材料固有频率×Q值),将是新一代MEMS固体波动陀螺谐振子材料的首选,而单晶金刚石MEMS固体波动陀螺仪将是未来惯性与制导领域争夺的制高点。依据国内外MEMS固体波动陀螺仪的研究现状,预测了未来高端MEMS固体波动陀螺仪的发展方向,总结了国内现有的大尺寸高品质器件级单晶金刚石的制备和加工现状。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 固体波动陀螺仪 超高Q值 单晶金刚石 3D超精密加工
直流电弧等离子体喷射法生长大尺寸金刚石单晶 预览
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作者 吕反修 黑立富 +4 位作者 李成明 唐伟忠 李国华 郭辉 孙振路 《超硬材料工程》 CAS 2018年第2期31-40,共10页
化学气相沉积(CVD)大尺寸高质量金刚石单晶是近年来在CVD金刚石膜研究领域所取得的重大研究进展之一。迄今为止的研究,绝大多数都是采用微波等离子体CVD,在高腔压下(10-30kPa)进行的。这是因为,在高腔压下,微波等离子体球急剧收缩,... 化学气相沉积(CVD)大尺寸高质量金刚石单晶是近年来在CVD金刚石膜研究领域所取得的重大研究进展之一。迄今为止的研究,绝大多数都是采用微波等离子体CVD,在高腔压下(10-30kPa)进行的。这是因为,在高腔压下,微波等离子体球急剧收缩,从而能够提供高质量金刚石外延生长所需要的高原子氢浓度。借助电弧放电的极高温和旋转电弧设计,直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)能够在更大衬底面积范围提供可与之相比拟的原子氢浓度,因此有可能成为一种低成本的CVD金刚石外延生长方法。文章介绍了近年来采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)生长大尺寸、高质量金刚石单晶的初步研究结果,并介绍了已经取得的进展和存在的问题,以及对未来的展望。 展开更多
关键词 金刚石单晶 外延生长 CVD DC ARC PLASMA JET
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不同温度下同质外延生长单晶金刚石的应力分析 预览
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作者 宋修曦 马志斌 +2 位作者 耿传文 丁康俊 任昱霖 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2018年第5期942-947,共6页
本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)对不同温度区间下同质外延单晶金刚石的应力作出了相关研究,讨论了不同温度区间下单晶金刚石内部产生应力的原因。结果表明在低温区间(700~720℃)与高温区间(870~890℃)下生长金刚石... 本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)对不同温度区间下同质外延单晶金刚石的应力作出了相关研究,讨论了不同温度区间下单晶金刚石内部产生应力的原因。结果表明在低温区间(700~720℃)与高温区间(870~890℃)下生长金刚石内部均产生裂纹,总应力以本征应力为主,且以拉应力形式呈现。低温区间(700~720℃)下由于内部石墨杂质的生成使之产生过大的拉应力,而高温区间(870~890℃)下则是由于单晶金刚石生长面多晶点的出现导致拉应力集中从而产生裂纹。在合适的温度区间(770~830℃)下能同质外延生长出无裂纹高质量的单晶金刚石,总应力较小且热应力为主,以压应力形式呈现。 展开更多
关键词 同质外延 单晶金刚石 应力 化学气相沉积
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低浓度氮气对单晶金刚石生长质量的影响
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作者 耿传文 马志斌 +2 位作者 夏禹豪 李艳春 衡凡 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2018年第5期384-389,共6页
利用微波等离子体化学气相沉积法在CH2/H2反应气体中引入不同低浓度氮气条件下,研究氮气对单晶金刚石生长质量的影响。利用发射光谱、拉曼光谱以及扫描电子显微镜对单晶金刚石质量进行表征。结果表明:随着气源中氮气浓度的增加,单... 利用微波等离子体化学气相沉积法在CH2/H2反应气体中引入不同低浓度氮气条件下,研究氮气对单晶金刚石生长质量的影响。利用发射光谱、拉曼光谱以及扫描电子显微镜对单晶金刚石质量进行表征。结果表明:随着气源中氮气浓度的增加,单晶金刚石增长速率随之增加,表面多晶缺陷得到抑制,且Raman光谱法测得一阶特征拉曼峰随着氮气浓度的提高而向高波数移动,呈现出压应力,整体质量变差。经过退火过程之后,引入氮原子的单晶金刚石生长拉应力得到释放,样品呈现出拉应力。 展开更多
关键词 单晶金刚石 氮气 化学气相沉积 应力
单晶金刚石外延层生长工艺研究 预览
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作者 安康 刘金龙 +7 位作者 林亮珍 张博弈 赵云 郭彦召 Tomasz Ochalski 陈良贤 魏俊俊 李成明 《表面技术》 CSCD 北大核心 2018年第11期195-201,共7页
目的研究高质量单晶金刚石外延生长工艺。方法使用X射线白光形貌束分析了等离子体表面刻蚀处理前后单晶金刚石位错密度的变化,随后使用等离子体刻蚀预处理工艺,通过改变沉积温度研究了其对金刚石质量的影响。为了表征温度对单晶金刚石... 目的研究高质量单晶金刚石外延生长工艺。方法使用X射线白光形貌束分析了等离子体表面刻蚀处理前后单晶金刚石位错密度的变化,随后使用等离子体刻蚀预处理工艺,通过改变沉积温度研究了其对金刚石质量的影响。为了表征温度对单晶金刚石质量的影响程度,使用拉曼光谱和X射线衍射摇摆曲线等方法分析了单晶金刚石质量以及位错密度的变化情况,进而确定沉积高质量单晶金刚石最佳的沉积温度。结果X射线白光形貌束结果显示,未进行氢氧等离子体表面刻蚀的籽晶生长之后,由于表面微加工、抛光引入的位错或者微裂纹,导致生长层位错增多;同时,氢氧等离子体表面刻蚀实验结果显示,刻蚀时间并非越长越好;使用刻蚀处理过的单晶金刚石籽晶进行不同温度外延生长实验,籽晶刻蚀后生长的金刚石拉曼峰位均在1332.5cm^-1附近,半高宽为2~3cm^-1之间。在900℃沉积之后,X射线摇摆曲线半高宽仅为0.009。结论使用氢氧微波等离子体刻蚀单晶金刚石,800℃刻蚀40min,可以基本消除因微加工或者抛光引入的位错或者缺陷。经过刻蚀处理的籽晶在900℃制备出的单晶金刚石质量最高,位错最少,可以满足高质量单晶金刚石的制备。 展开更多
关键词 单晶金刚石 刻蚀 位错 外延生长 质量 形貌
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金属铬对金刚石单晶生长习性影响研究 预览
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作者 黄国锋 李战厂 静婧 《超硬材料工程》 CAS 2018年第6期6-9,共4页
在高温高压条件下,以Co-Cr为触媒,使用温度梯度法作为金刚石生长驱动力,进行金刚石单晶生长的实验研究。实验室结果表明:随着触媒中金属铬添加量的增加,晶体生长速度明显变慢,当金属触媒中铬的添加量达到3wt.%的时候,生长的晶体内开始... 在高温高压条件下,以Co-Cr为触媒,使用温度梯度法作为金刚石生长驱动力,进行金刚石单晶生长的实验研究。实验室结果表明:随着触媒中金属铬添加量的增加,晶体生长速度明显变慢,当金属触媒中铬的添加量达到3wt.%的时候,生长的晶体内开始产生气泡和包裹物;当金属铬的掺杂量达到6.0wt.%的时候,能明显观察到晶体泛黄绿色;红外测试结果表明,晶体内部的氮浓度呈现出明显的增加趋势,最高浓度达483×10^-6。 展开更多
关键词 温度梯度法 高温高压 金刚石单晶
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Research on the hydrogen terminated single crystal diamond MOSFET with MoO3 dielectric and gold gate metal
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作者 Zeyang Ren Jinfeng Zhang +5 位作者 Jincheng Zhang Chunfu Zhang Pengzhi Yang Dazheng Chen Yao Li Yue Hao 《半导体学报:英文版》 EI CAS CSCD 2018年第7期72-76,共5页
关键词 MOO3 MOSFET 氢终止 钻石 水晶 电介质 金属 金门
晶硅和蓝宝石加工用金刚石工具 预览
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作者 徐良 刘一波 徐强 《超硬材料工程》 CAS 2018年第6期47-51,共5页
文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CM... 文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CMP修整器在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。 展开更多
关键词 单晶硅 多晶硅 蓝宝石 金刚石线锯 砂轮
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超硬材料行业技术发展现状与展望 预览 被引量:2
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作者 吕智 谢志刚 +8 位作者 林峰 苏钰 谢德龙 陈超 潘晓毅 肖乐银 彭少波 陈家荣 秦建新 《超硬材料工程》 CAS 2017年第5期47-51,共5页
最近几年,超硬材料行业技术进步可圈可点,如金刚石大单晶、隧道窖无压烧结技术、组锯、精密加工金刚石工具、整体PcBN、NPD等,其它产品也稳中有进。未来超硬材料行业将进入稳定发展格局,既要发展高端制品,又要开拓超硬制品应用新领域,... 最近几年,超硬材料行业技术进步可圈可点,如金刚石大单晶、隧道窖无压烧结技术、组锯、精密加工金刚石工具、整体PcBN、NPD等,其它产品也稳中有进。未来超硬材料行业将进入稳定发展格局,既要发展高端制品,又要开拓超硬制品应用新领域,扩大在精密加工、手机背板陶瓷材料、人造石、工程机械、石墨烯等领域的应用,同时要增强超硬材料在功能应用方向开发并重视产品细节,加强质量控制。整个行业要加强基础性研究和实施创新战略,并要联合攻关,加强运作和宣传,以实现我国超硬材料及制品由大国向强国的转变。 展开更多
关键词 超硬材料行业 技术发展 综述 现状 展望
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CVD法制备高质量金刚石单晶研究进展 预览 被引量:2
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作者 刘晓晨 郭辉 +2 位作者 安晓明 李义锋 姜龙 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第10期1897-1901,共5页
本文介绍了制备单晶金刚石的主要方法并对其进行了对比,从籽晶选择、预处理和生长工艺几个方面综述了微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石单晶的研究进展,并简单介绍了目前国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶在电子... 本文介绍了制备单晶金刚石的主要方法并对其进行了对比,从籽晶选择、预处理和生长工艺几个方面综述了微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石单晶的研究进展,并简单介绍了目前国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶在电子领域的应用进行了展望。 展开更多
关键词 微波等离子体 化学气相沉积(CVD) 金刚石单晶
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衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响规律研究
20
作者 石磊 蒋春磊 +1 位作者 牛卉卉 唐永炳 《集成技术》 2017年第4期2-9,共8页
文章采用微波等离子体化学气相沉积法,以单晶金刚石籽晶为衬底进行金刚石外延生长,通过拉曼光谱、扫描电子显微镜及光学显微镜等多种表征测试手段,系统地研究了衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响机理。研究结果表明,衬底温度是影... 文章采用微波等离子体化学气相沉积法,以单晶金刚石籽晶为衬底进行金刚石外延生长,通过拉曼光谱、扫描电子显微镜及光学显微镜等多种表征测试手段,系统地研究了衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响机理。研究结果表明,衬底温度是影响同质外延单晶金刚石生长速率、生长模式和生长缺陷的重要因素:在一定温度范围内,单晶金刚石的生长速率随衬底温度的升高而增加,与此同时,金刚石的生长模式也由丘状生长转变为台阶生长。当单晶金刚石的生长厚度超过1 mm时,较高的衬底温度容易导致沉积层边缘部分产生孪晶等缺陷。拉曼光谱表征结果显示,微波等离子体化学气相法沉积的单晶金刚石质量优于传统的高温高压法。 展开更多
关键词 同质外延生长 衬底温度 单晶金刚石
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