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发射光谱的低温等离子体诊断 认领
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作者 吉祖俊 郭颖 赵建钢 《东华大学学报:自然科学版》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期479-484,共6页
采用发射光谱诊断技术研究功率对氩气和氧气激发态光强的影响,并结合光刻胶的刻蚀速率来论证这种光谱诊断的可行性,并应用该诊断方法研究极板间距及配置对等离子体放电的影响。结果表明:氩离子和氧原子激发态光强随着功率的增加呈线性... 采用发射光谱诊断技术研究功率对氩气和氧气激发态光强的影响,并结合光刻胶的刻蚀速率来论证这种光谱诊断的可行性,并应用该诊断方法研究极板间距及配置对等离子体放电的影响。结果表明:氩离子和氧原子激发态光强随着功率的增加呈线性增加,与电子密度和电子能量密度的相关性高达0.88以上,与光刻胶的刻蚀速率的相关性高达0.95以上;极板间距的增加可减弱发射光谱强度、降低等离子体密度,正负极板配置可增强发射光谱的强度、提高等离子体密度和光刻胶的刻蚀速率。 展开更多
关键词 发射光谱 容性耦合等离子体 刻蚀速率
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极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响 认领
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作者 詹泽红 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期898-905,共8页
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性。圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6%提高到93.7%(功率为50W),由63.6%提高到84.6%(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90%以上(功率为50 W)和80%以上(功率为300 W)。 展开更多
关键词 朗缪尔双探针 圆孔刻槽极板 极性电极 等离子体均匀性 点亮问题
容性耦合等离子体的均匀性研究 认领 被引量:4
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作者 唐优青 丁可 +1 位作者 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期984-990,共7页
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极板配置和放电参数不仅影响等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度,而且影响等离子分布的均匀性;两对放电极板和接地圆孔极板均提高了等离子体的均匀性,但降低了等离子体的电子密度和电子能量密度,其中两对放电极板可将电子密度的均匀性由77.9%提高至93.5%,而圆孔极板则可将电子密度的均匀性由77.9%提高至96.4%;高功率可获得高电子密度、高电子能量密度但低均匀性的等离子体。 展开更多
关键词 容性耦合等离子体 朗缪尔双探针 等离子体均匀性 圆孔极板
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